扩散CT炉子.ppt
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1、CT扩散炉简单操作,培训内容,1、开机操作 2、生产操作 3、关机操作,1、开机操作,1.1、打开气柜压缩空气的手动阀并调节调压阀使其压力在6Bar左右。 1.2、打开气柜氮气和氧气手动阀,并调节调压阀使其压力在2Bar左右。,1.3、打开电气柜上的“Main Switch”在“ON”位置,设备上电;CMI电脑自动启动。 1.4、打开设备冷却水,先开出水阀,再开进水阀。检查水压在3-6kg /cm2 范围内。,1.5、输入XP操作系统用户“Operator”密码“?”,进入CMI计算机的XP系统,自动启动CMI软件。 1.6、检查并打开气柜上1-4管“CESAR”的开关,启动“CESAR”系统
2、,1.7、 设定各管“Paddle”温度为默认值,按下:“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 1.8、设定升温速度为5/min,按下:“Manual/T_Paddle/All/RampPos”,输入“5”,并按确认键“ENTER”。,1.9、当温度到达500时,用手推动炉门的气缸,使炉门关闭。 1.10、顺时针打开TGA上部调压阀,使压缩空气压力恢复到4Bar左右。,1.11、打开恒温箱控制器的黑色电源开关,检查并确认设定温度20;按下“RUN”按钮,启动恒温箱。当实际温度达到设定温度后,才可生产。 1.12、当源瓶的磷源用尽需要更换时,恒温控制器会
3、有液位报警提示,需更换新的磷源。,1.13、在CMI触摸屏上按下各管的“Standby”,确认CMI上显示各管“CESAR”正常;当“T_Paddle”达到设定温度,准备生产。 炉体加热部分共分5个温区,每个温区在600-1200范围内的精度0.5。,Start:运行一个准备好的工艺或启动正在暂停的工艺。 Stop:停止正在运行工艺,在任一时间按下“Start”按钮,被终止的工艺将被继续运行。 Standby:如果没有运行工艺,按下Standby,所有设备参数恢复默认值和Standby状态下设定值。如果正在运行工艺,按下Standby,使工艺一直保持在正在运行的这一步;在按下“Stop”按钮之
4、后,按下Standby,将自动终止工艺。,2.生产操作,2.1、检查“Slider”是否在上料位置,若不在,手动状态下移到上料处:“Manual/Slider/to port”。 2.2、把插好硅片的舟放到“slider”上。尽量使舟在“slider”中间位置。,2.3、在“Setup”界面选择“Boat”项,选择一个舟号,进行工艺信息编辑。 2.4、选择确定后,进入“boat activation”界面,点选“Set boat active for handling”、 “Set boat to Ready for processing和Boat will be removed for un
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