ISFET生物传感器的研究与应用.ppt
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1、基于CMOS的ISFET生物传感器 的研究与应用,报告结构安排,ISFET电化学特性 及工艺,ISFET信号处理电路,ISFET生物传感器应用,选题背景,结构特点 敏感机制 电学特性 与CMOS兼容性,电路设计依据 差分对管模式电路 差分电流模式电路,生物医学应用 无线电子胶囊,研究意义,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,生物传感器技术是生物医学电子学的一项重要 的研究内容,CMOS是集成电路的主流工艺,应用其制造ISFET器件 有助于实现ISFET生物传感器的集成化,COMS工艺兼容性,生物传感器,研究一种基于 CMOS工艺的 IS
2、FET生物传 感器具有重要 研究价值,对H敏感的氢离子敏场效应管(pH-ISFET)传感器是 生物传感器中一种重要和基础的传感器,ISFET传感器,ISFET结构图,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,ISFET敏感机制,界面势与溶液的pH值呈线性变化关系,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,n沟增强MOSFET的输出特性,MOSFET电学特性,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,ISFET电学特性,ISFET电化学 特性
3、及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,与CMOS兼容的ISFET工艺,形成具有良好稳定性的参考电极,保留多晶硅“自对准”效应定义源、漏区,氢离子敏感膜,刻蚀缓冲层和形成参比电极,普通的电极和互连线,悬浮栅电极结构,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,电路设计依据,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,ISFET生物 传感器应用,选题背景,ISFET电化学 特性及工艺,ISFET信号 处理电路,
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