材料方法第10章SEM2.ppt
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1、电子探针显微分析,Electron Probe Microanalysis, EPMA,电子探针显微分析是利用聚焦的电子束照射到样品上使之产生特征X射线,由探测器接收,然后利用X 射线谱仪分析其能量或者其波长并确定样品元素组成的一种分析方法。 1913年莫塞莱发现了元素的特征X射线与其原子序数之间有着一定的关系 其中和为常数, 为原子序数, 为特征X射线的频率。,EPMA-SEM装置,X射线能谱仪 (Energy Dispersive Spectroscopy,EDS),X射线检测分析的基础是特征X射线谱,图 给出了X射线能量与元素序数之间的关系。 确定了特征X射线。 EDS系统的工作原理 E
2、DS的结构:由探测器、前置放大器、脉冲信号、处理单元、处理单元、D/A D/A、多道分析器等组成。,Si(Li)探测器的结构,EDS的特点 X射线能谱仪具有如下一些特点 (1)探测立体角大、探测效率高; (2)对薄样品检测效率由于厚块状样品; (3)可同时显示所有谱线,定性分析速度快。,X射线波谱仪(Wavelength Dispersive Spectrometry, WDS),根据波长和频率之间的关系, 莫塞莱定律可以转变为: 如果测得X射线的波长则可判断样品中的元素,元素含量越多则X射线强度越高。,X射线波谱仪的结构: X射线波谱仪由X射线份光谱仪和测量电路系统组成。其中X射线探测器和分
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