JJC清洗设备基本原理.ppt
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1、JJC清洗设备基本原理,晶硅电池设备设备 2012年11月,制绒的目的,去除硅片表面机械损伤层(5-7微米) (晶格畸变、位错等对光生载流子形成很强的复合,影响转换效率) ; 清除表面油污、杂质颗粒及金属杂质; 形成起伏不平的绒面,利用陷光原理,增加硅对太阳光的吸收,减少光的反射,增加PN结面积,提高短路电流(Isc),最终提高电池的光电转换效率。,制绒的原理,单晶制绒:利用硅在低浓度碱液( 0.8wt%-2wt% )中的各向异性腐蚀,经一定时间腐蚀后,在(100)单晶硅片表面留下四个由(111)面组成的金字塔。Si+2OH-+4H2O Si(OH)62-+2H2 多晶制绒:硅片在缺陷或损伤区
2、的腐蚀速率更快,形成局部凹坑; HNO3+Si SiO2+NOx+H2O SiO2+6HF= H2SiF6+2H2O,制绒效果,设备概要,捷佳创清洗是对原硅片进行扩散前的清洗,完成制绒过程的设备。是一个由移载机械手运输,经去制绒、清洗、干燥等部分组成一条自动连续工作的清洗装置。,制绒,清洗,干燥,结构组成,本设备主要由槽式清洗主体、移载机械手、电控柜及触摸屏等部分组成。,主体,电控柜,触摸屏,结构组成(上料台),上料电机开启后,当上料台传感器感应到有花篮,电机设定的运行时间到,电机停止工作。,结构组成(1#槽),1#槽循环泵对槽体内液体进行自循环。 现有工艺是在1#槽进行一个预清洗的过程。,结
3、构组成(2#,7#和13#槽),2#,7#,13#槽是漂洗槽,使用的是下快排阀,排液迅速。,结构组成(3#-6#单晶制绒槽),用于单晶制绒工艺,槽体材质PP,喷氟的黑色槽盖和加热器保证槽体温度稳定,自动循环系统。,结构组成(8#,9#以及多晶副槽),槽体使用PVDF材料构成,具有更强的耐化学性。 溶液配在冷封槽中,通过循环泵泵到多晶槽中。冷封槽中连着毛细水管,起到冷却溶液的作用。,结构组成(冷冻机管路),恒标冷冻机主要由压缩机,冷凝器,蒸发器,水箱以及循环泵等主要部件构成。 冷冻机通过压缩机进行冷却,由循环泵泵到副槽,通过毛细管跟药液进行热交换。,结构组成(14槽),14#槽是喷淋槽,喷淋水要
4、确保干净,否则会把硅片打碎,喷淋后的水流到13#槽副槽,通过循环泵给13#槽补水。,结构组成( 15槽),慢提拉槽中的热水由自己的副槽提供,通过循环泵泵到槽体中。另外,由变频器控制慢提机械手升降。,结构组成(烘干箱),烘箱通过12根石英加热管加热,每根70W,由风机实现热循环,风干硅片。,结构组成(加热),捷佳创清洗设备的加热系统,都是由断路器,熔断器,固态继电器和加热器组成。机台内部单独的加热系统都是设定的9KW的加热功率。,结构组成(机械手),两台伺服电机分别控制机械手的前后移动和升降,汽缸控制机械手的进、退钩. 三个机械手负责的槽位分别是1#-7#,7#-13#,13#-15#。新机型稍
5、有区别,是1#-5#,5#-9#,9#-15#。,结构组成(触摸屏),E-VIEW 10.4英寸触摸屏,自动/手动旋钮,停止,复位,急停开关,结构组成(触摸屏),结构组成(变频器),型号为(G110 6SL3211-0AB13-7UA1,西门子)的变频器控制,结构组成(变频器),变频器报警代号与含义,结构组成(伺服驱动器),型号为(MCDDT3520-003,松下)的驱动器控制。,结构组成(伺服驱动器),驱动器报警代号和含义,典型故障判断与处理方法,一整机不能启动,无法运行 a.首先检查机械手是否回到原点位,如没在原点位,先进行回原点,直至原点“OK” 字母闪烁;,回原点,实时报警画面,b.检
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