各种显微分析设备(SEM, TEM, AFM, STM)分享!.doc
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2、像。SEM工作图入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损失的那部分能量(3050eV)激发核外电子脱离原子,能量大于材料逸出功的价电子从样品表面逸出成为真空中的自由电子,此即二次电子。电子发射图二次电子探测图二次电子试样表面状态非常敏感,能有效显示试样表面的微观形貌,分辨率可达510nm。二次电子扫描成像入射电子达到离核很近的地方被反射,没有能量损失;既包括与原子核作用而形成的弹性背散射电子,又包括与样品核外电子作用而形成的非弹性背散射电子。背散射电子探测图用背反射信号进行形貌分析时,其分辨率远比二次电子低。可根据背散射电子像的亮暗程度,判别出相应区域的原子序数的相对大小,由此可对金
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