[电子标准]-SJT10457-1993.pdf
《[电子标准]-SJT10457-1993.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《[电子标准]-SJT10457-1993.pdf(5页珍藏版)》请在三一文库上搜索。
1、L 3 2 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 S J / T 1 0 4 5 7 -9 3 俄歇电子能谱术深度剖析标准导则 S t a n d a r d g u i d e f o r d e p t h p r o f i l i n g i n a u g e r e l e c t r o n s p e c t r o s c o p y 1 9 9 3 - 1 2 - 1 7 发布 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施 中华人 民共和国电子工业部 发 布 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 俄歇电子能谱术深度剖析标准导则S .l i f 1
2、 0 4 5 7一 9 3 S t a n d a rd g u i d e f o r d e p t h p r o f i l i n g i n a u g e r e l e c t r o n s p e c t r o s c o p y 主题内容与适用范围 1 . 1 主题内容 本标准导则规定了俄歇电子能谱术深度剖析的实施细则。 1 . 2 适用范围 本标准导则适用于采用磨角与截面法、 球坑法、 离子溅射法、 非破坏性深度剖析法进行俄 歇电子能谱术深度剖析。 本标准导则可能涉及有害的物品、 操作及设备。 但没有说明所有相关的安全问题。 使用者 在使用本导则前, 应该制定适当的安
3、全与保健措施, 并确定本导则的应用范围。 方 法提 要 2 . 1 磨角与 截面法: 磨角 法是将样品 表面以 某一小角度进行研磨或抛光, 与截面法比 较, 提高 了深度分辨能力。 2 . 2 球坑法 : 利用旋转球在样品表面形成一球形坑, 利用球坑斜面提高深度分辨能力。 2 . 3 离子溅射法: 与俄歇分析相结合, 用离子轰击对样品表面逐层剥离。 2 . 4 非破坏性深度剖析法: 系指各种获取样品表面不同深度的信息的非破坏性方法。 意 义及应用 3 . 1 俄歇电子能谱术提供的是固体近表面区的化学和物理状态的信息, 因此非破坏性深度剖 析局限在这一近表面区内。 3 . 2 离子溅射法主要用于
4、 2 p m深度内。 3 . 3 磨角法或球坑法主要用干大于 l p m的深度。 3 . 4 用深度剖析法研究界面时, 应根据表面粗糙度、 界面粗糙度与膜厚选择深度剖析的方法。 4 磨角与截面法 4 . 1 磨角法是以某一角度抛磨祥品从而提高深度分辨能力的方法, 如图 1 所示; 而在截面法 中则垂直于界面抛磨样品。 抛磨样品常用金刚砂纸、 金刚石研磨膏和白刚玉。 逐步加细抛光材 料的粒度, 以获得所期望的表面光洁度。但是, 这两种方法对于获得清晰的界面和光洁的表面 都有一定的局限性。 中华入民共和国电子工业部 1 9 9 3 - 1 2 - 1 7 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1
5、实施 一t s J / T 1 0 4 5 7 -9 3 卜-川 访 图 1 磨角样品剖面图 注: 实际上 8比图示的角度小得多. 为 1 . 量级. 4 . 2 在磨角法中, 先把样品固定在平板规块上, 用准直仪测量角度.精确度取决于样品平整 度。实际应用中, 测量精度可达 。 . 1 , 4 . 3 深度d( 如图1所示) , 由( 1 ) 式给出: d一 Y t a n g . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 1 ) 式中: B 研磨角; Y分析点至研磨斜面上边缘的
6、水平距离, n m. 4 . 4 深度分辩能力 d, 由( 2 ) 式给出: 入i= 4Y t a n g . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 ) 式中: A Y电子束经与样品及电子束的位置误差之和, n m. 4 . 5 俄歇分析包括沿研磨面的线扫描分析与点分析。 这些分析可用测微器调节移动样品或用 电子学方法移动电子束来完成。 4 . 6 离子溅射法常与磨角法结合来除去沾污和研究研磨表面下的界面。 球坑 法 5 . 1 首先将样品固定在 旋转钢球能接触其表面的装置
7、上, 然后 进行研磨。 钢球的旋转速度及 其对样品的力可调节。 5 . 2 在球上涂覆磨料可以提高磨削速率。 通常选用粒度为。 . l p m至f p m的金刚石研磨青。 使 用 较 粗 的 颗 粒 可 达 到 很 高磨 削 速 率 , 使 用 较 细 的 颗 粒 可 得 到 很 光 滑 的 球 坑 壁。 首 先 用 粗 研 磨 膏 形成球坑, 再用细研磨膏抛光坑壁。 5 . 3 球坑的几何形状见图2 , 球坑深度d由( 3 ) 式给出: d=D 勺8 R . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 电子标准 电子 标准 SJT10457 1993
链接地址:https://www.31doc.com/p-3692952.html