Sputter基本原理培训.ppt
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1、演讲人:王金萍,【SPUTTER基本原理】,1,目录,第一章 真空 第二章 等离子体 第三章 溅射原理 第四章 反应性溅射 第五章 溅射镀膜设备 第六章 溅射靶及靶材配置,2,目录,第二章 等离子体 第三章 溅射原理 第四章 反应性溅射 第五章 溅射镀膜设备 第六章 溅射靶及靶材配置,3,第一章 真空,第一章 真空,4,1-1 生活中的真空,第一章 真空,5,帕斯卡 Pa: 1Pa=1N/ 标准大气压 atm: 1atm=101325Pa 托 Torr: 1Torr=133.32Pa 毫巴 mbar: 1mbar=100Pa,第一章 真空,6,大气: 103mbar 低真空: 10310-3m
2、bar 中真空: 10-310-6mbar 高真空: 10-610-9mbar 超高真空: 10-9mbar,第一章 真空,7,2-2 气体分子平均自由程,不同真空度下的平均自由程:,第一章 真空,8,第一章 真空,9,第一章 真空,6.真空的获得,10,旋叶泵,旋叶泵的特点: 经济耐用 工作范围: 大气压10-3mbar 极限真空: 10-3mbar 缺点:振动、反油,第一章 真空,11,罗茨泵,机械泵的特点: 启动快,抽速大 工作范围:低、中真空 极限真空:取决于前级泵 罗茨泵压缩比较小,一般需要串联使用;,第一章 真空,12,涡轮分子泵,涡轮分子泵的特点: 抽速大、无油、启动快 工作范围
3、: 10-210-6mbar 极限真空: 10-6mbar 缺点:振动、成本高、易损,第一章 真空,13,油扩散泵,油扩散泵的特点: 经济耐用、无振动 工作范围: 10-4 10-9mbar 极限真空:10-6mbar 10-9mbar (液氮冷却) 缺点:反油、需预热,第一章 真空,14,几种常用泵的极限压强与启动压强,目录,第一章 真空 第三章 溅射原理 第四章 反应性溅射 第五章 溅射镀膜设备 第六章 溅射靶及靶材配置,15,第二章 等离子体,第二章 等离子体,16,等离子体是由部分分子、原子及原子被电离后产生的正离子和负电子组成的离子化气体状物质,它是除去固、液、气外,物质存在的第四态
4、。等离子体是一种很好的导电体,呈准中性状态。,2-1 辉光放电,第二章 等离子体,17,2-3 雷电,2-4 极光,第二章 等离子体,18,2-5 日光灯,2-4 真空镀膜,第二章 等离子体,19,辉光放电产生的条件: 在放电开始前,放电间隙间电场是均匀的; 放电过程主要是靠阴极发射电子来维持的; 放电气压一般维持在1010-3mbar; 放电电流密度一般要维持在10-1102mA/cm2; 电压一般为3005000V;,溅射所需要的轰击离子通常采用辉光放电获得。辉光放电是气体放电的一种类型,是一种稳定的自持放电。,第二章 等离子体,20,1、在真空室内安置两个电极。 2、通入压力为10-31
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