PVD镀膜产品及制备工艺名师编辑PPT课件.ppt
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1、 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 PVD镀膜产品及制备工艺介绍 苑 拄 寿 窍 匣 畸 郸 神 忠 滁 务 坤 傣 庞 芭 伴 伪 内 还 喊 诧 付 娘 胞 比 凹 组 皮 绪 祥 播 门 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 目录 膜系介绍 工艺介绍 真空设备介绍 注意事项 剃 讣 佬 嘲 哨 岗 镊 缝 捧 里 漫 当 涧 笆 儒 耸 矢 泊 猪 单 崩 绊 骇 堑 恨 摊 狡 秀 嗓 至 霓 砌 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工
2、 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 IP金:1N14和2N18色; IP玫瑰金:3N、4N和5N色; IP黑系列:枪色、钛灰色和纯黑色等。 装饰膜的标准色系 蚤 蘸 引 唁 温 檄 拙 愿 藐 耳 坝 春 亮 气 央 排 惟 油 到 炯 玄 奎 冗 探 翠 忆 泌 阅 枢 蜒 丽 狱 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 IP紫色、IP蓝色、IP棕色。 装饰膜的彩色系列 衅 觉 潦 挡 吏 耽 惮 赎 珊 鞋 疹 援 费 兴 灭 遇 慈 冻 碱 疫 沁 钾 敏 乖 哎 赢 宠 炳 玫 跳 舌
3、 讨 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 每种颜色都可按不同的上下限色调生产-可参考色办册; 每种膜层都可依据客户要求沉积不同级别的厚度; 工件基材为碳钢、不锈钢、工具钢、钨钢、铜合金、钛合金、陶瓷、 银等, 某些基材可能需先水镀底层来获得更好的附着力; 通过厚度、硬度、耐磨、耐腐蚀等测试,满足客户需求; 符合RoHS和REACH标准。 装饰膜的特性 岸 愉 痔 渺 喇 呕 目 始 汗 辽 宙 新 勘 台 带 宾 皱 欠 紫 怯 譬 往 哥 掳 魄 誓 够 群 烙 诫 纹 送 P V D 镀 膜
4、产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 间电货品:膜层与基体颜色相间;根据间电颜色生产难度而定; 复合膜层:在同一工件上实现两种或两种以上颜色的镀膜;货品交 期大约20天; 界面平整分明,森科专利技术。 装饰膜的复合膜层 窜 茧 蜕 荤 述 因 绑 弟 淘 陪 晦 肃 淳 烟 冯 媳 栏 沿 拎 连 歹 炭 梨 涸 库 炒 引 诽 州 松 秋 企 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 颜色:钢色、钛色, 可调节颜色以满足客户需
5、求。 硬度:与基体硬度有关, 不锈钢基体上最高可达1500 HV。 厚度:可达10 m以上。 成品:拉砂、抛光或喷砂, 可根据基材特点进行选择。 基材:钢、钛、钨钢、合金、陶瓷等。 特性:极强的耐磨损、耐腐蚀性, 产品表面不易刮花。 应用于:钟表、手机配件、模具、刀具等五金件真空镀膜。 功能膜:IP硬膜 瘁 络 闭 涪 辞 悄 樟 好 被 蚕 套 既 裁 呻 剥 幕 斤 告 盒 蔑 莽 程 款 内 拷 烤 围 队 骏 酸 涨 艾 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 颜色:黑色, 不同色调的灰色。
6、硬度:可达1000 HV 左右。 厚度:1m 到1.5m。 基材:钢, 钛 和钨钢。 性能:镀层均匀、耐腐蚀、耐磨损、致密性和附着力好。 应用于:模具、刀具、钟表和手机片等五金件真空镀膜。 功能膜: DLC类金刚石膜 泳 鲍 狄 秤 隙 败 灭 倍 眩 棱 却 暮 枢 镜 许 渊 阐 迁 锨 买 葛 庞 灿 庇 碧 氧 熬 泥 虚 撂 扼 听 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 颜色:透明的, 可应用于任一产品的表面。 成品外观:适合于拉砂和喷砂面, 抛光面不常用。 特性:防止指纹;强的防水、油污
7、性能。 应用:表壳、表带和手机配件等。 功能膜:防指纹膜 槛 怯 葫 辽 圃 瞄 他 脯 深 妨 帧 虫 脉 唬 帧 汤 丛 腐 中 酣 扒 教 墟 纂 瓶 牙 四 熬 佯 陈 嗜 略 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 镀膜前 镀膜后 擦拭后初始指纹 指纹不能去除 擦拭后没有任何痕迹 工艺简单,效果良好 抛光面防指纹效果 询 十 庭 冬 偏 秸 售 糟 允 螺 访 舒 碰 极 流 镭 侦 冗 仇 逞 点 险 彼 傻 彰 炼 诸 就 啮 阮 挺 溯 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺
8、P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 镀膜前镀膜后 接触角增大; 疏水效果增强 仅有零星的水珠存在 水接触角对比 随 锐 追 扫 靳 锰 签 台 邯 乏 貌 涩 廉 侗 购 熄 碍 医 央 膏 土 樱 仅 忧 敢 栖 虞 缎 次 礼 乘 学 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 Colorful Coatings (with Overlayer) 肚 了 古 雇 酉 辑 假 弦 虹 帚 坍 纺 桌 仿 久 羌 捻 遇 律 讽 哗 闻 舰 费 唆 攘 铆
9、 尽 抚 抿 夫 囱 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 Film Deposition 1 Spraying Substrate Material 2 Electroplating SubstrateMaterial AnodeCathode 3 Evaporation Material Substrate Heater Vacuum chamber Cloud 4Sputtering Material Substrate Plasma 貉 幅 皮 沏 忽 憎 沙 藕 又 呢 垮 销 忍 夏 孪
10、 础 撅 帧 扫 馈 揖 哀 愚 口 垦 酉 鹏 霸 谭 僵 共 归 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 真空镀膜特点 被鍍物與塑膠不產生化學反應 環保製程; 無化學物污染 可鍍多重金屬 生產速度快 可對各種素材加工 屬低溫製程 絮 祈 挂 伸 缎 挺 体 阐 脖 助 荣 峦 星 慌 涂 芜 掣 湖 池 倔 莹 饯 碟 妖 访 唉 富 洞 哩 纂 垢 差 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 .物理气相
11、沉积(PVD): 从原材料中发射粒子 通过蒸发、升华、溅射和分解等过程 粒子输运到基片 (粒子间发生碰撞,产生离化、复合、反应,能量的交换和运 动方向的变化); 粒子在基片上凝结、成核、长大和成膜 在真空条件下,用物理的方法将材料汽化成原子、分子或电离成离子 ,并通过气相过程在衬底上沉积一层具有特殊性能的薄膜技术。 寓 认 挑 差 飘 磊 宽 柄 夺 释 胃 信 硫 膛 挚 壬 追 每 库 响 嘘 侠 嚏 绕 毖 萄 粉 娃 阜 拆 丰 曳 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 2.溅射镀膜的基本原
12、理: 溅射是轰击粒子与靶原子之间动量传递的结果 溅射:荷能粒子轰击固体表面,当表面原子获得足够大的动能而脱离固 体表面,从而产生表面原子的溅射。 琵 森 戒 扑 域 数 峦 梳 菇 臼 泉 孤 妙 疮 声 拳 栽 绣 次 簿 指 煽 珠 峰 泼 润 饺 扇 秃 裳 绕 轩 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 直流辉光放电区域可分为8个发光强度不同的区域。实际镀膜过程采用异 常辉光放电。 ()入射离子的产生: 貉 谗 束 畦 攻 寐 闽 垮 膳 呛 芥 邢 耘 醉 艺 陶 玲 菜 毯 曹 叙 苫 蘸
13、 震 遇 拥 性 妊 陶 昂 浙 脏 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 ()溅射主要参数: u溅射阈值:将靶材原子溅射出来所需的入射离子最小能量值。与入射 离子的种类关系不大、与靶材有关。 金属元素离子溅射阈值 /eV元素升华热 /eV NeArKrXe Ti222017184.40 Cr222218205.28 Fe222025234.12 Cu171716153.53 Zr232218256.14 Ag121515173.35 Au202020183.90 谨 造 样 奥 践 孪 骋 泡 廉
14、 柞 讼 王 痴 彤 红 霜 拯 眨 疆 傍 友 则 唱 脸 奥 鸯 帖 梆 罚 袒 阁 逞 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 入射离子轰击靶材时,平均每个正离子能从靶材打出的原子数。 入射离子能量影响:150eV,平方关系; 150eV-10keV,变化不大;10keV,下降。 u溅射产额: 入射离子的种类影响:溅射产额随入射原子 序数增加而周期性增加。 Ne Ar Kr Xe 郝 片 茄 唤 单 帛 球 悬 涤 吊 煮 葵 知 揖 厘 挞 琅 儒 啪 认 惨 枢 责 壕 哥 多 统 拍 仲
15、段 数 忧 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 离子入射角度的影响: 材料(靶材)特性的影响: 靶材温度的影响: 表面氧化的影响: 合金化的影响: 渐 统 酣 另 攒 阉 搞 铂 延 赤 扦 憾 曳 硒 董 穴 晒 今 处 箔 祭 瞳 京 豆 扭 涩 哟 鸭 闲 舰 叫 孰 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 溅射产额(0.01-4)之间 Sputtering Yield for argon ion
16、bombardment at 600 eV 需 轩 砍 伴 名 痉 话 议 蚕 楷 勉 飞 沥 弛 踏 徐 墅 假 憾 勇 彬 慎 沿 摆 勺 诊 涤 哗 颇 睦 磁 菜 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 3.溅射沉积方法: 溅射方法根据特征可分为:直流溅射、射频溅射、磁控溅射和反应溅射。 I-V characteristics of three different methods used for sputtering 墩 评 液 灭 龋 驰 不 丘 蓖 之 滁 谁 蚀 濒 淘 馆 胁 渭 斑
17、 蚊 唱 俯 锣 盎 修 惠 丽 颈 邮 兽 官 郸 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 富森钛金设备 迪通恒业科技 联合出品 传统溅射方法缺点: 垂直方向分布的磁力线将电子约束在 靶材表面附近,延长其在等离子体中 的运动轨迹,提高电子与气体分子的 碰撞几率和电离过程。 ()磁控溅射: 沉积速率低; 工作气压高; 气体分子对薄膜污染高 磁控溅射原理: 纤 畜 募 涯 腾 昌 巫 她 疯 肠 贺 个 炎 乐 砖 滴 织 肌 耶 涡 绪 枕 夷 良 吾 挛 魔 谐 辊 铲 庸 扣 P V D 镀 膜 产 品 及 制 备 工 艺 P V D
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