静电防护讲议.ppt
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1、一.防靜電基礎知識,靜電產生的原理 : 1. 摩擦: 絕緣體之間磨擦而產生靜電 A B, ,+ + + + + + + + + + + + + + +,2.傳導: 電荷的轉移, 示意圖如下: A B 電量相等電荷轉移,+ + + + + + + + + + + +,+ + + + + + + + + + + +,3. 感應: 帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電, 示意圖如下:,A B 靜電感應只對導體和半導體才有作用.,+ + + + + + + + + + + +, + + + + + +,二. 靜電電荷產生的種類:,1. 摩擦 2. 分離 3. 電場感應 4. 傳導,三.靜
2、電電荷對微電子工業的影響:,1. 微粒污染: 在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.11.0微米 之間的顆粒沉積的主要原因. 當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵. 2. ESD(ESD中文意思是靜電放電)失效: 靜電放電時當放電電流過大, 產生過高熱能, 將會擊穿集成電路內部線路. 3. 三種擊穿現象: 1. 熱擊穿: P-N破壞 2. 介電擊穿: 氧化層的破壞 3. 金屬汽化: 金屬線被汽化而開路,四.半導體的靜電敏感度:,五.靜電放電的三種型式:,1. 人體型式: 當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電, 若不及時將靜電 釋放給大地, 而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞. 2. 微電子器件帶
3、電型式: 在自動化生產過程中, 一些塑料器件因摩擦產生靜 電, 通過ESD敏感裝置接觸, 造成損壞. 3.場感應型式: 在有強電場圍繞時, 能通過感應方法損壞ESD敏感裝置 .,六.靜電電荷的消除原理:,1. 接地: 將導體材料接通大地, 把靜電電荷傳導到大地. 2. 離子中和: 用離子發生設備產生離子, 來中和物體表面所帶靜電荷. 3. 屏蔽: 用高導電性材料做成屏蔽層, 使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞.,七. ESD等級分類:,八.預防措施: a. 人员,凡生产中可能接触到电子元器件或产品的人遇均需具备一定的静电防护措施. 1、在线生产人员必须佩戴有线防静电手环方可作业,该有线防静电手
4、环应与专用之接地线相连; 2、非在线之作业员,设备操作员,现场之管理干部及周边单位(工程、品管、检测、企划等)技术员、工程师等需佩戴证明有效的无线式防静电手环;,3、SMT现场之工作人员,除佩戴相应之防静电手环外,还应该穿防静电服与防静鞋; 4、品检人员应佩戴证明有效的无线式防静电手环,但当检验静电敏感器件(如IC,电晶体,二极体,晶振)等时,或带有ESDS器件的产品时的,必须戴有线防静电手环.,b. 设备与工具,1、生产设备,包括插件线、输送带、各种焊锡机、水洗机、前加工设备、吸放板机、锡膏印刷机,贴片机等必须要有专用导线与接地线相连; 2、接触静电敏感元器件的工作台,检验桌,修理桌等,表面
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