新编金属热处理化学性能分析与工艺设计及质量检验标准实用手册第13篇.pdf
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1、! ! ! ! “ “ “ “ 第十三篇 气相沉积技术 !“# 第十三篇气相沉积技术 第一章典型涂层的特性 见 (表 ! “ ! # 表 ! “ $) 表 ! “ ! 几类超硬化合物层的主要特性 类别沉积层名称主要特性 碳化物 %9, 691面心立方 527- 3 #7-062#!7-6!:6.!亮灰色 %1面心立方57-46:57#-6#7.64 $1面心立方5.-.64#4#-65!.62#灰色 ?1面心立方50-:67#07-6!0.670亮褐 A1六方5- 3 50-!4675:#-604.65灰色 ;B1面心六方!7-!064#:7-655.6.!金褐 CD51六方!7-26550-
2、655.6- 1#15正交!#-.6:!72-6!2!-6#灰色 ;9?面心六方50-46052#-652260金黄 %?面心立方!4-.6!5-4-6!76!金黄 $?面心立方!2-:6#527-6!.6-亮黄 ?面心立方!0-7605#-652!-6! ;B?面心立方!#-!06!#-2-6-2#6.灰色 -:2 第十三篇气相沉积技术 沉积层主要相 晶体结构硬度 !“ 密度 #$ %(01六方+23-(4+7+7-4+-.348无色 (菱方+7+-(473-+854(白色 金刚石向心立方2-9+-(48(88-+无色 非金刚石非晶态1- 9 8-34(2(- 注: +4 钛的熔点 +-),
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