压电式传感器的简介和发展方向.doc
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1、压电式传感器的简介和发展方向压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量,在声学、医学、力学、导航方面都得到广泛的应用。它具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。压电式传感器压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应,是典型的有源传感器。当材料受力作用而变形时,其表面会有电荷产生,从而实现非电量测量。压电效应某些电介质,当沿着一定方向对其施力而使它变形时,其内部就产生极化现象,同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷,当外力去掉后,其又重新恢复到不带电状态,这种现象称压电效应。相反,当在电介质极化方向施加电场,这些电介质也会产生变形,这种现象称为“逆压电效应”(电致伸缩效应
2、)。压电材料石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。应用于压电式传感器中的压电元件材料一般有三类:压电晶体、经过极化处理的压电陶瓷、新型压电材料。他们都具有较大的压电常数,机械性能良好,时间稳定性好,温度稳定性好等特性,所以是较理想的压电材料。1、压电晶体天然形成的石英晶体外形石英晶体切片及封装石英晶体在振荡电路中工作时,压电效应与逆压电效应交替作用,从而产生稳定的振荡输出频率。石英晶体振荡器(晶振)石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶体,属于六角晶系。它为规则的六角棱柱体。石英晶体有3个晶轴:x轴、y轴和z轴。vz轴又称光轴,它与晶体的纵轴线方向一致:x轴又称电轴
3、,它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴:y轴又称为机械轴,它垂直于两个相对的晶柱棱面。石英晶体的压电效应与其内部结构有关,产生极化现象的机理可说明。石英晶体的化学式为SiO2,它的每个晶胞中有3个硅离子和6个氧离子,一个硅离子和两个氧离子交替排列(氧离子是成队出现的)。沿光轴看去,可以等效地认为正六边形排列结构。图中1正电荷等效中心2负电荷等效中心(1)在无外力作用时(2)当晶体沿电轴(x轴)方向受到压力时,晶格产生变形(3)同样,当晶体的机械轴(y轴)方向受到压力时,也会产生晶格变形(4)当晶体的光轴(z轴)方向受到受力时,由于晶格的变形不会引起正负电荷中心的分离,所以不会产生压电效应。沿
4、机械轴方向的力作用在晶体上时,产生的电荷与晶体切面的几何尺寸有关,式中的负号说明沿机械轴的压力引起的电荷极性与沿电轴的压力引起的电荷极性恰好相反。2、压电陶瓷压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴,它有一定的极化方向,从而存在电场。在无外电场作用时,电畴在晶体中杂乱分布,它们各自的极化效应被相互抵消,压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性,不具有压电性质。在陶瓷上施加外电场时,电畴的极化方向发生转动,趋向于按外电场方向的排列,从而使材料得到极化。外电场愈强,就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度,即所有电畴极化
5、方向都整齐地与外电场方向一致时,当外电场去掉后,电畴的极化方向基本没变化,即剩余极化强度很大,这时的材料才具有压电特性。压电陶瓷的极化 (a) 未极化; (b) 电极化压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多,所以采用压电陶瓷制作的压电式传感器的灵敏度较高。极化处理后的压电陶瓷材料的剩余极化强度和特性与温度有关,它的参数也随时间变化,从而使其压电特性减弱。 3、新型压电材料压电薄膜(1) 压电半导体材料压电半导体材料有ZnO、CdS(硫化镉) 、CdTe(碲化镉 )等,这种力敏器件具有灵敏度高,响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料,可检测力和温度等参数。(2) 高分子压电材料
6、某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后,具有一定的压电性能,这类薄膜称为高分子压电薄膜。目前出现的压电薄膜有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚甲基-L谷氨酸脂PMG等。高分子压电材料是一种柔软的压电材料,不易破碎,可以大量生产和制成较大的面积。4、压电材料的主要特性参数1)压电常数:压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数,它直接关系到压电输出的灵敏度。2)弹性常数:压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。3)介电常数:对于一定形状、尺寸的压电元件,其固有电容与介电常数有关;而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。4) 机械耦合系数:在压电效应中,
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