JJG 571-2004 读数、测量显微镜检定规程.pdf.pdf
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1、中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 5 7 1 -2 0 0 4 读数、测量显微镜 R e a d i n g Mi c r o s c o p e a n d Me a s u r i n g Mi c r o s c o p e 2 0 0 4一0 9一2 1发布2 0 0 5 一 0 3 一 2 1实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发 布 J J G 5 7 1 - 2 0 0 4 读数、测量显微镜检定规程 V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f R e a d i n g Mi c r o s c o p
2、 e a n d Me a s u r i n g Mi c r o s c o p e 产 。.O. O.O. 口 . O. 口 . O. O . O. O . O. O . O . 、 己全 J J G 5 7 1 -2 0 0 4 己 代替 J J G 9 0 4 -1 9 9 6 弓 代替 J J G 5 7 1 - 1 9 8 8 弓夕 飞 ., . , . , . o . 0 . 0. , “ , . o . , . o. o . o . 。 。 本规程经国家质量监督检验检疫总局于2 0 0 4 年 0 9 月 2 1 日 批准, 并自 2 0 0 5 年 0 3 月 2 1日起施
3、行。 归口 单 位 : 主 要起 草单位 : 参加起草单位 : 全国几何量工程参量计量技术委员会 中国计量科学研究院 河南省计量测试研究所 中国航空工业第一集团公司第三O四研究所 本规程委托全国儿何量工程参量计量技术委员会负责解释 J d G 5 7 1 - 2 0 0 4 本规程主要起草人: 朱小平 张卫东 张恒 参加起草人: 赵 新 丽 王蔚晨 ( 中国计量科学研究院) ( 河南省计量测试研究所) ( 中国计量科学研究院) ( 中国航空工业第一集团公司第三0四研究所) ( 中国计量科学研究院) J J G 5 7 1 -2 0 0 4 目录 1 范围 、 (1 ) 2 引用文献 ( 1 )
4、 3 概述 , ( 1 ) 4 计量性能要求 ( 2 ) 4 . 1 圆工作台受径向力时引起的位移 ( 2) 4 . 2 玻璃台面与纵、横向滑板移动方向的平行度 ( 2 ) 4 . 3 纵、横向滑板移动的直线度 ( 2 ) 4 . 4 纵、横向滑板移动的相互垂直度 , ( 2 ) 4 . 5 显微镜升降方向对玻璃台面的垂直度 ( 2 ) 4 . 6 圆 工 作台 的 示 值 误 差 ( 2 ) 4 . 7 显微镜的 示值误差 ( 2 ) 4 . 8 回程误差 , ( 2 ) 5 通用技术要求 ( 3 ) 5 . 1 外观 ( 3) 5 .2 各 部 分的 相 互 作用 ( 3 ) 5 . 3
5、显微镜各刻线间的相对位置 ( 3) 5 . 4 棱镜座转动引起影像的位移 ( 4) 5 . 5 螺旋线分划板中心与回转中心的重合性 ( 4 ) 6 计量器具控制 ( 4 ) 6 . 1 检 定条件 。 , ( 4 ) 6 . 2 检定项 目 ( 4) 6 . 3 检定方法 ( 4) 6 .4 检 定结 果 的 处 理 ( 9 ) 6 . 5 检定周期 ( 9) 附录 A 读数显微镜示值误差检定结果的不确定度分析 ( o ) 附录 s 测量显微镜示值误差检定结果的不确定度分析 - ( 1 2 附录 C 检定螺旋线分划中心与其回转中心重合性的检定装置 ( 1 4 ) 附录 U 检定证书和检定结果通
6、知书内页格式 ( 1 5 ) J J G 5 7 1 - 2 0 0 4 读数、测量显微镜检定规程 范围 本规程适用于分度值不大于 0 . 0 1 m m,测量范围上限至 8 m m的读数显微镜,以及 分度值不大于 0 . 0 1 m m,测量范围:纵向为 ( 0 一 5 0 ) m m、横向为 ( 0 一1 3 ) m m的测量 显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。 2引用文献 本规程引用下列文献: J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用计量术语及定义 J J F 1 0 5 9 -1 9 9 9 测量不确定度评定与表示 J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 测量仪器
7、特性评定 J B / T 2 3 6 9 -1 9 9 3 读数显微镜 J B / T 9 3 3 9 -1 9 9 9 测量显微镜 使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3概述 读数显微镜和测量显微镜 ( 以下简称显微镜)都是光学机械式长度计量仪器,读数 显微镜主要作为长度计量仪器中的瞄准定位读数装置,也可单独用于刻线宽度、间距等 长度量的测量 ;测量显微镜的主要用途是通过影像法以直角坐标或极坐标原理测量零件 的形状尺寸。读数显微镜外形结构如图 1 、图2 、图 3 所示,测量显微镜外形结构如图4 所示 。 图 1 读数显微镜外形图之一 1 一物镜;2 -测微分划板盒; 3
8、一 目镜;4 -测微旋钮;5 一照明灯 图 2读数显微镜外形 图之二 1 一物镜;2 -测微旋钮;3 一目镜; 4 -测微分划板盒;5 一零位调整旋钮;6 一照明灯 J J G 5 7 1 - 2 0 0 4 图3 读数显微镜外形图之三 1 一镜筒座盘;2 -紧固镖钉;3 一分划板盒; 4 一 目镜;5 -测微鼓轮; 6 - 物 镜 ;7 一 镜 筒 图4 测量显微镜外形图 1 一基座;2 -纵向测微鼓轮;3 , 4 一紧固螺钉;5 -臂架; 6 一立柱;7 -显微镜升降旋钮;8 一棱镜座;9 一 目镜; 1 0 -显微镜管;1 1 一玻璃台;1 2 -圆工作台; 1 3 -横向测微鼓轮;1
9、4 一反射镜 4 计且性能要求 4 . 1 圆工作台受径向力时引起的位移 圆工作台受径向力 5 N时引起的位移量应不超过 0 . 0 1 m m . 4 . 2 玻璃台面与纵、横向滑板移动方向的平行度 在纵向5 0 m m长度上应不超过0 . 0 4 m m ;在横向 1 3 m m长度上应不超过 0 . 0 1 m m . 4 . 3 纵、横向滑板移动的直线度 纵、横向滑板移动的直线度 ( 以角摆表示)应不大于 2 5 “ 0 4 . 4 纵、横向滑板移动的相互垂直度 纵、横向滑板移动的相互垂直度应不超过1 0 . 0 0 3 m m / 1 0 m m . 4 . 5 显微镜升降方向对玻璃
10、台面的垂直度 显微镜升降方向对玻璃台面的垂直度应不超过 5 a 4 . 6 圆工作台的示值误差 圆工作台的最大允许误差 6 0 4 . 7 显微镜的示值误差 最大允许误差见表 1 要求。 4 . 8 回程误差 最大允许误差见表 1 要求。 J J G 5 7 1 - 2 0 0 4 表 1显微镜物镜放大倍数 误差、回程误差和示值误差 的要求 仪器名称分度值/ m m 最大允许误差/ tam 物镜放大倍 数回程误差示值误差 读数显微镜 0. 0 1士551 0 0. 0 0 5士32 . 55 0 . 0 0 2 5土 1 . 51 . 52 . 5 0. 0 0 1t 0. 50 . 50 .
11、 8 0 . 0 0 0 5t 0. 30 . 30 . 6 测量显微镜毛 0 . 0 1 2 5+ L / 1 5 ( L测量长度,m m ) 5 通用技术要求 5 . 1 外观 5 . 1 . 1 仪器应标有名称、型号、编号、制造厂名称 ( 或厂标)及m 标志。 5 . 1 . 2 仪器工作面应无锈迹、碰伤、明显划痕等缺陷,仪器的涂、镀层应无脱落现象。 5 . 1 . 3 光学系统在整个视场内成像应清晰,视场内应无油迹 、灰尘、水渍和霉点等影 响使用的疵病。 5 . 1 . 4 显微镜测微鼓轮、套管和分划板上刻线应平直、清晰、均匀,无断线和脱漆 ( 或脱色)现象,数字亦应清晰。 5 . 1
12、 . 5 读数显微镜的毫米刻线与十字线之间、0 . 1 m m刻度尺与螺旋线分划板之间、指 标线与微米刻线之间均应无 目力可见的视差。 后续检定和使用中检验的仪器,允许有不影响计量性能的上述缺陷。 5 . 2 各部分的相互作用 5 . 2 . 1 仪器各活动部分运动应灵活平稳,无卡滞和跳动现象。紧固螺钉的作用应可靠 有效 。 5 . 2 . 2 测微鼓轮的行程应大于工作行程,在超始和最终位置上均应大于 0 . 3 m m . 5 . 2 . 3 测微鼓轮的微分筒锥面内棱边与固定套管刻线面之间的距离应不大于 0 . 4 m mo 5 . 3 显微镜各刻线间的相对位置 5 . 3 . 1 图 1
13、、图 2 结构的读数显微镜指标线与微米刻线应平行,指标线应盖住微米刻度 尺短刻线长度的7 / 1 0以上,但不应超过微米刻度尺短刻线的长度。 5 . 3 . 2 图 1 结构的读数显微镜的微米刻度尺运动方向与刻度尺轴线的平行度应不大于 微米刻度尺短刻线长度的 1 / 5 0 5 . 3 . 3 图 2 结构的读数显微镜 0 . 1 m m刻度尺与螺旋线分划板之间应无 目力可见的歪 斜,当螺旋线对准 0 . 1 m m刻度尺上的0 . 5 m m刻线时,指标线偏离微米刻度尺零刻线不 超过 0 . 0 0 1 m m . J J G 5 7 1 -2 0 0 4 5 . 3 . 4 图 3 结构的
14、读数显微镜 ,十字线的竖线应与毫米刻线平行。当十字线竖线对准 毫米刻度尺的零刻线时,测微鼓轮的零位应对准指标线,其偏移量不超过 1 / 5 个分度; 当测微鼓轮转动 1 0 0个分度时,十字线竖线应移动到对应刻线位置,其偏移量不超过 1 个分度。 十字线分划板运动方向 与毫米刻度尺轴线的 平行度应不大于毫米刻线长度的 1 / 1 0 0 5 . 3 . 5 图 4 结构的测量显微镜,当纵向读数装置上测微鼓轮的零线与指标线对准后, 毫米刻线对指标线的偏移量应不超过 0 . 1 m m;当横向读数装置上微分筒的零线与固定 套管的纵线对准后 , 微分筒锥面的端面与固定套管毫米刻线右边缘应相切,离线不
15、大于 0 . 1 m m或压线不大于 0 . 0 5 m m a 5 . 4 棱镜座转动引 起影像的 位移 棱镜座转动引起影像的位移量应不超过视场直径的 1 / 6 0 5 . 5 螺旋线分划板中心与回转中心的重合性 螺旋线分划板中心与回转中心的重合性应无 目力可见的偏移。 6 计f 器具控制 计量器具控制包括首次检定 、后续检定和使用中的检验。 检定条件 1 检定环境条件见表 2 0 表 2 检定环境条件 仪器名称 环境条件 读数显微镜 分度值/ m m室 温 / 室温变化/( C / h ) 被检仪器在室内平衡温度时间/ / h 0 . 0 1 2 0士5 石 l _ 3 0. 0 0 5
16、 0 . 0 0 2 5 0. 0 0 1 2 0 t3 0 . 1 X ) 0 5 X1 2测量显微镜蕊0. 0 1 2 0 t 5 6 . 1 . 2 检定设备 主要检定设备见表 3 a 6 . 2 检定项目 各检定项目和检定类别见表 3 . 6 . 3 检定方法 6 . 3 . 1 外观 目力观察。 6 . 3 . 2 各部分相互作用 4 I T G 5 7 1 - 2 0 0 4 表 3检定项 目、检定类别和主要检定设备 2级刀口直角尺 分度值为 0 . 0 1 M .,测 量范围 ( 0 一1 ) m m, U 二 0 . 2 k m ( k 二 3 ) 专用 玻璃刻度尺;分度值为
17、0 . 1 m m,测量范围 ( 0 一1 0 ) mm, U二0. 5 1 m 目力观察和手动试验。其中测微鼓轮微分筒锥面内棱边与固定套管刻线面之间的距 ,用塞尺以比较法在微分筒转动一周内均匀分布的四个方位上进行测量。 3 . 3 显微镜各刻线间的相对位置 离氏 J J G 5 7 1 - 2 0 0 4 目 力观察和手动试验。 6 . 3 . 4 棱镜座转动引起影像的位移 将十字线分划板平放在玻璃工作台面上,借助显微镜的升降旋钮调整显微镜,使 目 镜视场内见到清晰的十字线影像。转动棱镜座一周 ,观察十字线影像的最大位移量作为 测量结果。 6 . 3 . 5 圆工作台受径向力引起的位移 在玻
18、璃工作台面上安置十字线分划板,调整显微镜,使目镜中看到清晰的十字线影 像。转动纵、横向读数装置的测微鼓轮,使十字线影像与 目镜中的十字线对准,记下 纵、 横向 测微鼓轮的读数 a , 和b , 。 在圆工作台 侧面上加径向力5 N ,撤掉外力后, 转动 测微鼓轮使两十字线再次对准, 并记下纵横向 测微鼓轮的读数 a 2 和 b , 。圆工作台 受径 向力所引起的位移量 l 按式 ( 1 )计算。 l 封 ( a 2 一 a , ) 2 +( b 2 一 b , ) 2 ( 1 ) 式中:a a 2 纵向 测微鼓轮的读数值, m m ; b b 2 横向测微鼓轮的读数值,m m o 6 . 3
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