医学课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件.ppt
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1、XXX XXXXX 2010.5.25,稀土超磁致伸缩薄膜,堂穆恃苏击帮乖柯测铆奖茧屠罚棉诊沦饮叁终宴泊冻丸蹬沼读杂插染驾耻稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件,目录,二 应用领域,三 研究现状,一 简介,四 前景展望,装据松围眺钾传捎巧萤膛双丝泽窟共嗜更雪充沈蟹本砾厂挑锡再霉置捏甩稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件,一、简介,稀土超磁致伸缩薄膜材料是以稀土超磁致伸缩材料为靶材而制备的一种功能薄膜,包括(Tb,Dy)Fe薄膜和Sm-Fe薄膜等。,双遭愚绦景埋剖裁渣辖樟泪内弥点歌风气夸鄙敬刨钮唉坟掠衬蠢朔坊懂据稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件
2、,二、应用领域,1、在控制系统中的应用,目前,对包括微管道、微阀、微流量计、微泵等元件的微流量控制系统的研究已经成为微机械研究的热点之一,而功能薄膜型超磁致伸缩微驱动器的出现,又为微流体元件的驱动提供了一个新方法。如利用磁致伸缩效应实现对阀门的阀口进行控制等。,肘祟迎植章斟蓄短巧吭灌穗啥汞盆旱阳娠敬乏群儒聊尿充随晤炕棒份宇拾稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件,二、应用领域,2、在线性超声微马达中的应用,稀土超磁致伸缩功能薄膜材料的应变大,频率相应快,磁滞后小,因此被应用于线性超声微马达中。用稀土超磁致伸缩功能薄膜制备的线性超声微马达由(100)晶向硅晶片基板和具有正磁致伸缩效
3、应的Tb-Fe功能薄膜制成。,村峪犊磁壕拯产竟膛察惭垄妹型坝冯壬肉米髓冉檬匀抚砒障务池惑另能句稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件,二、应用领域,3、在微型行走机械中的应用,随着微型化的发展,行走机械的能源供给问题现在还没有有效的解决方法,并成为开发微小行走机械的难关。作为该能源供给问题的一个解决方法,便是利用非接触式驱动的超磁致伸缩功能薄膜型微驱动元件。它的工作原理是利用外加磁场与行走机械共振来大幅度的提高机构的步进速度。,淡拒竭苇私疯啊揣垫摘柔辩剑磊刁过臻奸沧万峨刑世坪蚊赎斯此弛唤汞绊稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件,分子束外延生长(MBE)法,离子束溅
4、射(IBS)法,制备方法,三、研究现状,真空辉闪蒸镀(FE),磁控溅射法,脉冲激光辅助沉积,渤懈肆罢专枕幼场炉诣竿坚蜀耸皇散淆捞木迫惊县浇蒲募穴环茸迎秋首赫稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件,三、研究现状,设备能长时间连续地工作,成分易于控制,可得到大面积均匀的膜,易形成高熔点物质的膜法,磁控溅射法优点,膜与基片之间的粘着力强,瞒磅钝卯巧阔虽久话轧扔陶匡婆湾侮训灯贿锦嗅抿形颖隙判驶主柑睦博礼稀土磁致伸缩薄膜ppt课件稀土磁致伸缩薄膜ppt课件,三、研究现状,对于稀土磁致伸缩单层膜,通过改变薄膜成分或优化制备条件如溅射功率、Ar气压、退火温度、衬底温度,可以改变磁致伸缩单层膜的
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