61434 15B型磨片机完好要求和检查评定方法 标准 SJ T 31117-1994.pdf
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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 1 5 B型磨片机完好要求和检查 评 定 方 法 s d / T 3 1 1 1 7 - 9 4 主题内容与适用范围 本标准规定了1 5 B型磨片机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于1 5 B型磨片机和9 B型磨片机; 其它磨片机亦可参照本标准有关条款执行。 2完好要求 2 . , 主要技术指标 2 . 1 . 1 磨后硅片厚度允差:士 2 . 5 p m / 盘。 2 . 1 . 2 磨削速率:3 -5 , p m / m i n a 2, . 3 磨盘转速:5
2、-6 5 , r / mi n ; 无级变速 2 . 1 . 4 空气压力设定:0 -3 . 8 X 1 0 P a , 2 . 1 . 5 磨片压力;5 . 9 X 1 0 -9 X 1 0 P a ; 可调 2 . 1 . 6 磨片尺寸硅片直径:2 -6 “ 0 2 . 1 . 7 磨片厚度:0 . 3 5 -3 0 , m m, 2 . 1 . 8 磨盘平整度:5 0 F a m; 2 . 2 操作系统 2 . 2 . 1 各操作开关, 按钮启动灵活, 定位可靠, 标志齐全。 2 . 2 . 2 制动, 限位装置齐全, 灵敏可靠。 23 传动系统 2 . 3 . 1 修正齿轮, 隔离片无
3、明显破损。 2 . 3 . 2 齿轮传动部份工作正常, 定期保养. 润滑链条松紧得当。 2 . 3 . 3 自动加油系统工作良好, 离合器等工作正常, 齿轮无严重磨损。 2 . 3 . 4 汽缸及安全机构安装正确 , 工作可靠 2 . 3 . 5 下盘定位正确, 保证定位面整洁。 2 . 4气路系统 2 . 4 . 1 气路系统的运动件在规定的各种速度范围内, 不应发生振动和显著的冲击, 不应有停 滞现象。 2 . 4 . 2 各电磁接触器、 磁力启动器, 继电器动作灵敏可靠 2 . 4 . 3 气路及真空管道、 接头、 阀门元件之间联结应牢固, 密封良好, 无漏气现象。 中华人民共和国电子工
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