JJ.国家计量标准-JJG 828-1993 激光千分尺平行度检查仪.pdf
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1、中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 8 2 8 - 1 9 9 3 激光千分尺平行度检查仪 L a s e r Me a s u r i n g I n s t r u m e n t f o r P a r a l l e i s m o f m i c r o me t e r 1 9 9 3 一0 6 一0 4发布 1 9 9 3 一1 2 一0 1 实施 国 家 技 术 监 督 局发布 J J G 8 2 8 - 1 9 9 3 本规程主要起草人: 贺呈祥 郑毅勇 刘佳丽 参加起草人 : 侯用民 邹 荣先 ( 东方锅炉厂) ( 天津市计量检定所) ( 天津市计量检定所) ( 自
2、贡市技术监督局) ( 自贡市计量测试研究所 ) J J G 82 8- 19 93 目录 一概述 。 ( 1 ) 二 检定项目 和检定条件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 ) 三技术要求和检定方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 3 ) 四检定结果处理和检定周期 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 5 ) 附录 1 用分度值为 1 自准直仪检定平行度检查仪示值误差 ( 6) 附录 2 D, d值及光屏活动标尺换算表 ( 8 ) J JG 82 8- 1
4、 99 3 飞,。;心-, 激光千分尺平行度检查仪 检定规程 V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f L a s e r Me a s u r i n g I n s t r u me n t f o r P a r a l l e i s m o f mi c r o me t e r 广0. 补 。. 0. 0. 补 0. 0. 一 0. 0. J J G 8 2 8 - 1 9 9 3 弓 乙S 、. 0 . 0 . 0 . 0. 0. 0. 0o. 夕 本检定规程经国家技术监督局于1 9 9 3年0 6月0 4日批准,并自1 9
5、9 3 年 1 2月 0 1日起施行。 归口单位 : 四川省标准计量管理局 起草单位 : 东方锅炉厂 天津市计量检定所 本规程技术条文由起草单位负责解释 J J G 8 2 8 - 1 9 9 3 激光千分尺平行度检查仪检定规程 本规程适用于新制造、使用中和修理后的激光千分尺平行度检查仪的检定。 一概述 激光千分尺平行度检查仪 ( 简称平行度检查仪)是利用激光光束通过一套光学系统 形成点光源所发出的球面波,分别经标准棱镜两平行平面与被测千分尺两测量面反射 后 ,先后在光屏上形成干涉环,由这两组干涉圆环的中心距确定被测千分尺两测量面的 平行度。 仪器结构如图 1 所示,其光学系统如图 2 所示。
6、 图 1 仪器结构 1 -固定反射镜:2 -激光电源;3 一光屏座;4 一底座;5 一左支承;6 一反射镜调整台;7 一标准梭镜;8 一右支承; , 一工作台;1 0 一千分尺示值误差检具;1 1 -d尺;1 2 -研磨器架;1 3 一支架;1 4 -激光器架;1 5 -D尺 3 4 5 2 1 9 l 8 / 图2 光学系统 1 -He 一 Ne 激光器;2 , 3 -固定反射镜;4 -聚光镜;5 一光屏; 6 一可移动反射镜;7 一千分尺测杆;8 一标准棱镜:9 一千分尺侧砧 J JG 82 8- 1 99 3 二检定项 目和检定条件 检定项目和主要检定工具列于表 t o 表 t 序号检定
7、项目主 要 检 定 工 具 检定类别 新制 的修理后使用 中 1 外观 +十 2 各部分相互作用 十十十 3 光屏座指标线位置的正确性游标卡尺和深度游标卡尺 +十 4 D尺和d尺位置正确性 游标卡尺 +十 5 千分尺示值误差检具 测量头表面粗糙度 表面粗糙度比较样板 + 十十 6研磨器架工作面平面度 2级平面平晶 十+十 7 活动标尺旋转中心对公差圆中心 的偏移量及活动标尺示值误差 工具显微镜 十十 8 示值误差 3 等 ( 或 1 级)量块、分度值 为 1 “ 自准仪、双面反射镜 + 注:表中 “ +”表示应检定,“ 一”表示可不检定。 2 检定条件 检定室的温度应在 要检具应放在检定室内,
8、 源,进行预热。 2 ( 2 0 1 5 ) 范围内, 温度变化每小时不超过1 C 。检定仪器及主 平衡温度的时间不少于 2 4 h 。检定前应提前 0 . 5 h 启动激光电 J J G 8 28 - 1 9 93 三技术要求和检定方法 3 外 观 3 . 1 要求 3 . 1 . 1 仪器的电镀表面不应有脱落,油漆表面应平整 ,不应有碰伤、色泽不均匀、仪 器导轨及其支承部件应无影响使用的庇病。 3 . 1 . 2 光学零件表面不应有明显擦伤、霉点及镀层脱落的现象。 3 . 1 . 3 仪器上所有刻线应清晰、均匀 ,不应有影响读数的缺陷。 3 . 1 . 4 仪器上应有制造厂名或商标,出厂编
9、号和生产许可证标志。 3 . 1 . 5 使用中和修理后的平行度检查仪,不应有影响准确度的外观缺陷。 3 . 2 检定方法:目 力观察。 4 各部分相互作用 4 . 1 要求 4 . 1 . 1 在导轨全长范围内移动光屏,激光光束应能顺利通过光屏中心孔,不应有遮光 现象 。 4 . 1 . 2 仪器上各活动部件在转动或移动时应平稳,不应有卡住、阻滞、急进、晃动等 现象,紧固螺钉的作用应切实可靠。 4 . 1 . 3 可调换部件的装卸 、调整应方便,紧固装置应可靠。 4 . 1 . 4 平面反射镜调整台和标准棱镜调整台在进行水平或垂直方向调整时,光屏读数 板上的光斑应是平稳的直线运动。 4 .
10、2 检定方法:试验和 目力观察。 5 光屏座指标线位置的正确性 5 . 1 要求:光屏座指标线对于光屏面的位置误差不应超过 1 m mo 5 . 2 检定方法:用深度游标卡尺测出光屏表面与基座端面的距离,再用游标卡尺内量 爪测出指标线与基座端面的距离,两数值之差即为指标线的位置误差。 6 D尺和d尺位置的正确性 6 . 1 要求:D尺和d尺两首端刻线间距为 ( 1 4 0 士3 ) mm。标准棱镜右端面至 d尺首 端刻线距离为 ( 3 0 1 2 ) m m . 6 . 2 检定方法 :用游标卡尺内量爪检定。 7 千分尺示值误差检具测量头表面粗糙度 7 . 1 要求: 测量头表面粗糙度应不大于
11、R.0.05 A m . 7 . 2 检定方法:用表面粗糙度比较样板比较检定。 8 研磨器架工作面平面度 8 . 1 要求: 研磨器架工作面平面度 应不大于1 t m a 8 . 2 检定方法:用 2级平面平晶检定。 9 活动标尺旋转中心对公差圆中心的偏移量及活动标尺示值误差 J JG 828 - 1 9 93 要求 1 活动标尺旋转中心对公差圆中心的偏移量应不大于0 . 5 mm. 2 活动标尺允许误差见表 2 0 0了n,n, 表 2 毫米分度允许误差 厘米分度允许误差 全长允许误差 士0. 1 0士0. 1 5士0. 2 0 9 . 1 . 3 公差圆直径为 ( 2 0 1 0 . 1
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