SJ-T-31157-1994.pdf
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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 S J / T 3 1 1 5 7 -9 4 F L B型复合真空泵完好要求和检查评定方法 主题 内容 与适 用范围 本标准规定了F L B型复合离子泵的完好要求和评定方法。 本标准适用于F L B型复合离子泵。 完好要求 2 . 斗 主要性能 2 . 1 . 1 极限压强: 3 X 1 0 - P . , 起动压强 1 P a 抽气 速率: 7 0 0 - 1 0 0 0 L / s ; 2 . 1 . 2 灯丝电流: 7 . 5 -1 0 A, 栅极电压6 0 0 8 0
2、 0 V ; 冷泵 工作电压: 5 0 0 0 -6 0 0 0 V - ; 磁场强度: 1 3 0 0 T( 特斯拉) ; 2 . 2 操作系统: 2 . 2 . 1 泵工作电压调节平滑、 轻便、 调节过程平稳, 无冲击, 无振动。 2 . 2 . 2 与复合泵配合使用的 C D -j 5 0 3 1 , C D-j 2 0型超高真空阀门和 D J T型裸式规管等应 操作方便、 灵活, 密封性能良好 2 . 3 电源系统: 2 . 3 . 1 泵工作电源开、 关灵活、 可靠, 电源技术指标应满足 2 . 1 . 2 的规定。 2 . 3 . 2 电源系统应运行可靠, 线路完整, 导线绝缘层无
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