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1、U D C L , 1 6 2 0 . 1 - 0 5 督旨 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 G s / T 1 5 3 9 4 一9 4 多 探 针 测 试 台 通 用 技 术 条 件 G e n e r a l s p e c i f i c a t i o n f o r p r o b e t e s t e r 1 9 9 4 一 1 2 一 2 8 发布 1 9 9 5 一 0 8 一 0 1 实施 国家技术监督局 发 布 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 G B / T 1 5 3 9 4 一 9 4 多探 针测试 台通 用技 术条件 Ge n e r a
2、l s p e c i f i c a t i o n f o r p r o b e t e s t e r 1 主肠内容与适用范围 本标准规定了多探针测试台( 以下简称探针台) 的术语、 技术要求、 试验方法、 检验规则、 包装贮存等 要求。 本标准适用于手动、 半自动、 全自动多探针测试台。其他类型的探针测试台亦可参照使用. 引用标准 G B 1 9 1 包装储运图示标志 G B n 1 9 3 出口 机械、 电工、 仪器仪表产品包装通用技术条件 G B 2 6 8 1 电工成套装置中的 导线 颜色 G B 2 6 8 2 电工成套装置中的指 示灯和按钮的颜色 G B 3 7 6 8 噪
3、声源声功率级的测定 简易法 G B 5 0 8 0 . 7 设 备 可 靠 性 试 验 恒定 失 效 率 假 设 下的 失 效 率 与 平 均 无 故障 时 间 的 验 证 试验 方 案 G B 5 2 2 6 机床电气设备通用技术条件 G B 6 3 8 8 运翰包装收发货标志 3术语 3 . 1 探针台 p r o b e s t a t i o n 利用金属探针将晶片上芯片的电极与测试仪联接, 以完成芯片电参数中间测试的设备. 3 . 2 手动探针台 m a n u a l p r o b e s t a t i o n 操作步骤全部由人工完成的探针台。 3 . 3 半自 动探针台 s
4、e m i - a u t o m a t i c p r o b e s t a t i o n 能自动完成除图像识别、 自动对准之外的所有其他探测步霖的探针台。 3 , 4 全自 动探针台 f u l l y - a u t o m a t i c p r o b e s t a t io n 能自动完成包括图像识别、 自动对准在内的所有探测步骤, 并具有多种功能的探针台。 3 . 5 探针 p r o b e 具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针。 3 . 6 测试支架 t e s t s u p p o r t 可在一定范围内分别调节探针的 X, Y , Z向距离、 用以安装固定探针
5、的部件。 3 . 7 探针卡 p r o b e c a r d 根据被测芯片电极所需探针的数量及布局, 将探针对应固 定于一块基板上的卡片。 3 . 8 探边器 e d g e s e n s o r 用来探测探针是否已测至被测晶片边缘的部件。 国家技术监,局 1 9 9 4 一 1 2 一 2 8 批准1 9 9 5 一 0 8 一 0 1 实施 CB / T 1 5 3 9 4 一9 4 3 . 9 打标记器 i n k i n g s y s t e m 给性能参数不合格的芯片打上标记的部件。 3 . 1 0 矩阵控制方式 s q u a r e m a t r i x p r o b
6、 i n g m o d e 用键盘或拨码开关输入X, Y方向的图形数目及图形间距, 用以控制工作台的移动。 4 产品分类 按探针台的自动化程度可分为: a . 手动探针台; b . 半自动 探针台; c . 全 自动探针台。 5 技术要求 5 . 1 一般要求 5 . 1 . 1 探针台上指示润滑、 操作、 安全等的标牌或标志, 应符合有关标准的规定。 5 . 1 . 2 探针台一般应有测试完毕后的自 动回零、 停机、 报警等功能。 5 . 1 - - 3 导轨、 轴承、 齿轮等运动部件应润滑良好, 各润滑 部位应在具体产品说明中明确规定。 5 . 1 . 4 探针台测试控制方式一般应具有矩
7、阵控制方式和探边器控制方式。 5 . 2 使用条件 探针台应能在下列使用条件下正常工作。 5 . 2 . 1 环境条件 。 . 温度: 2 3 士3 C。 . , . 相对湿度 : 不大于 7 0 0 0 , 。 空气洁净度: 优 于 1 0 0 0 0 级。 5 . 2 . 2 供电条件 a . 2 2 0 士1 0 V; b . 5 0 士1 Hz , 5 . 3 外观要求 5 . 11 探针台外表面不允许有凸起、 凹陷、 毛刺、 粗糙、 不平和其他损伤现象。 5 , 12 外 表喷漆颜色均匀, 色调一致, 平整光滑不 得有脱落、 龟裂、 流挂、 起泡、 划痕及误喷等现象, 套色 可 ;
8、得祀_ 1 i飞 污染。 5 . 13 ,匕 镀及化学涂覆的零件表面应光滑, 无斑点、 锈蚀、 起泡、 脱层及明显划痕等缺陷. 5 . 3 - 4 操作面板及各种标牌应清晰耐久, 其中 的刻线、 数字、 文字和图 形符号等标志应正确, 均匀并有 涂色。 5 . 4 工作台精度要求 5 . 4 . 1 步进工作台X - Y向 的垂直度应在具体的产品标准中 规定, 其值不得大于。 . 0 0 5 m m, 5 . 4 . 2 步进工作台的定位精度应在具体的产品标准中规定, 其值不得大于士。 . 0 1 3 m m , 5 - 4 . 3 步进工作台行进分辨率应在具体的产品标准中规定, 其值不得大于
9、0 . 0 1 m m, 5 . 4 . 4 步进工作台重复精度应在具体的产品标准中规定, 其值不 得大 于士。 . 0 0 3 m m , 5 - 5 承片台 5 . 5 . 1 承片台在高位时吸盘端面圆跳动应不大于。 . 0 1 5 mm( 包括吸盘回转及承片台沿 X - Y向移动时 的示值误差) 。 5 . 5 . 2 承片台重复精度 应在具体产品标准中 规定, 其值不得大于士 0 . 0 1 m m , 5 . 5 . 3 承片台 Z向行程应能在不小于 。 . 8 m m的范围内可调。 GB / T 1 5 3 9 4 一9 4 5 . 5 . 4 承片台回转角度应不小于士1 0 0
10、, 5 , 6 测试支架调节范围 a . X向不小于6 mm; b . Y向不小于 4 mm; c . Z向不小于 4 m m, 5 . 7 探边器的调节范围 a . X向不小于6 m m; b . Y向不小于4 mm; c . Z向不小于 4 m m, 5 . 8 打标记器的调节范围 a . X 向不小于 6 m m; b . Y向不小于4 mm; c . Z向不小于4 mm, 5 . 9 上下片机构 5 . 9 . 1 上下片输片机构传送应灵活、 平稳、 准确。 5 . 9 . 2 预定位应准确、 可靠。定位角度 e 应不大于士3 0 , 5 . 9 . 3 机械手吸片应牢固、 动作平稳、
11、 准确. 5 . 1 0 自动对准机构 5 . 1 0 . 1 探针台自动对准时间不大于 3 0 s , 5 . 1 0 . 2 探针台自 动对准 精度应不大于士。 . 0 0 3 m m , 5 . 1 1 电气控制系统 5 . 1 1 . 1 X , Y向步距范围: 一般为。 . 0 1 -9 . 9 9 m m 5 . 1 1 . 2 印制线路板与相应插座应接触可靠。 不得有错位、 卡死等现象。 5 . 1 1 . 3 同一型号的探针台其相同印制线路版应能机间互换, 并保证互换后电 气性能和逻辑功能的正 确。 5 . 1 1 . 4 导线颜色应符合G B 2 6 8 1 的 规定。 5
12、门1 . 5 指示灯和按钮的颜色应符合G B 2 6 8 2 的 规定。 5 . 1 1 . 6 内 部走线应用线卡或线糟等结构件固定, 并紧贴电 气箱壁而走线, 不得悬浮或空中飞线。 5 . 们. 了 线路完整, 绝缘层无破裂, 无漏电现象。 5 . 1 1 . 8 导线安装不得产生 机械拉力, 外部移动导线应附 设在耐腐材料的管内, 以免损伤。 5 . 1 1 . 9 需要从机箱中 抽出的部件, 其连接导线应留足 够余量。 5 . 1 1 . 1 0 元器件或电气部件等电 气项目应按规定标记项目 代号, 并与相应图纸一致。 5 . 1 1 . 1 1 导线端应按规定标记。 5 . 1 2
13、噪声 探针台空载运转时其噪声应小于5 6 d B ( A ) , 5 . 1 3 振动 探针台运转时其振幅在X, Y , Z三个方向 均应小于0 . 0 0 1 m m , 5 . 1 4 可靠性要求 探针台 平均无故障时间( MT B F ) 的F项值二 , 不小于2 4 0 h , 平均维修时间( MT T R ) 不大于3 h , 5 . 1 5 安全要求 5 . 1 5 . 1 探针台必须设置接地螺钉和明 显的 接地标志。 5 . 1 5 . 2 动力电路与保护电路导线之间的绝缘电阻不得小于1 M t l , 5 . 1 6 成套性要求 Gs/ T 1 539 4一 94 5 . 1
14、6 . 1 制造厂提供探针台时, 应包括主机、 附件、 易损件、 备件和随机技术文件, 以及满足合同规定的 其他技术要求。 附件、 备件和随机技术文件 应在具体产品 说明中明确规定和说明。 5 . 1 6 . 2 制造厂提供探针台时, 必须随机供给维修指导文件。 6 试验方法 6 . 1 一般检查 按设计文件, 产品说明书等有关技术文件, 并实际操作探针台对照检查。 6 . 2 外观检查 用 目测法对探针进行外观检查. 63 工作台精度测试 6 . 3 . 1 用标准角 尺和分度值为。 . 0 0 1 m m的电感化比 较仪在针盘下有效测试区检测步进工作台X, Y 向的垂直度。 6 . 3 .
15、 2 用 1 级量块和分度值为 0 . 0 0 1 m m的电感比较仪在X, Y向的有效区间内检测探针台步进工作 台定位精度。 6 . 3 . 3 用分度值为0 . 0 0 1 m m的电 感比较仪 检测探针台步进工作台 行进分辨率。 6 . 3 . 4 用分度值为 。 . 0 0 1 mm的电感比较仪在 X, Y向的有效测试区间内检测探针台步进工作台的重 复精度。 测量次数二 )1 0 , 记录每次电 感比 较仪示值L L Z , L , “ “ “ “ “ “ L , , 按公式( 1 ) 求出算术平均值L , 再 按公式( 幻求出均方差 , , 取士3 。 作为步进工作台的重复精度. 二
16、 二L , 土L , 土L , 土 二 竺丛 ( m m )一 “ “ , (1) ( L , 一L ) +( L : 一L ) 2 +. . . . . . ( L , 一L ) Z ” 一1 ( mm).。 “ 。 ” 。 ” 。 (2) 6 . 4 承片台测试 6 . 4 . 1 用分度值为。 . 0 0 1 m m的电感比 较仪在有效测试区间内检测探针台承片台吸盘在高位时的圆 端面跳动。 6 . 4 . 2 承片台的重复精度检查方法按本章 6 . 3 . 4 条。 6 . 4 . 3 用百分表和钢板尺检测承片台的z向行程。 6 . 4 . 4 开机实际操作用角度尺检查承片台的回转范围。
17、 6 . 5 测试支架测试 6 . 5 . 1 实际操作, 用 目测法检查测试探头在 X, Y , Z三个方向的调节范围。 6 . 5 . 2 在3 0 倍显微镜下逐个检查针头移动过程的 稳定性。 66 探边器检查 实际操作用目测法检查探边器在 X, Y , Z三个方向的调节范围。 6 . 7 打标记器检查 实际操作用目 测检查打标记器在X , 叭Z 三个方向的 调节范围。 6 . 8 上下片机构检查 开机实际操作, 用目测法检查上下片机构。 6 . 9 自动对准机构测试 6 . 9 . 1 开机操作用秒表检测自 动对准时间。 6 . 9 . 2 用 1 0 。 倍的读数显微镜 检测自 动对准
18、 精度。 6 . 1 0 电气控制系统测试 GB / T 153 94一 94 6 . 1 0 . 1 任选 5 个步距 , 用钢板尺、 百分表检查步距范围。 6 . 1 0 . 2 用目测法检查印制线路板与插座的接触情况。 6 . 1 0 . 3 任选两台同一型号的探针台互换印制线路板后, 开机检查印制线路板机间互换性。 6 . 1 0 . 4 用目测法检查导线颜色. 6 . 1 0 . 5 用目测法检查指示灯和按钮的颜色。 6 . 1 0 . 6 用目测法检查导线装卡走线情况。 6 . 1 0 . 7 用目测法检查导线是否承受机械拉力, 并检查外部移动导线的敷设情况。 6 . 1 0 .
19、8 抽出机箱中的部件, 用目测法检查连接导线是否留有足够的长度。 6 . 1 0 . 9 用目测法对照图样检查电气项 目 代号的标记是否合理, 清晰、 牢固。 6 . 1 0 . 1 0 用目测法对照图样检查导线标记情况。 6 . 们嗓声测试 探针台空载运转, 按 G B 3 7 6 8 规定的方法测量整机的噪声。 6 . 1 2 振动测试 开机运行, 将测振计置于主机台面上, 检测整 机振动情况。 6 . 1 3 可靠性试验 探针台的可靠性按 G B 5 0 8 0 . 7中规定的定时截尾试验方法检查, 方案编号为 5: 7 , 截尾时间为 1 . 4 6 m a , 截尾失效数为 3 ,
20、6 . 1 4 安全试验 6 . 1 4 . 1 用目测法检查有无接地螺钉及标志情况。 6 . 1 4 . 2 用5 0 0 v兆欧表测试动力电 路与保护电路之间的 绝缘电阻。 6 . 1 4 . 3 按G B 5 2 2 6 第1 3 . 2 条的 有关规定, 检 测探针台的耐压情况。 6 . 1 5 对照具体产品标准、 说明书和供货合同检查设备是否齐套。 了 检验规则 7 . 1 检验分类 a . 定型检验; b . 交收检验; c 例行检验。 7 . 2 定型检验 7 . 2 . 1 探针台在设计定型和生产定型时, 应通过定型检验。 7 . 2 . 2 定型检验的项 目按表 1 规定进行
21、。 表 1 序号试验项目 技术要求 条目 试验方法 条目 定型检验交收检验例行检验 I 一般要求5 . I 条6 . 1条OO z 外观要求5 . 3条6 . z条OO 3 工作台精度要求5 . 4条6 . 3 条O O 4 承 片 台5 . 5条6 . 4 条0 0 5 测试支架5 . 6 条 6 . 5 条OO cB / T 1 5 3 9 4 一9 4 续表 1 序号试验项目 技术要求 条目 试验方法 条目 定型检验交收检验例行检脸 6 探边器的调节范围5 . 9 条 6 . 6 条OO 7 打标记器的调节范围 5 . s 条 6 . 7条OO 8 上下片机构5 . 9 条6 . 8条O
22、O 9 自动对准机构5 . 1 0条6 9条OO 1 0 电气控制系统5 . 1 1条6 . 1 0 条OO 1 1 嗓 声5 . 1 2条6 . 1 1 条 OO 1 2 振动5 . 1 3 条6 . 1 2条 OO 1 3 可靠性要求5 . 1 4 条 6 . 1 3条OO 1 4安全要求5 . 1 5 条 6 . 1 4条OO I S 成套性要求5 . 1 6 条6 . 1 5条O0 注“ 0” 表示该类检验中应进行的检脸项目。 7 . 2 . 3 定型检验的样品数量为2 台。 7 . 2 . 4 检验中出现故障, 或某项目 不合格时, 应停止检验, 待查出发生故障的原因, 排除故障并提
23、出故 障分析报告后, 重新进行该项检验。 若在以后的检验中 再次出 现故障, 或某项目 不合格时, 在停止检验, 待查明故障原因, 排除故障并提出故障分析报告后, 重新进行检验。 7 . 3 交收检验 7 . 3 . 1 交收检验由生产单位质量检验部门负责进行。 7 . 3 . 2 批量生产或连续生产的 探针台, 每台都应进行交收检验, 方可出厂。 7 . 3 . 3 交收检验的项目按表 1 规定进行. 7 . 3 . 4 交收 检验中出现任一故障时, 应停止检验, 待查出故障原因, 排除故障后, 重新进行检验, 重新检 验后再次出现故障, 则该探针台判为不合格。 7 . 4 例行检验 了 .
24、 4 . 1 正式生产的探针台至少每隔两年应进行例行检验。 当材料、 工艺有较大改变或影响产品性能时 , 也应进行例行检验。 7 . 4 . 2 例行检验 由生产单位质量检验部门负责进行. 7 . 4 . 3 例行检验的项目按表 1 规定进行。 7 . 4 . 4 例行检验的样品应在交收检验合格的产品中随机抽取, 其数量应不少于 2台。 7 . 4 . 5 检验中出现故障, 或某项目 不合 格时, 应查明故障原因, 排除故障后, 继续进行该项检验。 若在以 后检验中再次出现故障或某项目 不合格时, 在停止检验, 查明故障原因, 排除故障后, 重新进行例行检 验。重新进行例行检验又出现某一项目
25、不合 格时, 则判例行检验不合格。 8 标志、 包装、 运输、 贮存 8 1 1标志 8 . 1 . 1 探针台的指示、 控制、 操作等部分应有表示各功能名称、 位置、 状况、 方向、 接地、 指示、 警告等标 6 GB/ T 153 94 一 9 4 d : 8 . 1 . 2 探针台应有铭牌, 并应固定在设备明 显部位, 铭牌上至少应标出 下列内容。 产品名称; b . 产品型号或标记; c . 制造厂名称; d . 制造日 期或日 期代号; 出厂编号。 8 . 2包装 8 . 2 . 1 探针台的包装应符合 G B n 1 9 3中“ 箱装” , “ 防潮包装” , 及“ 防震包装” 的
26、规定。 8 . 2 . 2 探针台的包装箱上应按 G B 1 9 1 的规定, 至少应标上“ 小心轻放” , “ 向上” 、 “ 怕湿” 、 “ 重心点” 、 “ 由此起吊” 五种包装储运图示标志。 8 . 2 . 3. 探针台的包装箱上应按GB 6 3 8 8 的规定 , 至少标出“ 品名规格” 、 “ 重量” 、 “ 体积” 、 “ 收发货地点 和单位” 飞 “ 运输号码” 。 B . 3 运输 探针台在运输过程中 应平稳, 避免大于2 . 5 g 的冲击加速度。 8 . 4 贮存 探针台必须放在防潮防尘风通良好的室内, 不得露天存放, 贮存期间每半年抽查一次, 一年后全面 检查一次, 清
27、除锈迹和霉斑, 然后封箱贮存。 附加说明: 本标准由中华人民共和国电子工业部提出。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准由电子工业部平凉半导体专用设备研究所负责起草。 本标准主要起草人何继红、 赵志扬、 廖温初。 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档, 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件, 请发站内 信和我联系!我一定帮你解决! 提供优质文档, 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件, 请发站内 信和我联系!我一定帮你解决! 本人有各种国内外标准 20 余万个, 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准,全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址:豆丁下载网址: http:/
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