Janis低温真空微操作探针台.pdf
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1、TEL:010-6216 6302/010-8236 7826 | | Janis 低温真空微操作探针台 美国 Janis 公司创建于1961 年,在低温设备的设计、研发和制造等方面是国际公认的领导 者。凭借雄厚的低温真空技术实力,Janis 提供一系列完整的低温真空探针台测试系统,广泛 应用于半导体工业 ( 芯片、晶圆片、封装器件) 、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学和 材料学等领域。Janis 低温真空探针台主要分为制冷剂型( 液氮/液氦型 ) 探针台和制冷机型 ( 闭循 环) 探 针 台 , 温 度 范 围 最 大 可 以 从 3K到675K , 探 针 臂 数 最 多 可
2、 达 8个 , 可 对 样 品 或 器 件 施 加 直 流、低频和微波信号。可选配光纤探针、磁体( 永磁体、电磁体和超导磁体) 、超高真空等。 ?应用领域:半导体工业、MEMS 、超导、铁电、物理和材料学等; ?可施加直流、低频或微波等多种信号; ?可配置 1到8个探针臂; ?制冷机型(CCR 系列)或制冷剂型(ST-500 )探针台,最大变温范围:3K 到675K ; ?可施加磁场(永磁体、电磁体、超导磁体); ?定制特殊要求的探针台(如UHV 、高电压、样品座三维移动、光纤探针等)。 超高真空探针台电磁铁探针台 ST-500 探针台 6 K闭循环探针台10K 闭循环探针台闭循环电磁铁探针台
3、 TEL:010-6216 6302/010-8236 7826 | | Janis 低温真空探针台规格、参数一览表: 探针台型号制冷方式 温度范围 ( 配四探针) 磁场类型真空度探针臂数量最大样品尺寸振动大小 ST-500液氮 / 液氦 3.5-475 K (选配 8 K-675 K) 无 -5-6 10 -10 mbar -6-9 (选配 10 -10 mbar) 2-6个 (选配 7个) 50 mm (选配 200mm) 25 nm ST-500-EM (电磁体 ) 液氮 / 液氦 3.5-475 K (选配 8 K-675 K) 0.6 T 水平方向 -5-6 10 -10 mba
4、r450 mm25 nm ST-500-SCON (超导磁体 ) 液氮 / 液氦5-420 K 3 T 垂直方向 -5-6 10 -10 mbar2-650 mm1 m ST-500-PM (永磁体 ) 液氮 / 液氦 5K-350 K (选配 475 K) 0.6 T水平 0.2 T垂直 -5-6 10 -10 mbar4 (水平 )50 mm ST-500-UHV液氮 / 液氦Contact Physike无 -7 10 mbar Contact Physike 50 mm ST-500-MC (可移动式 chuck) 液氮 / 液氦Contact Physike无 -5-6 10 -10
5、 mbar Contact Physike 50 mm CCR-5闭循环 4.5 K-325 K (选配 4.5K-500K) 无 -5-6 10 -10 mbar2-650 mm1m CCR-10闭循环 10 K-325 K (选配 15K-675K) 无 -5-6 10 -10 mbar2-650 mm1m CCR-80闭循环Contact Physike无 -5-6 10 -10 mbar2-650 mm1m CCR-EM (电磁铁 ) 闭循环 10 K-325 K (选配 15 K-675K) 0.6 T 水平方向 -5-6 10 -10 mbar450 mm1m CCR-SCON (
6、超导磁体 ) 闭循环5 K-420 K 3T 垂直方向 -5-6 10 -10 mbar2-650 mm1m RT-500 (室温 ) 无 300 K - 500 K (选配 300K-650K) 无 -5-6 10 -10 mbar2-650 mm (Note :变温范围跟探针台的具体配置有关) TEL:010-6216 6302/010-8236 7826 | | 液氦 /液氮低温真空探针台(ST-500 低振动系列探针台) 可选配置: ? ? ? 增加可互换型探针臂 增加真空腔端口便于将来增加探针臂 可移动式样品座( chuck) 集成 attocube纳米定位台或旋转台 增加电学真
7、空接头和电缆等 增加流量计( 3.6-72Torr/sec) 用于气氛的引入 高分辨光学观察系统 高精度控温仪 分子泵组 气动隔振台 便携式超静音空气压缩机 液氦 /液氮杜瓦 4.5K 以下工作使用的真空泵 高真空低温导热脂 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ST-500 系列探针台利用液氦或液氮快速制冷,为晶片、器 件和材料 ( 薄膜、纳米线、纳米管、石墨烯、拓扑绝缘体、超导 材料、铁电材料等 ) 提供便利真空和低温测试条件,先进的减振 技术保证了样品位置的稳定性。测试样品放置在镀金无氧铜样 品座上,选配可拆卸卡盘,样品座有接地型、同轴型或三同轴 型。样品周围的防热辐射屏可最大程度
8、减小热辐射对样品温度 的影响,从而使样品获得尽可能低的温度。 ST-500探针台 ST-500探针台内部 ST-500探针台样品振动测试数据 Janis探针台三同轴样品座结构示意图 Janis Triaxial Probe Leakage Current Noise Measurements -1.5E-15 -1E-15 -5E-16 0 5E-16 1E-15 1.5E-15 2E-15 -1-0.8-0.6-0.4-0.200.20.40.60.81 Current (A) V o lt a g e (V ) Janis三同轴探针漏电流测试数据 TEL:010-6216 6302/010
9、-8236 7826 | | ST-500 系列探针台技术参数: 振动大小 25 nm 位置漂移 150 nm in 30 minutes 真空环境 -5-6 常规真空 (10-10 mbar) -6-7 高真空 (10-10 mbar) -8-9 超高真空 (10-10 mbar) 温度范围3 K to 475 K ( 选配 8 K to 675 K) 制冷剂消耗1L/hr (LHe); 0.1L/hr (LN2) 温度稳定性 50 mK 降温时间 (标准 2样品台 )“ 30 min to 10 K, 60 min to 5 K 真空腔升至室温所需时间带快速升温包45 min ;不带快
10、速升温包4 hours 样品台 标准 2“ (51 mm) 选配到 8“ (203 mm) 接地 Chuck/ 同轴/三同轴电缆电压偏置电隔离Chuck 透光型 Chuck/LCC 样品托 可互换型探针臂 DC/LF probes: DC to 20 MHz - 钨探针(针尖半径0.1-200 m,可选镀金) - 特殊弯曲型钨针杆和Cat whisker 针尖 - 低接触电阻型铍铜柔性针尖 - 同轴或三同轴电缆( 典型漏电流 1-2fA1V ) 微波探针 :( 0-40 GHz, 0-50 GHz, 0-67 GHz) 光纤探针:单模或多模(UV-VIS or VIS-IR) 非接触式非破坏性
11、开尔文探针/多针尖探针 顶部光学观察窗 标准 2.0“ (51 mm) 选配 8.0“ (203 mm) 含LCD 19监视器、 USB Camera及位移台的 Monoscopes 光学观测组件 “ 变焦: 7:1, 分辨率 5m ( 放大倍数 216X) 变焦: 12.5:1, 分辨率: 3.4m ( 放大倍数 508X) 变焦: 16:1,分辨率: 2.2m ( 放大倍数 626X) 探针行程ST-500-1ST-500-2 X-轴1“ (25 mm)2“ (51 mm) Y-轴 1“ (25 mm) (15 mm with MW Probes) 2“ (51 mm) (45 mm wi
12、th MW Probes) Z- 轴10 mm (可选 18 mm)10 mm (可选 18 mm) XYZ 平移台平移精度 (可选配更高精度电动平移台) 5 m6.25 m TEL:010-6216 6302/010-8236 7826 | | 5K闭循环低温探针台10K 闭循环低温探针台 可选配置: ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 增加可互换型探针臂 增加真空腔端口便于将来增加探针臂 增加电学真空接头和电缆等 将样品从手套箱放入探针台的特殊真空腔 不同材料、特殊光学窗口( 含侧窗) 增加流量计( 3.6-72Torr/sec) 用于气氛的引入 用户定制选项 高精度控温仪 含
13、前级机械泵或无油膜片泵的涡轮泵组 连接泵与探针台抽气管道的隔振装置 高真空低温导热脂 Janis 制冷机型真空探针台无 需 消 耗 液 氮 液 氦 便 能 提 供 低 温 工 作 环 境 。 利 用 可 靠 的 G-M 制 冷 机 技术,提供最低温度为4K、10K 和 80K 等不同温度要求的探针台。典 型应用包括MEMS 、纳米电子学、 超 导 、 铁 电 子 学 、 材 料 科 学 和 光 学等。 闭循环探针台特点: ? ? ? ? ? ? 振动小于 1 m 变 温 范 围 从 4.5K 到 325K ( 选 配 6K- 475K 或6K-675K ) 可 容 纳 2“ ( 51mm )
14、样 品 , 选 配 4“ (101mm) 可配置 8个冷却型可互换微操作探针臂 测试频率从DC-67GHz 低频探针种类齐全,价格便宜,更换 方便 三同轴漏电流极低(1-2fA1V) 非接触型非破坏性开尔文探针 多针尖探针 单模或多模光学探针臂 增加电学真空接头、连接到样品区的 电缆或引线 X-Y-Z 精确平移台 ? ? ? ? ? ? 闭循环低温真空探针台 TEL:010-6216 6302/010-8236 7826 | | 闭循环探针台技术参数: 振动大小 1 m 真空环境 -5-6 10 -10 mbar 温度范围( *四探针臂) *两探针臂探针台最低温度减小 CCR5: 4.5K
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