SJ-T-31095-1994.pdf
《SJ-T-31095-1994.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《SJ-T-31095-1994.pdf(5页珍藏版)》请在三一文库上搜索。
1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 s J / T 3 1 0 9 5 -9 4 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法 主面 内容 与适用范 围 本标准规定了半导体集成电路生产用陶瓷劈刀研磨装置的完好要求和检查、 评定方法。 本 标 准 适 用于K I K O型 劈刀 研磨 装 置, 结 构 类 似的 其 它型 号的 劈 刀 研 磨装 置, 亦 可 舞 钾 执行 。 2 完好要求 2 . 1 主要技术指标 2 . 1 . 1 主要性能指标完好要求和检测方法、 检测器具, 见表 表 1 序 号检测项目完好要求检 测
2、 方 法和 检 测 器 具 1研磨小孔范围- 0 2 0 1 - 1 0 0 1- 加工误差: 士I t . 加工零件在高倍显徽镜下进行检测按实测 误 差 计 。 2 电机转速分别为: 3 0 0 r / min , 1 0 0 0 r / mi n 误差: 士5 % 用转速表进行检测, 按实侧计算是否在允差 范围内。 3 定时关机时间 0 - 1 8 0 - S 设备现场测试。 4 研磨头架上、 下升降转速6 0 r / mi n , 1 0 8 r / mi n用转速表检测。 2 . 1 . 2主要几何精度完好要求和检测方法, 见表 2 , 轰2 序 号检 测 项 目完 好 要 求检测方法
3、 图示 G , 研 磨 头 架 升 降 对工作台的垂 直度 , 蕊2 p m 在工作台上放一方箱或角 尺, 并校正方箱或角尺与升降 导轨的平行度, 将指示器固定 在研磨头架主轴端部, 使其测 头触及方箱或角尺检测面, 升 降头架至最大行程。 指示器在升降过程中读数 的最大差值为垂直度误差。 画 口 日 中 华人民共 和国电子工业部1 9 9 4 - 0 4 - 巧批准 一4 0 2 一 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 S J / T 3 1 0 9 5 -9 4 序 号 检 测 项 目 研磨具回转装 夹 重 合 度 0 . 0 3 .m 续表 2 检测方法 将指示器固定在工作台面
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- SJ 31095 1994
链接地址:https://www.31doc.com/p-3796217.html