[电子标准]-SJT 31260-1994 A500B2K型高真空薄膜镀膜机完好要求和检查评定方法1.pdf
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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 ( 下册) 专 用 设 备 ( 续) 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 中华人 民共 和 .电子 行 业振 准 A 5 0 0 B 2 K 型 高 真 空 薄 膜 敏 膜 机 完 好 要 求s d / r 3 1 2 6 0 - 9 4 和检变评定方法 , 主.内容与适用范围 本标准规定了A5 0 0 B 2 K型高真空薄膜镀膜机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于A5 0 0 B 2 K型高真空薄膜镀膜机。 2 完好要求 2 . 1 主要性能 2 1 . 1 镀膜性能 a . 膜卷宽度范围: 2
2、5 0 - 5 2 0 mm; b . 镀层最大宽度: 5 0 0 m m; c . 卷膜速度范围: 。 . 8 - 8 m/ s ; d , 一个计算面积单位镀膜范围: 1 -5 d 1 , 2 . 1 . 2 真空源 a . 极限压力: 不低于5 X 1 0 - P a ; b . 抽气速率: 5 m i n不低于1 X 1 0 - P a ; c . 工作极限压力: 不低于 1 X 1 0 - P a ; d . 漏气率: 镇3 X 1 0 P a 1 / s ; 2 . 1 . 3 镀膜鼓冷却与加热温度范围为一4 0 C -+2 5 C 2 . 1 . 4 卷绕产品端面平整允差不超过士
3、。 . l mm, 被层无擦伤。 2 . 2 操作系统 2 . 2 . 1 各操作手柄、 开关、 按钮、 旋钮启动灵活, 标志齐全。 2 . 2 . 2 制动、 限位装置齐全, 灵敏可靠。 2 . 3 传动系统 2 . 3 . 1薄膜鼓、 卷绕、 解轴及传动装置, 送铝机构运转平稳, 无冲击, 无振动。 2 . 3 . 2 变速、 张力机构渴 节灵敏、 可靠。 2 . 3 . 3 镀膜鼓、 测量轴、 张力轴、 舒展轴、 导轴、 压轴表面平直光滑, 传动灵敏, 测量轴镀金层无 缺陷, 碳刷接触可靠。 2 . 4 真空系统 2 . 4 . 1 机械真空泵、 机械增压泵运转平稳, 无冲 击, 无振动
4、 极限压力不低于5 X 1 0 - “ P a , 2 . 4 . 2 油扩散泵, 油增压泵、 冷阱内表面清洁, 工作正常。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施 一 7 83一 s ; / T 3 1 2 6 0 - - 9 4 2 . 4 . 3 燕发室清洁, 密封良好, 油封不漏油, 油位正常, 观察窗清晰。 2 . 4 . 4 真空管路连接紧固可靠、 畅通, 密封良好。 2 . 4 . 5 真空阀门开闭灵暇、 可靠。 2 . 5 气动系统 2 . 5 . 1 各气动元件动作灵敏、 可靠, 无振动, 无爬行。
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