[建筑材料标准]-JCT 597-1995 半导体用透明石英玻璃管.pdf
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1、中华人民共和国建材行业标准 J C / T 5 9 7 一 1 9 9 5 半 导 体 用 透 明 石 英 玻 璃 管 1 主题内容与适用范围 本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、 规格尺寸、 技术要求、 试验方法, 检验规则及标志、 包装、 运输和贮存等。 本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、 硅卤化物作原料, 应用于半导体工业的透明石英玻璃 管( 以下简称石英玻璃管) 。冶金、 化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。 2 引用标准 G B / T 3 2 8 4 石英玻璃化学成分分析方法 G B 5 9 4 9 透明石英玻璃气泡、 气线检验方法 G B 1 0 7 0 1 石英
2、玻璃热稳定性检验方法 G B / T 1 2 4 4 2 石英玻璃中经基含量试验方法 3 术语 3 . 1 气线: 石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。 3 . 2 气线密度: 每平方厘米中气线条数。 3 . 3 破皮气线: 暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线, 其边缘锋利。 3 . 4 色线: 石英玻璃管上带有颜色的线条。 3 . 5 沟棱: 石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。 3 . 6 晶纹: 石英玻璃管上有明显可见的各种微小的炸裂纹。 3 . 7 麻点: 石英玻璃管壁上的小斑点。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的痕迹。 3 . 8 杂质: 石英玻璃组成中二氧化硅
3、( S i 0 , ) 以外的组分。 3 . 9 生料颗粒: 透明石英玻璃管的内、 外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。 3 . 1 0 透明颗粒: 石英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒。 3 . 1 1 波纹: 石英玻璃管的内、 外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。 3 . 1 2 色斑: 在石英玻璃管壁上的黑、 白、 褐色等任意形状的色点。 3 . 1 3 气泡群: 透明石英玻璃管壁中, 由微小气泡( d 、 于标准中气泡的下限尺寸) 密集而成的群集气泡。 3 . 1 4 揪痕: 排除石英玻璃管壁上较大杂质点、 气泡等弊病后留下的痕迹。 3 . 1 5 暗疤: 透明石英玻璃管壁内呈
4、现的一种斜状、 透明、 有明显界面的玻璃态( 俗称雪花, 破皮或梅 花) 。在高温熔烧中发橙色亮光。 3 . 1 6 炸裂: 石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。 3 . 1 7 析晶: 透明石英玻璃在特定温度下析出晶体, 造成失透。 3 . 1 8 桔皮: 透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。 3 . 1 9 云雾: 石英玻璃管烧制加工中, 所产生的二氧化硅( S i o i ) 挥发物, 冷凝后附着在表壁上的白色不 透明物。 国家建筑材料工业局1 9 9 5 一 1 1 一 2 3 批准1 9 9 6 一 0 5 一 0 1 实施 J C / r 5 9 7 一 1 9 9 5
5、3 . 2 0 偏壁度: 石英玻璃管同一横截面上最大、 最小壁厚之差。 3 . 2 1 椭圆度: 石英玻璃管同一横截面上最大、 最小直径之差。 3 . 2 2 弯曲度: 石英玻璃管在长度方向的平直程度。 4 产品分类 4 门分类 按生产工艺分以下5 类: a . 真空常压法管( 常压管) ; b . 真空加压法管( 加压管) ; c . 电熔二步法管; d . 气炼、 电熔二步法管( 气炼二步法管) ; e . 气炼一步法管( 气炼管) 。 4 . 2 等级 石英玻璃管按外观分为优等品( A ) 、 一等品( B ) 和合格品( C ) 3 个等级。 5 技术要求 5 门规格尺寸 5 . 1
6、. 1 石英玻璃管的规格尺寸范围及外径、 壁厚偏差应符合表 1 、 表2 的规定 5 门. 2 石英玻璃管的标准长度为 1 O O O M M. 表 1 外径范围. mm 外径偏差, % 1 0 - 5 0 士 3 . 0 5 1 7 0 士 3 . 0 7 1 - 9 0 士 2 . 7 91 - 1 0 0 士 2 . 7 1 0 1 - 1 5 0 士 2 . 5 1 51 - 2 50 士 2 2 表 2 壁厚范圃, m m 璧厚偏差, % 1 . 5 - 3 . 0 士 1 2 3 . 1 - 4 . 0 士 1 4 4 . 1 - 5 . 0 士 1 5 注 : 1 . 管子为两端
7、开口亦可为一端开口, 封口 管其弧度部分不包括在长度内. 2 . 特殊规格或其它规格的管子, 由供特双方商定. 5 . 1 . 3 矩形管、 钟罩式石英管规格尺寸由供需双方商定。 5 . 2 尺寸偏差 5 . 2 . 1 外径偏差、 壁厚偏差应符合表1 、 表2 的规定。 5 . 2 . 2 长度: 偏差为管长的士1 %0 5 . 2 . 3 偏壁度: 不得大于壁厚偏差的绝对值。 5 . 2 . 4 椭圆度: 不得大于外径偏差的绝对值。 J C / T 5 9 7 一 1 9 9 5 5 . 2 . 5 弯曲度 注 :管长在 1 5 . 3 外观指标 5 . 3 . 1 常压管 : 不得超过管
8、长的3 Y - 0 0 0 -以上 其弯曲度不得超过管长的 2 . 5 yo o . 、 加压管、 电熔二步法 气炼二步法管的外观指标应不大于表3 的规定。 去 3 一 赢 子 灯义、 优等品 等品合格品 气线密度, 条/ e m o 其中长度 5 . -的气线. 条:2 034 05 气线宽度. m m 0 . 20 . 30 . 5 长气线条数 条/ 1 0 0 0 . . 气线长度, m m 2 0303 1 - 8 08 1 2 0 0 0 1 0 -6 0 , . m 234 0 6 1 -1 2 0 - 4 56 0 1 2 1 2 0 0 mm 67 8 色线不允许不允许 管径5
9、8 0 。 允许有 1 条 管径8 0 - m允许有2 条 麻点 个/ 1 0 0 0 m . 0 2 0 - 6 0 mm 不允许 24 0 6 1 一1 2 0 m. 46 0 1 2 1 -2 0 0 mm 6t o 沟棱 手摸感觉不明显 晶纹、 裂纹、 内壁破皮气线不允许 注: 长度小于 l o - 的色线不计. 色线的长度及宽度指标按各等级气线长度、 宽度的指标规定. 5 . 3 . 2 气炼管的外观指标应不大于表 4的规定。 表 4 ,赢 .$Yc#CF 互 生 优等品一等品合格品 气 饱 直径, mm0 . 30 . 50 . 8 数量, 个/ c m 461 0 气 泡 群 长
10、径, mm 总数, 个/ 1 0 0 -, 不允许 51 0 79 暗 厄 长径, m m 数量, 个/ I o o -, 245 2 34 色 斑 长径 . .m 数量, 个八O o c m 1 0 . 51 . 0 2 . 0 251 0 5 2 2 J C / T 5 9 7 一 1 9 9 5 续表 4 卜卜笠 瞥全巡 外观指标 一 一 乏、 优等品一等品合格品 揪 痕 笋 1 0 - 6 0 mm 直径, mm 不允许 1 3 数量, 个/ 1 0 0 0 - 24 “ 6 1 -1 2 0 mm 直径, mm1 31 5 数量, 个/ 1 0 0 0 m m 35 “ 1 2 1
11、2 0 0 mm 直径 , mm1 52 5 数量, 个/ 1 0 0 0 m m 58 生料颗粒, 个/ l o o -,不允许 透明颗粒, 个/ 1 0 0 c m不允许2 51 0 0 内壁波纹, m m 壁厚GS m m 不允许 0 . 20. 4 壁厚S m m0. 30 . 5 桔皮不允许 不明显 云雾不允许 不明显 5 . 4 杂质含量 5 . 4 . 1 A I , F e , C a , Mg , C u , C o , N i , Mn , T i , N a , K , L i , B 1 3 个杂质元素的总含量应不大于5 0 X 1 0 - 其中: F e 蕊3 X 1
12、 0 - , C u 镇0 . 8 X 1 0 - , N a 簇2 X1 0 - , K簇2 X 1 0 - , L i - 2 X 1 0 - , B -O . 3 X 1 0 - . 5 . 4 . 2 经基含量 半导体用石英玻璃管的轻基含量应不大于2 2 0 X 1 0 - s , 5 . 5 物理性能 5 . 5 . 1 热稳定性 石英玻璃管在 1 1 0 0 下恒温1 5 m i n , 置于 2 0 士5 水中急冷, 不得出现裂纹、 缺口( 切、 磨口处断面 崩落不计) 。 5 . 5 . 2 析晶性能 石英玻璃管在 1 4 0 0 士5 C 下恒温6 h , 析晶层平均厚度不大
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