CX II真空维修案例一张康.ppt
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1、JEM 100 CX II真空系统 维修案例一,张康 2016.3.2,1,目录,一、JEM 100 CX II真空系统简介 二、故障描述 三、排查过程 四、维修过程 五、总结,2,一、JEM 100 CX II真空简介,JEM 100 CX II真空系统包含机械泵两台,油扩散泵两台(循环水系统),空压机一台,皮拉尼规四个,缓冲罐两个,电磁阀若干,真空管及接口若干。,3,主要参数: 真空度要求:10-5Pa 空压机压力:3-5kg/cm2 机械泵:10-3Pa 扩散泵10-210-7Pa(冷阱可进一步提高真空度和抽气速率,可选) 皮拉尼规真空度:10-2Pa10-5Pa,4,正常抽气流程,第一
2、阶段:初始阶段 1.打开循环水和电源后,空压机首先开始工作; 2.空压机压力达到3.8kg/cm2后,机械泵开始工作; 3.V11,V24,V14,V16指示灯亮,表示RP1,RP2正在抽缓冲罐1,缓冲罐2,底片室,样品交换仓; 4.同时A面板DP灯亮,表示DP处于加热状态。,5,第二阶段:粗抽阶段 1.V14切换至V25,V10亮,表示RP2开始抽镜筒粗真空,V11,V24,V16继续亮,表示RP1持续抽DP1,DP2前级真空; 2.至A面板HIGH灯亮为止,表示镜筒, DP,皮拉尼规前级真空均已抽好,且DP加热完毕,将开始细抽。,6,第三阶段:细抽阶段 1.自HIGH灯亮开始,表示 DP开
3、始细抽镜筒真空。 2.V8,V7,V23灯亮,表示DP2正在抽观察室,DP1正在抽镜筒和阳极室。 3.最后亮的灯是V4,V1以及A面板READY,表示整个真空系统抽气过程完毕,镜筒处于高真空状态,可以开始加高压。,7,二、故障描述,1.开始的故障是真空抽得比较困难,比平时时间延长很多,且时能抽上时不能。 2.空压机压气效率下降且有较大噪声。 3.逐渐发现电磁阀处有放气的声音,且越来越大。 4.完成初始抽气阶段后,一直停在V10灯亮这一步,无法继续向下进行。 5.放气现象越来越严重,起初以为是镜筒主动放气,后发现放气速率渐渐大过空压机压气速率,当空压机压力小于3kg/cm2时,机械泵停止工作,整
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