JB-T 7463-2005 热阴极电离真空计.pdf.pdf
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1、I CS 23 . 1 6 0 N 6 8 ri; 登 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 J B / T 7 4 6 3 - 2 0 0 5 代都 B / T 7 4 6 3 -1 9 9 4 热阴极电离真空计 Ho t c a t h o d e i o n i z a t i o n g a u g e 2 0 0 5 - 0 5 - 1 8 发布2 0 0 5 - 1 1 - 0 1 实施 中华 人 民共 和 国 国 家 发 展 和 改 革 委 员 会 发布 J B/ T 7 4 6 3 -2 0 0 5 目次 前言二 . 价 , . ,. . , , . . . .
2、, , . , , . 价 ., 一一 ,一,一. .一 二 m 1 范围. , , . - . , . ,. , . . 二 品. . , . . . , , . . .一价 . . . . . . 一. 1 2 规范性引用文件 . . 一 , 价 . , 二 . . . . , . 卜 “. . . . . . . . 1 3 术语和定义,卜 . . . . . . . , . 卜 . , 二卜 . . 卜 . , . . . 一 1 4 技术要求 ., , . , , ,. . 价, , 二 , , .,.,. , . , , , , . , , , , , , ., 二 , , , “
3、 . . 2 4 . 1 工作环境 . . . . . . . . . . . - , . . , , . .二 价 . . , ,二 价一. .一2 4 .2 外观 价 . . , . . . . , . . . . . . . . . , 二 ,. , 二 , . . . 2 4 .3 电 参数的 示值误差 . .价 , , . . ” .卜 . . 卜 二 卜 . . . . , ,二 , ., , . 2 4 . 4 真空计压力示值误差. 价 一 , . , .-. , , . “,. , , ” . “ . . .“二 ,. . . . . . 2 4 . 5 电参数稳定性. 价 ,
4、 , ., , . . . , ., 二,. . . . . . . . . 2 4 . 6 使用安全性 能. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .价 . . . . . , . 2 4 . 7 输出信号. . . . , . . , . . . . . . . . . 一 , . , 二 , 二2 4 . 8 输出接口与通信接口一 , . . . “ . . . . . , . . . . . . . . . . . . . . , . 2 4 .9 抗运输环境性能 . . . .价. . . . . . , , , . , . . 一二 ” . .
5、 . . . . . 3 5 试验方法 , . . . . , . , , ,. -. ,. , 一 ,. , . . . . , , . . 3 5 . 1 外观试验. . . . . . . . . . . . . . . , , . . . .- . ,. . . , 二, . . . 3 5 . 2 电参数示值误差试验. 价 . . 一 , , . . . . . . . . . . . , . .- . . . . . . 3 5 . 3 真空计压力示值误差采用图3 所示等效离子流法进行 试验 价 . , , 价 一. . 一 . . 一. . 一4 5 .4 电 参数稳定性试验.
6、. . . , . , , 价. ,., 价. . . . . . . ,. , , , 二t . . . 5 5 5 使用安全性 能试验. ,. , . . . 一价 . . . , . , . . . . . . ,. 二 . . . . . . . . . . . . . 6 5 . 6 输出 信号 试验 . , . . . 卜 . . , 卜., 二 , . , 二 . . . . . . . . . . . . . . . . 6 5 .7 输出接口与通信接口 试验, . , , , .卜. , , , , , , , . . - .- , . . 一6 5 . 8 抗运输环境性能试
7、验. 价 , . . - , 价 . . . ,. . . . . . . -. . . , , . . , 7 6 检验规则. , . ,. . . . . . . . ,. , 二 . . . . . 7 6 . 1 通则 , . . . . . . , . , 二 _ 一 , . , , . . . . . . . - ,. . . 一 , . ,. . . 一 7 6 .2 出厂检验 . 卜 , . . . , , , , . . 卜 二 卜二 卜 卜 . “ . ,., . 卜 卜. 卜. . . , . , . . . . . . . . 7 6 . 3 型式检验. . , ,.
8、, 价 一 , . , 价 一.价价. 一. 一 价. . . 一一. . . 一一 7 7 标志、包装、 贮存. , 二 _ , , , . ., , . . . . . . . _ ,价 . . . . . 7 7 . 1 标志. . . . . . . - , 价 , . . . . . . . . ., ,二 价 . . . 7 7 . 2 包装. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .一一 一一 . 一 . .一.一. 卜 . . . . . 一. 一一, 一一.一二 . 7 7 . 3 贮存.- - .- . . - 一 .-二, . .
9、 . 一 , , 二 价-一, . . 一“ 二, , ,. 8 图1 发射电流的测试电 路 . 价 . , , . . , . , . , , ” . 价 , . . . . . . . . . . 一3 图2 加速极对阴极电位的测试电路. . . . , . . . . . , .“ . “ - . . . . . . . . 3 图3 真空计压力示值误差测试电路二 . 一 价 . . , , 二, 价 . . . . 一4 图4 发射电流随压力变化稳定度的 测试电 路. , . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
10、 . . . . 一, , . . . 6 J B/ T 7 4 6 3 -2 0 0 5 H u舀 本标准代替J B / T 7 4 6 3 -1 9 9 4 热阴 极电离真空计 。 本标准与J B i7 7 4 6 3 -1 9 9 4 相比, 主要变化如下: 由于原标准的适用范围不包含数显式真空计, 存在缺陷, 本标准增加了数显真空计的相关条款, 对标准中 技术要求、 试验方法等, 进行了 相应的调整与修订; 调整了规范性引用文件内容: 将原标准5 . 3标志、 包装和贮存调整为独立的 第7 章。 本标准由中国 机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会 ( S A C
11、f r C 1 8 ) 归口。 本标准负责 起草单位: 北京北仪创新真空技术有限 责任公司、 成都正华电子仪器有限公司、 沈阳 真 空技术研究所。 本标准参加起草单位:成都瑞普电子仪器公司。 本标准主要起草人: 徐自 勇、张雅静、王砚龄、 辜国 征、 周祖政、陈健。 本标准所代替标准的历次版本发布 情况为: - Z BY 2 2 7 - 1 9 8 4 , J B/ T 7 4 6 3 - 1 9 9 4 , J B / T 7 4 6 3 -2 0 0 5 热阴极电离真空计 1 范围 本标准规定了 热阴极电离真空计 ( 电离规管标准另订) 的技 术要求、 试验方法、 检验规则以及标志、 包装
12、和贮存等技术内容。 本标准 适用于与中 真空、 高真空、 超高真空热阴 极电 离规管 ( 以 下简称规管) 配套使用的热阴极电 离真空计 ( 以下简称真空计) 。对于进口的同类真空计亦可参照使用。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的 条款。 凡是注日 期的 引用文件, 其随后所有的 修改单 ( 不包括勘误的内 容) 或修订版均不适用于本标准, 然而, 鼓励根据本 标准 达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的 最新版本。 凡是不注日 期的引用文件, 其最新版本适用于本标准。 G B / T 1 9 1 包装储运图示标志 ( G B / T 1 9 1 -2 0
13、0 0 , e q v I S O 7 8 0 : 1 9 9 7 ) G B / T 2 8 2 9 周期检查计数抽样程序及表 ( 适用于对过程稳定性的 检验) G B / T 3 1 6 3 真空技术 术语 G B / T 3 3 6 9 工业自 动化仪表用模拟直流电流 信号 G B / r 3 3 7 0 工业自 动化仪表用模拟直流电压 信号 G B / T 6 1 0 7 使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口 ( i d t E I A/ T I A- 2 3 2 - E ) G B / T 6 5 8 7 . 1 电子测量仪器 环境试验总纲 G B /7
14、1 1 0 1 4 平衡电压数字接口电 路的电 气特性 ( e q v E I A R S - 4 2 2 A : 1 9 7 8 ) G B / T 1 5 4 6 4 仪器仪表包装通用技术条 件 J B /T 9 3 2 9 仪器仪表运输, 运输贮存基本环境条件及试验方法 E I A / T I A -5 7 4 使用串联二进制数据交 换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的 9插针非同 步接 口 3 术语和定义 G B / T 3 1 6 3 确立的以 及下列术语和定义适用于本标准。 3 . 1 真空计 v a c u u m g a u g e 测量低于一个大气压的 气体或蒸汽压力的仪
15、器。 注:某些常用的真空计实际上不直接测量压力, 而侧量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量。 3 .2 灵 敏 度系 数 s e n s i t i v i t y c o e f f i c i e n t 对于一给定压力, 真空计指示的 读数变化, 除以 对应压力变化。 注:某些真空计灵敏度系数与气体性质有关,在这种情况下灵敏度通常指氮气而言。 3 . 3 热阴 极电离真空计h o t c a t h o d e i o n i z a t i o n g a u g e 通过热阴极发射电子使气体电离的一种电 离真空计。 .理 7 4 6 3 -2 0 0 5 4 技术要求 4 . 1
16、 工作环境 真空计在下述环境下应能正常工作: .一一 环境温度:0 0 C - - 4 0 0C , 相对湿度:不大于8 5 %; 电源电 压:2 2 0 V 12 2 V , 5 0 H z 交流电。 4 . 2 外观 4 . 2 . 1 真空计的指示器应无引起测量误差的外观缺陷。如电表机械零位失调、指针弯曲、卡 针以及表 面刻度不清、 数字显示无模糊字、缺字、 缺划和乱跳等现象。 4 .2 .2 开关、旋钮、指示灯、插头 ( 座) 、 熔断器、电 缆和附件等均应齐全、 完好。 4 .2 . 3 机箱表面应平整、 光洁、无明显涂层剥落、锈蚀等现象。 4 .3 电参数的示值误差 4 . 3 .
17、 1 发射电流示值误差不应超过标称值的士 3 % . 4 . 3 .2 加速极对阴极电位不应超过标称值的士 5 % . 4 . 3 .3 阴极中 心点对地电位不应超过标称值的士 5 % a 4 .4 真空计压力示值误差 a ) 等效于离子流大于1 0伙时, 压力示值误差不应超过1 5 %; b ) 等效于离子流在1 0 - 伙-1 0 - 1 认时, 压力示值误差不应超过士1 0 % ; c ) 等 效 于 离 子流 在1 0 - 12 A 时, 压 力 示值 误 差 不 应 超 过1 2 0 % ,0 4 . 5 电 参数稳定性 4 .5 . 1 当电源电压为 2 2 0 V士2 2 V时:
18、 a )发射电流变化不应超过11 % ; b )加速极对阴极电 位变化不应超过士 5 % ; c ) 真空计指示在最大量程档的5 0 % 附近一个点的 示值变化不应超过士 2 %. 4 . 5 .2 电源电 压2 2 0 V稳定不变时, 真空计经预热3 0 m in 后的 l h 内: a ) 发射电流变化不应超过12 %; b ) 加速极对阴极电位变化不应超过士 5 %; c )真空计压力最大量程5 0 % 附近一个点的示值变化不应超过士2 %0 4 .5 .3 当 压力从上限开始变化两个量级时,发射电 流的 变化不应超过士 3 % . 4 .6 使用安全性能 4 .6 . 1 真空计供电电
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