平面度测量.ppt
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1、平面度测量步骤,准备平面底板进行平面度测量 建立平面度数据采集软件 设置光学系统 使激光沿测量线对齐 采集测量线数据 建立并测量七个测量线 分析采集的平整度数据。检查数据测量误差所讨论的平直度测量精度的影响因素,平面度测量组件,三个平面度底座 - 50 mm 步距 - 100 mm 步距 - 150 mm 步距,平面度测量原理,平面度测量的过程是:当角度反射镜沿着测量光路移动时采集一系列增量高度读数。,激光测量由以下组件构成:,XL-80激光头 XC-80环境补偿单元 角度测量光学镜组 平面度测量组件 LaserXL校准软件,评估平面度的标准方法,要测量表面的平面度,需在表面上采集若干条测量直
2、线。平面度测量有两种标准方法:对角线 (Moody) 法、 网格法。,网格法和半网格法,平面度测量准备及设置,线的位置,激光位置,平面度测量配置,平面度测量步骤,闭合度误差,平面等值线FB、HD是错误7和8,平面度光束准直步骤,单旋转镜,1.干涉镜的放置位置 2.旋转镜/干涉镜组合至少8毫米前开始点测量,3.调整光靶位置,4.旋转旋转镜,5.调整激光/三脚架使光束旋转镜放在正确的位置,如图5所示。,6.角度反射镜安装在沿线的远处,7.旋转旋转镜,产生双反射线 8.使入射光在图示7的位置,9.去除光靶,旋转旋转镜使反射光反射到激光前边的光靶上。 10.倾斜的旋转镜使反射光在同一高度。 11.旋转
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