JBT 8554-1997 气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验方法.pdf
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1、A29 JB/T 85541997 气相沉积薄膜与基体附着力 的划痕试验法 1997-04-15 发布 1998-01-01 实施 中华人民共和国机械工业部 发 布 I 前 言 本标准是关于气相沉积 TiNx等硬质薄膜取样和试验的系列标准之一。 本标准首次制订。 本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会提出并归口。 本标准负责起草单位:中国科学院兰州化学物理研究所、大连理工大学。 本标准主要起草人:于德洋、翁立军、王 茹、汪晓萍、华敏奇。 本标准于 1997 年 4 月 15日首次发布。 JB/T 85541997 1 1 范围 本标准规定了测定气相沉积 TiNx等硬质薄膜基体界面耐金刚
2、石压头划剥性能的试验方法。 本标准适用于气相沉积的硬质薄膜,也适用于气相沉积的润滑薄膜。 对任何特定的应用,所规定的试验方法可用补充资料加以完善。这些资料应来自相应的国际标准、 先进工业国家标准或国家标准、行业标准及其他相应文件, 必要时,也可由测试和送样双方协商提出相 应文件。 2 引用标准 下列标准所包含的条文, 通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均 为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 GB 646386 金属和其他覆盖层 厚度测量方法评述 GB/T 284892 洛氏硬度计 技术条件 GB/T 434292 金属显
3、微维氏硬度试验方法 JB/T 750594 离子镀技术术语 JB/T 770795 离子镀硬质薄膜厚度试验方法 球磨法 3 方法概述 根据压头上自动连续增加的垂直载荷, 测定完全划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小 载荷,即薄膜基体界面附着失效的临界载荷 LC。 4 仪器 测定 LC的自动划痕试验机的结构原理如图 1所示。该仪器由下列主要部件组成:A压头连续加 载电机;B声发射探头,探测划痕产生的声发射强度并输入微机;C洛氏硬度计标准压头;D试 样台;E位移电机,用以匀速沿水平方向拖动试样台;F切向摩擦力传感器,连续检测压头与薄膜 之间的摩擦力并输入微机;G试样台高度升降螺杆;H加载压
4、力传感器;I光学显微镜(40);J 信号放大器;K变换控制器;L微型计算机,用以实施测试自控和自动处理数据,并动态显示及 存贮数据与图形;M试样;NCRT 显示器;O绘图打印机,输出试验结果;P压头加载机构;Q 主支架。 机械工业部 1997-04-15 批准 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 气相沉积薄膜与基体附着力 的划痕试验法 JB/T 85541997 1998-01-01 实施 JB/T 85541997 2 图 1 自动划痕试验机结构原理图 5 试样 5. 1 基体 a) 形状及尺寸 长方体:长 4050mm,宽 3045mm,高 620mm;或圆柱体(4045)
5、mm(620)mm。 b) 硬度 按 GB/T 2848规定的方法和技术条件,测定基体的洛氏硬度(HRC)。 c) 工作表面的平均粗糙度 Ra0.32m。 d) 材料及其状态由送样方填写明确。 5. 2 薄膜 a) 厚度 薄膜的厚度按 JB/T 7707或 GB 6463规定的方法之一测定,并应0.1m。 b) 显微硬度(HV) 薄膜的显微硬度按 GB/T 4342 规定的方法测定。 c) 薄膜表面平均粗糙度 Ra 0.32 m。 d) 薄膜沉积方法由送样方填写明确。 6 试验程序 6. 1 通则 6. 1. 1 环境条件 试样在温度(205)和相对湿度(5010)%RH的条件下至少放置 8
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