电子显微镜制样.ppt
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1、扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscopy SEM),材化0801 孟岩 李民 王洪志 张俊,扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscopy SEM) 1942年 第一台扫描电子显微镜 60年代 分辨率和图像质量的大大的改善 80年代 广泛应用于医学、生物学等领域 90年代 高分辨型扫描电镜的分辨率0.2nm,扫描电镜与透射电镜结构比较 1 照明系统结构和原理基本相同 都是由电子枪和聚光镜等来完成照明工作 2 SEM 没有中间镜和投影镜,但增加了 二次电子探测器、扫描偏转线圈、显像管等 3 SEM 样品室比 TEM 大,位置不同 4
2、SEM 与 TEM 真空系统、水冷系统和电源系统 的结构和功能基本相似。,如细菌、血细胞、培养细胞的整体形态、大 小、表面突起和细胞间的相互关系 消化道、血管等空腔组织的表面结构 骨等硬组织形貌以及生物材料的形状结构等,景深长,视野广、图像富有立体感 用于观察组织细胞的表面和断面的形貌,扫描电镜特点,1、 电子光学系统(镜筒) 2、 信号检测及显示系统 3、 电源和真空系统,一、扫描电镜的基本结构,第一节 扫描电镜的结构和工作原理,镜中图像,电子枪和透镜: 电子枪产生电子经透镜会聚成电子束(探针) 投射在样品表面(约10nm) 扫描线圈:(偏转线圈) 位于透镜和物镜之间,有两组扫描线圈(在显
3、像管也有两组)作用是控制电子束在X、Y两个方向规律的运动 样品室: 样品室较大,位于物镜的下方,室内有样品台、二次电子检测器、抽气管道和更换样品的窗口,(一)电子光学系统(镜筒),二次电子探测器: 由收集器、闪烁体、光导管和光电倍增管成 二次电子探器是扫描电镜的眼睛,其作用是 收集扫描样品发生的二次电子信号并将它变成显像管的图像信号 显示系统: 显像管及电路组成,将电信号处理成最终影像,(二) 信号检测及显示系统,(三)电源和真空系统, 电子枪发射电子,经透镜聚焦形成很细 的电子束班(约10nm)称电子探针 电子探针打在样品表面,把样品表面原 子外层的电子打落形成 二次电子 (二次电子的产生率
4、主要与样品表面材料的性质及入射角的角度有关,入射角越大,二次电子的发射就越多),二、扫描电镜的工作成像原理,二次电子信息被收集转换和放大,变成可供观察和拍摄的影像 由于二次电子产生的多少与电子束入射 角度及样品表面的起伏有关,所以在荧光屏 上会得到样品表面形貌的立体图像,生物样品分为二大类: 含水组织 含水量少的组织,第二节 扫描电子显微镜样品制备技术,样品台,此类样品一般含有硅质、钙质、角质等成分 表面不易变形和收缩(如毛发、牙齿等) 这类标本处理较简单,只需表面清洁,就可 直接喷镀金属膜进行电镜观察,1、含水量少的硬组织,这类组织在生物样品中占多数 大多数生物组织的含水量都在80%以上 必
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