高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析.ppt
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1、“挑战杯”西安邮电大学,高灵敏度阵列气敏传感器的制备 与气敏特性研究,答辩人:杨锐强、卫怡、康颖,通过以下图片我们能得出什么?,1.酒后驾车,这样生活真累,2、环境污染,3、煤矿安全,图一 消防队员处理泄露事故 图二 硫化氢有毒气体泄露,4、气体泄漏,本项目使用纳米材料薄膜,比表面积大,表面能高,具有传统材料所不具备的物理化学特性。比普通薄膜有更快的响应速度,具有高灵敏度。,目录,1、气敏传感器的简介 2、本项目的研究意义以及研究目标 3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺 4、数据分析及总结 5、未来前景展望,1、气敏传感器的简介,气敏传感器的基本结构:,转换电路,气敏传感器的基本原理:,气敏
2、薄膜,基底,气敏薄膜,加热电极,叉指电极,气敏传感器的分类,气敏传感器,半导体气敏传感器,催化燃烧式气敏传感器,电化学气敏传感器,热导池式气敏传感器,磁性氧气传感器,2、本项目的研究意义以及研究目标,由于单个气敏器件对多种气体都有响应,我们对单个敏感器件的这一特点加以研究,制备出高灵敏度阵列气敏传感器。它不仅能克服单个气敏传感器的缺点,更能够对混合气体加以辨别。存在多种应用和潜在应用。,半导体气敏传感器阵列,(1)氧化,高温氧化炉,3、高灵敏度阵列气敏传感器的制备工艺,(2)匀胶,光刻胶,氧化层,涂胶机,(3)光刻,光刻机,(4)刻蚀和除胶,(5)掺杂,硅晶片的蚀刻掩膜去除后,叉指电极,掺杂(
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- 关 键 词:
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