Ct扩散炉结构简介.ppt
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1、1,Centrotherm扩散炉设备结构简介,CONTENT,1、设备基本构成 2、炉体部分 3、Load station 4、Gas cabinate 5、控制及监控系统,基本构成centrotherm,Centrotherm扩散炉机台主体由装载系统,TGA,炉体部分和气源柜四部 分组成。其各部分功能如下: 1.装载系统:用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内,以及将扩散完成的硅片传送到上料台。 2.TGA(Toxic Gas Exhaust):用于驱动炉门,吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。 3.炉体部分:机台的核心 部分,由五个炉体及相关的电 源系统和控制系统组成。 4.
2、气源柜:用于提供扩散 工艺过程所需的各种工艺气体, 以及将扩散过程中产生的尾气 通过酸排风系统排出。,炉体部分centrotherm,炉体部位包含炉体,控制柜和电源柜三个部分。 炉体部位包含五根炉管,控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器,电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。,控制柜,动力柜,炉体,控制柜,动力柜,CCC电脑放置处,动力柜,动力柜中的变压器,机体温度监控,CCC控制电脑与CMS CCC控制电脑( Cell Control Computer )中包含用于创建和管理recipe的软件CCC-RM(Centrotherm Cell Control Re
3、cipe Manager),用于对CESAR电脑进行集中控制。 CMS (central machine safety),错误监视单元,用于监视炉内,炉外,炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况,并将结果显示在CMI电脑用户界面上。,CMS,CCC电脑,CESAR控制电脑,温度控制器,CESAR 控制电脑(每个炉管有一个): 其作用为:创建或更改recipe, 定义recipe变量(工艺时间,温度,压力,气流),start,stop and cancel recipe,数字控制温度,控制气流,装载机组参数设置,与装卸系统进行通讯,监视报警/中断状况(气流,温度,压力),通过级联控制器控制温度,通
4、过级联温度控制进行自动拉温,存储一定数量的recipe,记录用户定义的工艺数据,对正在运行的工艺进行测试(执行工艺步骤,更改变量,设置/重置停止点等) 温度控制器(每个炉管有一个): 采用REG97温度控制器,硬件部分由controller,transducer,pulse skipping unit组成。,控制柜,动力柜,UPS电源,炉体,电力配置箱,变压器,动力柜,控制柜,炉体与变压器分布,Spike TC,温度测量模块,Spike TC 供电,超温监控,CMS(机器安全系统),冷却水管接口,冷却水管接口,Spike TC,炉体情况,接线柱,Spike TC,Spike TC(包含两根热偶
5、,一根用于超温报警,一根用于工艺控温),石英管,工艺气体进气管,Paddle TC放置口,尾气管放置,炉丝及炉管,炉丝与接线柱接口设计,炉门控制系统-TGA,Centrotherm的炉门系统由专门的控制装置TGA(Toxic Gas Exhaust),其上有热排风来抽走炉门开关过程中可能释放出的有毒气体和热量。,TGA,炉门开关驱动电机,炉门进出驱动电机,炉门装置,Load station,Centrotherm扩散炉的装载系统由冷却箱,桨及桨托,传送带系统,手动上料台,lift,store shelf,真空吸笔装置,过滤箱,CMI电脑以及相关的控制电路组成。,手动上料台,冷却箱,CMI电脑,
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