静电防护训练讲仪.ppt
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1、防靜電基礎知識,一. 靜電產生的原理 : 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 A B, ,+ + + + + + + + + + + + + + +,2.傳導: 電荷的轉移, 示意圖如下: A B 電量相等電荷轉移,+ + + + + + + + + + + +,+ + + + + + + + + + + +,3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下:,A B 靜電感應只對導體和半導體才有作用.,+ + + + + + + + + + + +, + + + + + +,二. 靜電電荷產生的種類:,1. 摩擦 2. 分離 3. 電場感應 4. 傳導,三.
2、靜電電荷對微電子工業的影響:,1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.11.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 2. ESD(ESD中文意思是靜電電壓放電)失效: 靜電放電時當放電電流過大, 產生過高熱能, 將會擊穿集成電路內部線路. 3. 三種擊穿現象: 1. 熱擊穿: P-N破壞 2. 介電擊穿: 氧化層的破壞 3. 金屬汽化: 金屬線被汽化而開路,四.半導體的靜電敏感度:,靜電放電的三種型式:,1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞. 2. 微電子器件
3、帶電型式: 在自動化生產過程中, 一些塑料器件因摩擦產生靜 電, 通過ESD敏感裝置接觸, 造成損壞. 3.場感應型式: 在有強電場圍繞時, 能通過感應方法損壞ESD敏感裝置 .,靜電電荷的消除原理:,1. 接地: 將導體材料接通大地, 把靜電電荷傳導到大地. 2. 離子中和: 用離子發生設備產生離子, 來中和物體表面所帶靜電荷. 3. 屏蔽: 用高導電性材料做成屏蔽層, 使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞.,一. ESD等級分類及控制程序: 1.ESD等級分類:,2. ESD失效的潛伏性: 有時ESD並沒有把半導體完全破壞, 而只把元件某部分的品質降低. 從事ESD敏感半導體等行業應留意以下
4、幾點: 1). 潛伏性的ESD問題: 在任何場合都會發生; 2). 潛伏性的ESD問題: 將會累積起來加深其損壞的嚴重性 ; 3). 潛伏性的ESD問題: 在運送ESD敏感性元件, 更加無法估計其產生的可能性; 4). 潛伏性的ESD問題: 不只是影響成品用家, 也會影響各層制造商的維修費及聲譽; 5). 潛伏性的ESD問題: 目前還沒有辦法把此問題的產品全部找出來.,八、 名词解释:,1、ESD-Electrostatic discharge-静电释放,即静电电荷在不同电势的物品或表面之间转移的过程. 2、EOS-Electrostatic Overstress-静电损伤,即器件接受静电释放
5、时,其特性产生变化,通常性能变差,但未完全失效. 3、ESDS-ESD Sensitivity Susceptivility-静电敏感性(度),衡量一个器件对静电破坏所能感受的程度,即其特性在不同的静电水准下改变多少.,4、Antistatic-指材料阻止磨擦起电的性能,在本文中,防静电材料通常其磨擦起电的静电电压低于200Volts. 5、Electrostatic Shielding-静电屏蔽,设置在物体周围的导体屏障以排出外电场的影响. 6、Conductive Material-导电性材料,在本文中,这种材料的表面电阻率低于10E-5,M或体积电阻率低于10E-4.m.,7、In su
6、lative Material-绝缘材料,在本文中,这种材料的表面电阻率大于10E5.M,或体积电阻率大于10E-4.M. 8、Equipment Ground-设备接地,电气设备与硬地电极之间的低阻抗通路.通常为电源插座的第三端. 9、ESD Ground-静电接地,由导体所组成的电极,金属带,金属棒等,用来构成连接带有静电电荷的人或物体与大地之间通路.,10、Tribo-electric Charging-磨擦起电,当两个最初接触的物体(一方或变方均为绝缘体)分离时而产生静电电荷积累. 11、ESD Protective Packaging-静电防护包装,一种包装方式,可以用来限制静电每感
7、器件磨擦起电电荷的积累,或者为ESD器件提供静电屏蔽. 12、靜電逸散材料-材料表面電阻率大於1x10E5 ohms/square, 小於1x10E12 ohms/square,或者體積電阻率大於1x10E4 ohms-cm, 小於1x10E11 ohms-cm.,13、表面電阻-與材料的同一邊相連的兩個特定形狀電極之間直流電壓與電流的比值,表面電阻用ohms表示. 14、表面電阻率-通過單位面積表面的直流電壓與電流的比值, 表面電阻率是指一個面相對兩邊之間的電阻, 與面積大小和它的尺寸單位無關, 表面電阻率用ohms/square表示.,九、 人员:,凡生产中可能接触到电子元器件或产品的人遇
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- 静电 防护 训练
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