加速度传感器芯片有哪些_常见MEMS加速度传感器芯片盘点.doc
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1、加速度传感器芯片有哪些_常见MEMS加速度传感器芯片盘点加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中,通过对质量块所受惯性力的测量,利用牛顿第二定律获得加速度值。加速度传感器的特性1、灵敏度加速度传感器的灵敏度是指其输出信号量(电压/电荷)与输入信号量(加速度)的比值。灵敏度越高,则信噪比就越大,静电干扰和电磁干扰噪声也就越小。但是,在其它条件相同的前提下,想要得到较高的灵敏度,需要较大的质量快,这随之带来了两个缺点:加速度传感器质量变大和共振频率变低。2、质量加速度传感器在使用时通常是通过螺钉连接或胶黏的方法固定在
2、被测物表面的,如果果加速度传感器的动态质量接近被测物的动态质量,则这部分质量将会影响到被测物的运动状态,从而得到有一定程度失真的测量结果。因此,当被测物较为轻薄时(电路板、壳体等),尤其应当注意选用质量小的加速度传感器。3、谐振频率加速度传感器本身是一个弹簧-质量-阻尼系统,因此必然有一个谐振频率,如果被测物的振动频率正好接近这个谐振频率,加速度传感器的灵敏度会急剧增加,这时输出的值是没有意义的。一般来说,加速度传感器都工作在其谐振频率的1/5或1/3的频段内。4、频率响应加速度传感器的频率响应通常是指其幅频响应。理想的加速度传感器的频率响应当然是从0Hz至+Hz都保持相同的灵敏度,但实际上并
3、不存在这要的传感器。加速度传感器按照其工作原理不同,有些在高频段表现出色,可以达到几十kHz,有些则是低频响应较好,并可以提供直流响应。5、横向灵敏度在理想情况下,若被测物存在垂直于加速度传感器测量轴的方向的振动,输出的测量信号应该是为零的。但实际上,由于材料特性及制造误差等原因,可能会有高达5%的输出信号。这是一种串扰输出,因此横向灵敏度也被称为“串扰灵敏度”。6、温度灵敏度加速度传感器是一种电子产品,它的输出特性不可避免的会受到温度的影响,一般说来,温度越高,测量误差就越大,但可进行温度补偿。不同类型的加速度传感器的适用温度范围差别很大,如PE传感器可以耐受到700,而IEPE传感器由于内
4、置了处理电路,一般只能耐受到175。7、瞬变温度灵敏度加速度传感器随着温度的瞬变将会产生输出,该输出的最大值与传感器灵敏度和温度改变量乘积的比值称为瞬变温度灵敏度。这种瞬变温度所引入的误差主要出现在压电式加速度传感器中,由热释电效应引起。大多数情况下这种效应是很低频的,且不易被发现。加速度传感器工作原理加速度传感器自然是对自身器件的加速度进行检测。其自身的物理实现方式咱们就不去展开了,可以想象芯片内部有一个真空区域,感应器件即处于该区域,其通过惯性力作用引起电压变化,并通过内部的ADC给出量化数值。Lis3dh是三轴加速度传感器,因此其能检测X、Y、Z的加速度数据,如下图:在静止的状态下,传感
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