CleanRoom介绍.ppt

Clean Room介紹,報告日期：87.3,離 開,繼 續,一、何謂無塵室clean room? 一個房間或工作區域其內部空氣之落塵(Particle)用 人為之控制使其數量在一定數目中稱為無塵室 二、clean room之等級 無塵室等級區分依美國聯邦U.S.Federal Stander 209E，針對落塵量分為六個等級 廠內clean room作業區依製程需求可分三類： A類：無塵等級為十萬級環境不控制 如鉚釘室、P.P倉、銅皮倉、印刷、綠漆曝光室 B類：無塵等級一萬級 如內外層曝光室、疊板室、網版製版、乾膜倉 C類：無塵等級一千級，如繪圖區、暗房,前一頁,繼 續,三、Clean room之設計 須考慮clean room之等級、溫濕度之控制、生產項目和使用設備分析與規劃、建築結構與位置、防火、耐震、管路之考量、監控系統之維持等 1.air flow系統 1-1.分亂流系統(turbulent air flow)及垂直層流系統 (vertical laminar) 1-2.空調系統設計 a.溫度控制：2120C。 b.溼度控制：555%RH。 C.出口風速：0.5M/sec。 D.clean room吶之正壓值1mmAg以以上 e.在class1000和10,000需做末端過濾， class100,000可做集中過濾,前一頁,繼 續,1-3.過濾器類型： a.前置過濾器：有初級過濾網(pre filter)，主要過濾 較大塵埃，以延長高效過濾網(HEPA)之壽命 b.高效過濾網(HEPA FILTER)：其效率可達0.3m99.99% 以上DOP，送入clean room 之空氣須經過此過 濾網完成最後過濾 c.可於clean room中再擺設無塵操作台(clean bench)， 可確局部清淨度 2.地板、外牆、天花板： 2-1.地板； 分兩類EPOXY地板及高架地板。 a.EPOXY地板：分底塗、中塗、面塗三道施工，須 不起塵、不滲透、耐磨、耐化學藥品。,前一頁,繼 續,b.高架地板：應用於無塵等級一千級。優點為地面佈線 方便。地面底層EPOXY，地板高架，結構採鋁合金地 磚，表面貼導電地磚或防靜電面磚。 2-2.外牆(天花板) a.須不起塵、完全密封、容易清潔、平滑無縫。 b.EPOXY塗膜厚1.5mm，分底塗、中塗、面塗三道施工。 2-3.隔間牆(天花板)：材料須選用不起粉塵、防火、耐 用、易清潔之材質，使用彩色烤漆鋼板內充PU發泡。 3.參觀窗： 無塵室內面加黃色壓克力板。窗框與玻璃須不洩漏。,前一頁,繼 續,4.照明： 無塵室內採用黃色燈源 5.其功能有氣鎖(air lock)，人員管制，及以高速風將附著在人體或物品上之塵埃吹落帶過功能，具備自動連鎖電鎖。 6.Pass Box傳遞箱： 目的將物料傳進或傳出。其功能有氣鎖(air lock)、人員管制。設置於clean room之隔間牆上，連接clean room內外。具備連鎖(inter lock)功能 7.輸送帶設計： 設置於clean room之隔間牆上，連接clean room內外。以air curtain及過濾網過濾空氣。,前一頁,繼 續,四、無塵衣選用標準設計 為何要穿無塵衣 一般無塵室最大塵埃染源54%是人體所產生。一作業員連續行走一小時(0.35km/hr)，塵埃約增加100,000個/Ft3，若穿著大衣式無塵衣可減至24%，全套連身式可減至3% 1.質料要求： a.表面不發塵、塵粒不易附著、不滲透、纖維不易 脫落、斷裂、不生靜電、耐藥品性、耐洗及高溫 高壓、不易皺、不變形。 b.柔軟、透氣、透明度低、容易縫製者。 2.縫製： 縫製時須考量車線之材質、縫製法。接片使用三針內外包光法或內部滾邊法，袖口褲管反下擺收邊用摺邊包光法。布邊在衣服內外皆不可外露。,前一頁,繼 續,五、clean room之驗收 無塵室之驗收可分以下三種狀況來測試 ： 1.工程完工時之無塵室：空週系統運轉，但無機械設備。 2.停止工作之靜態無塵室：空調系統運轉，設備已定位且在運轉，但無人進入。 3.作業動態中之無塵室：意即所有設備皆運轉，作業人員也入內工作之狀況。 無塵室驗收測試項目 1.詳細測試規格U.S.Federal Standard 209D所規定之標準 2.測試項目：,前一頁,離 開,潔淨度檢測，以空氣落塵計數器量測0.5m微塵個數， clean room之清淨度等級愈高，所須取樣點須愈多，其位 置須平均分佈，包括平均區域量測及設備固定位置量測。 其他測試項目：構造及尺寸檢查，洩漏檢查、溫濕度、風 速風量、震動度、室內正壓質、補充新鮮空氣風量、照度、 噪音等。,