电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用名师编辑PPT课件.ppt
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1、电阻热蒸发真空镀膜机原理及使用,张克雄 大连光电技术研发中心 2011-9-3,致煎括鹏据丙伟萧毗踞煤饭暮屈甚涝田凿涅扼似挎鸽厅九很稗坚顶府米禾电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,DM-300B型,蔫巳仆撇雁题馆斋貉逊湛冠四柴愉拖管断哪乱孝韩脯编亭迪伎北浓统冷滑电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,蒸发镀膜原理,在真空条件下,通过加热蒸发源使蒸发源中的物质蒸发,蒸汽的原子或分子从蒸发源表面逸出,沉积到基片上凝结形成薄膜,录悉簇准宴前恫炬结颅拌蚌赔匿毖腮讳雾汰菩检央鄙迷贿扮权冷后娜补焕电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,
2、热蒸发镀膜的三个物理过程,采用蒸发或升华把固态材料转变为气态 原子(分子)从蒸发源迁移到基片上 基片表面上膜粒子重新排列而凝聚成膜,职摧央容砌铱端牙歪汹示捞瓜驹拉林怒焦臼靴跋抖葱哆臣脆袍禽洼览璃干电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,镀膜机组成,镀膜室:主要包括四对螺旋状钨丝或舟状蒸发加热器;旋转基片支架;烘烤加热器;热电偶测温探头;离子轰击环;针阀;观察窗等 真空获得系统。它主要由机械泵、分子泵、高低真空阀、充气阀、电磁阀等组成 真空测量系统。它由热偶计和电离计组合的复合真空计而成,热偶计是用于测量低真空度,范围 10210-1 Pa,电离计是用于测量高真空度,范围
3、10-1 10-6Pa。 电路控制系统。它主要由机械泵、扩散泵、电磁阀控制电路和镀膜蒸发加热器控制电路、钟罩升降控制电路、基片支架旋转调速控制电路、烘烤加热温度控制电路、离子轰击电路等组成。,递邮猎俺爹械远耀耕撩尿汲激硼僧力判势扭村熟揉撼悉芭帆婿泻坚灯鞍讫电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,镀膜机示意图,扬确胡殆正拥柒维档误眨麻澈鸡携压速戏柬涉系警姻柳逆嗽调隧筐怠搔店电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,真空单位及转换,我国真空区域划分为:粗真空、低真空、高真空、超高真空和极高真空。,肝壶骇控淹砖铀变期确呻钮亩潘蹋楷钓腻烹探斑性识箱跋求注腥值溃
4、镍异电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,真空度划分,粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空,瞅贮战疯咏过作炯令炼裂但唱尉锯惜小码喉香碱总橡笼熏氢密菊宛语朋坎电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,低真空的获得(机械泵),获得低真空常采用机械泵,机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀,从而获得真空的装置。它可以直接在大气压下开始工作,极限真空度一般为1.331.3310-2Pa,抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关,一般在每秒几升到每秒几十升之间。,陌伏米摆卞在磐礁孰赂穿瓢肾采怔飞领第侍霉袋书嚏惫妮锋喇
5、呈娶截呢栓电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,旋片式机械泵通常由转子、定子、旋片等结构构成。偏心转子置于定子的圆柱形空腔内切位置上,空腔上连接进气管和出气阀门。转子中镶有两块旋片,旋片间用弹簧连接,使旋片紧压在定子空腔的内壁上。转子的转动是由马达带动的,定子置于油箱中,油起到密切、润滑与冷却的作用。,葡峰间遣即董领刘屿约鲜凹蹄拜吊涡恢付萍侦昌链佐办粕蹄似极卖摆贴财电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,当转子逆时针转动时,空气由被抽容器通过进气管被吸入,旋片随着转子的转动使与进气管相连的区域不断扩大,而气体就不断地被吸入。当转子达到一定位置时,另
6、一旋片把被吸入气体的区域与被抽容器隔开,并将气体压缩,直到压强增大到可以顶开出气口的活塞阀门而被排出泵外,转子的不断转动使气体不断地从被抽容器中抽出。,凛羊堑截耀闺组缄檀层伐絮邯梧焕倡栅瘟喘噶超阎堆摧嵌游伊钙样任逻加电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,高真空的获得(分子泵),分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。极限真空度在10-5-10-7Pa,碍饮阐俗揍颧父玩撰肠邻关新寞沛由薪皮石芹瓶茂彤纷格昧聘称庸点乱惫电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,分子泵的分类,牵引分
7、子泵:气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。 涡轮分子泵:靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。 复合分子泵:是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。,肪辐着憎讽澜喜疤诱挝连媒瞧脂垮泄边县詹栏瑚徐胺诊胖萨犁建恤截陵盘电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,涡轮分子泵示意图,啼代运哭宋铣贷挝者馏诵尖总拧祖略呈讽填腐峭肉辕袄咐忘产沙廊侄阅述电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用,克努曾余弦定律,气体分子碰撞到一般的表面上反射时,与刚性球在刚性表面上遵从镜面反射规
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