02-硅烷法多晶硅制备技术.ppt
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1、硅烷法多晶硅 制备技术,浙江中宁硅业有限公司 2011.07.05,硅烷法多晶硅生产工艺的优势,耗电低。硅烷的分解温度为800,而主流的三氯氢硅法反应温度在1150左右,故还原电耗较低。 硅烷容易分解,材料利用率高。污染小。与多晶硅制备的主流工艺相比较不含氯化物,生产过程不副产氯化氢,三废排放少,对环境影响小; 尾气易处理。硅烷法所产生的尾气主要是氢气和少量未反应硅烷,两者都可经过适当的手段进行分离、可循环再用; 硅烷易提纯,为制备电子级高纯多晶硅创造了条件。 硅烷法多晶硅还原工艺可以进一步升级为流化床工艺,使多晶硅还原电耗降低到1015千瓦时/公斤,硅烷法多晶硅生产技术,四氟化硅制备,四氢化
2、铝钠制备,硅烷制备,多晶硅制备,四氟化铝钠干燥,硅烷提纯,硅烷充装,作为副产品 对外销售,作为主要产品 对外销售,作为主要产品 对外销售,四氟化硅(STF)的制备,以廉价的氟化钙、硫酸、石英砂和氟化氢等为主要原料来制备四氟化硅,制备过程分为两步进行。第一步氟化钙和硫酸在反应炉中反应生成氟化氢气体,冷凝成液体备用;第二步石英砂和氟化氢在硫酸的介质中反应生成四氟化硅(STF)气体。,四氢化铝钠(SAH)的制备,四氢化铝钠(SAH)的制备是通过三乙基铝、铝粉、在溶剂槽中混合,然后转送到四氢化铝钠(SAH)反应釜中进行合成。整个过程在氢气的氛围下进行。 四氢化铝钠(SAH)产品按照批次生产出来以后在溶
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- 02 硅烷 多晶 制备 技术
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