SJ-T-10097-1991.pdf
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1、Si 中华人民共和国电子工业行业标准 S J / T 1 0 0 9 7 - - 9 1 F一 2 5 0 1 4 0 0 型立式涡轮分子泵 1 9 9 1 - 0 4 - 0 8 发布 1 9 9 1 一 0 7 - 0 1实施 中华人民共和国机械电子工业部发布 中 华 人 民 共 和 国 电 子 工 业 行 业 标 准 F一 2 5 0 1 4 0 0型立式涡轮分子泵 S J / T 1 0 0 9 7 -9 1 主.内容与适用范围 本标准规定了F -2 5 0 / 1 4 0 0 型立式祸轮分子泵的产品分类、 技术参数、 技术要求、 试验方 法、 检验规则和标志、 包装、 运输、 贮存等
2、要求。 本标准适用于F -2 5 0 / 1 4 0 0 型立式涡轮分子泵( 以下简称“ 泵” ) . 2 弓 1 用标准 G B 1 9 1包装储运图示标志 G B 5 0 8 0 . 7设备可靠性试验 恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时 间的验证试验方案 G B 6 0 7 0 . 4活套真空法兰 G B 6 5 8 7 . 1 -6 5 8 7 . 6电子侧量仪器环境试验 G B 7 7 7 2变容真空泵噪声试验方法 G B 7 7 7 3变容真空泵振动试验方法 G B 7 7 7 4涡轮分子泵性能试验方法 G B 1 1 4 9 1立式涡轮分子泵通用技术条件 S J 3 1 9 2
3、立式涡轮分子泵型式与基本参数 S J 1 6 5 8 - 1 6 6 。铜丝密封超高真空 法兰 J B 8产品标牌 3 产品分类 泵的结构型式与技术参数应符合S J 3 1 9 2 和本标准的规定。 3 . 1 结构型式 3 . 1 . 1 泵由主机和电漂构成。 3 . 1 . 2 主机为立式结构, 主要由泵体、 涡轮组件、 电机、 润滑系统和烘烤装置等组成。 3 . 1 . 3 电源为电子变频电源。 3 . 2 型号 中华人民共和国机械电子工业部 1 9 9 1 - 0 4 - 0 8批准1 9 9 1 - 0 7 - 0 1 实施 一1 一 S 3 / T 1 0 0 9 7 - 9 1
4、泵的型号组成和含义如下 F2 5 0 / 1 4 0 0 体积流率 进气 口通径 立式涡轮分子泵代号 技术要 求 4 . 1 技术参数 a . 体积流率( 对干燥空气) 1 4 0 0 L / s ; b . 极限压力1 。 一 毕a ; c . 压 缩 比对 N 1 0 ; 对 Hz 1 0 4 ; d . 起动时间1 0 mi n ; e . 振动0 . 3 p m; f .噪声7 0 d B; g . 冷却水耗量6 0 L / h , 4 . 2 其他参数 a . 进气 口通径2 5 0 mm; b . 出气口通径6 3 mm; c . 电源输入电压( 5 0 H z ) 2 2 0 V
5、士1 0 %; d . 电源消耗功率4 4 0 V A; e . 电源起动功率2 0 0 0 V A; f . 重量主机6 5 k g ; 电 源 2 5 k g , 4 . 3 一般要求 4 . 3 . 1 泵的技术要求应符合 G B 1 1 4 9 1和本标准 4 . 1 , 4 . 2 条的规定, 并按经规定程序批准的 设计图样和技术文件制造. 4 . 3 . 2 泵在下列环境条件下应能正常工作: a . 环境温度0 -4 0 0C; b . 空气相对湿度8 5 %; c . 冷却水进水温度2 5 0C, 4 . 3 . 3 泵的进气口法兰及密封圈应符合S J 1 6 5 8 -1 6
6、6 0的规定. 4 . 3 . 4 泵的出气口法兰及密封圈应符合GB 6 0 7 0 . 4 的规定。 4 - 3 . 5 为了防止异物进入泵内, 泵的进气口应设置不锈钢过滤网, 并加以固定。 4 . 3 . 6 泵安装时, 应使主机的轴线垂直于水平线。其垂直度偏差应小于 5 0 , 4 . 3 . 7 当被抽系统振动较大或被抽系统对振动要求特别小时, 泵与被抽系统间应设置减振装 置 。 4 . 3 . 8 泵应采用饱和燕汽压不高于 3 X 1 0 - P a ( 在常温下) 的专用润滑油润滑轴承, 并设置油 量指示标志。 一2 一 S J / T 1 0 0 9 7 -9 1 4 . 3 .
7、 9 泵应避免抽除带粉尘、 腐蚀性或爆炸性气体.泵在正常工作时不允许有强烈振动和电 磁场干扰 。 4 . 3 . 1 0 为了除气, 对泵体、 测试罩和真空测量规管进行洪烤时, 其供烤温度不得超过以下规 定 : a泵体1 2 0 c; b . 测试罩3 5 0 C; c . 测量规管4 0 0 C , 4 . 3 . 1 1 泵所配置的前级泵应符合下列要求: 压力1 O P a ; 体积流率)1 5 L / s , 4 . 3 . 1 2 泵应在 4 . 3 . 1 1 条规定的前级压力下启动和工作。泵在正常工作时应防止暴露大气。 4 . 3 . 1 3 电源输出的三相线电压应对称, 其不对称
8、性不得超过士0 . 5 V, 4 . 4安全要求 4 . 4 . 1 绝缘电阻 泵的电动机和烘烤装置对泵体、 电源线路对箱体, 应有可靠的绝缘措施, 其绝缘电阻不小 于 2 Mn。 4 . 4 . 2 水流保护装置要求 冷却水流量应符合设计图样要求, 且具有保护装置。 4 - 4 - 3 电流保护装置要求 电源输出电流不应大于设计图样规定值, 且有保护措施。 4 - 5 可靠性要求 4 . 5 . 1 平均无故障工作时间( MTB F ) 主机和电源在正常工作条件下的平均无故障工作时间( MT B F ) 应达到以下要求: 主机)8 0 0 0 h ; 电 源)2 0 0 0 h . 4 .
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