国内外RF MEMS厂商大盘点 5G对我国的RF MEMS厂商来说是机遇也是挑战.doc
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1、国内外RF MEMS厂商大盘点 5G对我国的RF MEMS厂商来说是机遇也是挑战射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的重要应用领域之一,也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。RF MEMS用于射频和微波频率电路中的信号处理,是一项将能对现有雷达和通讯中射频结构产生重大影响的技术。RF MEMS器件按照器件类型分,主要有以下几种:基于开关基本结构单元的移相器、可调滤波器、可变波束天线等硅基/熔融石英基的高性能滤波器超小型化的声波滤波器(SAW、FBAR)微纳电感、电容结构组成的天线阵列微纳传输线/波导结构(如微同轴结构)组成的高性能T/R组件等RF MEMS已经广泛的应用于军
2、民各个领域,包括:个人通讯,如移动电话、PDA( Personal Digital Assistant)、便携式计算机的数据交换;车载、机载、船载收发机和卫星通信终端、GPS接收机等;信息化作战指挥、战场通信、微型化卫星通信系统、相控阵雷达等。随着第五代移动通信(5G)的发展,越来越迫切地需要一些低功耗、超小型化且能与信号处理电路集成的平面结构的新型器件,并希望能覆盖包括微波、毫米波和亚毫米波在内的宽频波段。而目前的通讯系统中仍有大量不可或缺的片外分立元件,例如电感、可变电容、滤波器、耦合器、移相器、开关阵列等,成为限制系统尺寸进一步缩小的瓶颈。RF MEMS技术的出现有望解决这个难题。采用R
3、F MEMS技术制造的无源器件能够直接和有源电路集成在同一芯片内,实现射频系统的片内高集成,消除由分立元件带来的寄生损耗,真正做到系统的高内聚,低耦合,能显著提高系统的性能。RF MEMS领域的技术引领者主要是美国、日本及欧洲一些高科技企业,研究机构主要有HRL Laboratories、LLC、Royal Society of Chemistry、Texas Instruments、 University of Michigan - Ann Arbor、UC Berkeley、Northeastern University、MIT Lincoln、Analog Devices、Raytheo
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