基于MEMS传感器在电子鼻系统中的应用设计.doc
《基于MEMS传感器在电子鼻系统中的应用设计.doc》由会员分享,可在线阅读,更多相关《基于MEMS传感器在电子鼻系统中的应用设计.doc(4页珍藏版)》请在三一文库上搜索。
1、基于MEMS传感器在电子鼻系统中的应用设计电子鼻是利用气体传感器阵列的响应图案来识别气味的电子系统,它可以在几小时、几天甚至数月的时间内连续地、实时地监测特定位置的气味状况。电子鼻主要由气味取样操作器、气体传感器阵列和信号处理系统三种功能器件组成。电子鼻识别气味的主要机理是在阵列中的每个传感器对被测气体都有不同的灵敏度,例如,一号气体可在某个传感器上产生高响应,而对其他传感器则是低响应,同样,二号气体产生高响应的传感器对一号气体则不敏感,归根结底,整个传感器阵列对不同气体的响应图案是不同的,正是这种区别,才使系统能根据传感器的响应图案来识别气味。电子鼻的类型很多,其典型的工作程式是:首先,利用
2、真空泵把空气取样吸取至装有电子传感器阵列的小容器室中。接着,取样操作单元把已初始化的传感器阵列暴露到气味体中,当挥发性化合物(VOC)与传感器活性材料表面相接触时,就产生瞬时响应。这种响应被记录并传送到信号处理单元进行分析,与数据库中存储的大量VOC图案进行比较、鉴别,以确定气味类型。最后,要用酒精蒸气“冲洗”传感器活性材料表面以去除测毕的气味混合物。在进入下一轮新的测量之前,传感器仍要再次实行初始化(即工作之间,每个传感器都需用干燥气或某些其它参考气体进行清洗,以达到基准状态)。被测气味作用的时间称为传感器阵列的“响应时间”,清除过程和参考气体作用的初始化过程所花的时间称为“恢复时间”。在电
3、子鼻系统中,气体传感器阵列是关键因素。除基本的气相色谱(GC)分析法以外,电子鼻传感器的主要类型还有导电型传感器、压电类传感器、场效应传感器、光纤传感器等。导电性传感器的基本特点是,其置于挥发性化合物(VOC)时的响应形式是电阻值发生变化。导电性传感器又分为金属氧化物传感器和聚合物传感器两大类。金属氧化物传感器在电子鼻系统中应用更广泛,其结构如图1所示。此类传感器中与VOC相接触的活性材料是锡、锌、钛、钨或铱的氧化物,衬底材料一般是硅、玻璃、塑料,发生接触反应需满足200400的温度条件,因此在底部设置了加热器。氧化物材料中用铂、钯等贵重金属搀杂形成两条金属接触电极。与VOC的相互作用改变了活
4、性材料的导电性,使两电极之间的电阻发生变化,这种电阻变化可用单臂电桥或其它电路来测量。事实上,一个传感器的活性材料总是设计得对某些特定气味响应最灵敏。该传感器的灵敏度范围为550ppm。金属氧化物传感器的缺点是:(1)工作温度较高;(2)经长时间工作之后,响应基准值易发生漂移,需要利用信号处理运算来克服;(3)对气体混合物中出现的硫化物呈“中毒”反应。但是,它有很宽的适用范围和相对低的成本,故依然成为当今广泛应用的气体传感器。导电聚合物传感器中,与VOC接触的活性材料一般是用噻吩、吲哚、呋喃等成分构成的导电聚合物,当气体分子与上述聚合物材料接触时会发生电离或共价作用,这种相互作用影响了电子沿聚
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 基于 MEMS 传感器 电子 系统 中的 应用 设计
链接地址:https://www.31doc.com/p-3411173.html