扩散泵浦工作原理.docx
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1、染,倘若是如此只要换掉molecular sieve 乂可以恢彳复正常。散胃甫先前所介的K浦均是金十封使用在低真空的工作璘境,倘若若要 使真空璘境谨I到高真空,刖必搭配其他mi的u浦才有可能。si散 常浦可以是在高真空常浦中第一彳固被研畿出来的,早在十九世备己就 已经被人使用,只不浦的最大缺黑占是所使用的真空尤其分 厘很高,常常畿生油K回流到腔醴内形成污染,逼是富日寺使用者最大 的祺忌。随著科技it步,低蒸汽厘的真空油被研畿之彳灸,散K浦便 被大量的使用在真空技彳府上。萤隹然日前浦,雕子K浦以及冷猥 式K浦持更新,抽K速度又快,又乾浮,但是且又坚固的 散IT浦依售估有它一席之位。散常浦舄科孥家
2、Gaede所畿明,富日寺所用的真空由是水金艮而 不是目前我仍所看到的真空油。真空K浦的原理乃是真空油被加熟之 彳瓷,獴得桎高的熟能,分子的著相富大的速度,聚接著 分子被似煌囱的畿何架横所引然彳灸由喷嘴向下喷射,由於分子 具有桎大的速度,因此在经由喷射之彳灸其速度可接近音速。富分 子喷出彳灸,倘若周圉附近有分子,|fj»碰撞彳灸,一定畲有勤量 的移现象,名吉果分子便有向下:ii®!i的通常在st散u浦的#(11出口虚都外接一彳固 Rotary pump ,1 Rotary pump fl生一吸力,将些聚集在It浦出口虚的分子带走,如此一来散浦的入口虚舆出口虚畲因IKI1的分子
3、敷的澧度不同而31生散现象,散常浦的名字便因此而来。H 4.22散常浦的外貌圈,而圈4.23 |fj是其其剖面圈。 4.22攒散K浦之外貌INLET 4.23攒散K浦之剖面H由於IS散H浦最主要的原勤力来白於真空油被加熟,使真空油的分子 具有高速度的勤速度,所以具有一彳固加熟器是散浦的特色。加熟器置於散K浦的底部,真空油被煮沸之彳灸其蒸汽厘随著烛囱向 上至部彳灸再随喷嘴射出,真空油的分子在撞浦的内壁彳灸畲 形成液醴慢慢流回底部,舄了使真空油的分子容易凝名吉成液醴,通常 散浦都有水管璘II在真空浦的上半部藉此冷谷K 一般而言散 K浦都具有湍度值测器,倘若湍度i!高日寺,便畲白勤切新雷源。散 K浦
4、早期最搪心的是真空油的回流污染腔醴,萤隹然使用低蒸1厘的真 空油,但是油IR在高湍作日寺,蒐隹免iS是畲有油IR回流的现象(J1BIFOREUHE PRESSURE TOP HIGH 4.24真空油回流之情形4.24)。舄了避免ig现象,现代的散常浦都附带一些鲍件,H 4.25便 是鲍件的外貌,鲍件一般稍之舄 baffer,baffer置於散It浦的上端,藉此将油MBT,除此之外加一彳固cold trap也是一彳固非常重要的附件,每次使用散K浦之前便将cold trap加潇液熊氮,如此一来富油兼吸附到cold trap的内部日寺,便H上冷谷|3下来,如此油分子根 本照法到建腔醴内部。H 4.2
5、6便是一般常J!的cold trap的外貌以及奥 gate valve 的鲍合。50HtGH VACUUM INLETROUGHING PORTVALVE BODYCWYDTRAP eoorIONGAUGEPORTLN T FILL (VENT NOr vrSIBLE)M 4.25防止油回流的 bafferM 4.25 cold trap 以及 gate valve由於散常浦照法雀一大兼厘工作到高真空,它的工作璘境必殖雀低真空璘境下做起,因此!於一彳固真空系统,操作IS散H浦的程序 是有一定。下面我仍将筒述一彳固真空系统如何雀大1厘力抽到高真空 的程序。H 4.26舄一般常看到的真空系统,一彳
6、固真空腔配脩了一彳固散浦,Rotary pump以及fRJFS等等。目前腔醴是在大之下,若要it行抽真空刖其操作程序如下CHAMBER字ROUGHING瞒辛己 y厂 g戏圈4.26常J!之真空系统EFFUSION/ "V ! IPUHP MECHANICALFOR ELIN Evalve一、首先将散It浦的加熟器打同日寺打冷劄水,冷劄散浦 的上半部,此日寺8!散U浦舆 Rotary pump之的fRJM (foreline valve)是打的。二、等到散常浦钩熟了,暂日寺HUB!®!散H浦舆Rotary pump之fW的然彳灸打IU Rotary pump 舆腔醴之的IW1
7、 (roughingvalve)。言襄Rotary pump封腔Hit行粗抽。此虚要特别注意,腔H 舆散常浦的高真空U-VAC valve)是的。三、等到腔醴的厘力降到10-2 Torr之彳灸,HUM roughing valve然彳灸 再打HI foreline valve,此日寺将液熊氮加入cold trap内,等一切就 置再打U-VAC valve,如此一来腔醴便可以被到高真空的要求 了。Hi-VAC VALVEPIPFUSIOHPUMPHOUGHIHGFOREPUMPING 4.27高真空操作程序圈H 4.27便是程序之示意圈。散浦的加熟是其特色,然而也是最麻 焯之虚,冷劄水的保持是散
8、K浦效率的保言登。倘若散K浦不使用 日寺,冷劄水最好能掉,否刖冷劄水10#冷劄,而散K浦在室湍之 下,JW有可能在在水管附近凝名吉水名吉果可能造成水滴流向下方的 加熟器,造成加熟器受揖3!些现象是经常出现的。散K浦的修是所 有K浦*里面最筒罩的,若浦的抽K效果不佳,只需将真空油换 掉,即可恢彳复正常,至於真空油加多少,各家蔽商都有规格 明。Turbomolecular pumpTurbomolecular pump 的念是由Becker首先引入,It初他IS散常浦上端的baffer日寺,藉由旋的蕖片防止真空油回流。彳灸来 Turbomolecular pump 正式上市但是速低而且昂jt,废来
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