超纯水系统工艺流程图.pdf
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1、图 3 常用的一级RO+ 二级 EDI+MB 电子 I 级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度高,有机物含量高,电导率高(小于1000s/cm ) ,要求产水电阻率1818.2Mcm的超纯水系统 图 4 常用的一级RO+ 二级 EDI 电子级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度高,有机物含量高,电导率(小于1000s/cm) ,要求产水电阻率1518M cm的超纯水系统 快速过滤器 风机 0.2um过滤器 纯水箱 P F 二级EDI膜堆 氮封超纯水箱 反渗透装置 纯水泵 高压泵 超纯水泵 不合格排放 不合格排放 C 符号说明: P PcFRC 电磁阀球阀止回阀压力表压力控制器流量计电阻率表电导
2、率表 不合格排放 Pc P P P F C 抛光混床 0.1um过滤器 用水点 自来水进水 P 氮气瓶 F 杀菌灯 紫外线 R F P 纯水 极水 浓水 P F R 纯水出口 调压阀 浓水回流 或排放 极水排放 Fk Fk 流变控制开关 FK 原水泵原水箱 紫外线 杀菌灯 P 排放 P C 超滤装置 F P 反洗排放水 F 循环 泵 过滤器 化学计量泵 图 5 常用的一级RO+ 二级 EDI 电子 +MB 电子 I 级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高(小于1000s/cm ) ,要求产水电阻率1818.2Mcm的超纯水系统 图 6 常用的一级RO+ 二级 EDI
3、电子级超纯水系统工艺配置图 适合于源水硬度低,有机物含量低,电导率高(小于1000s/cm) ,要求产水电阻率1518M cm的超纯水系统 图 7 是常用的一级EDI 全系统组成图。 图 7 常用的产水水质稳定的二级RO+ 一级 EDI+MB电子级超纯水系统组成图 适合于源水硬度低,有机物含量高,电导率 1000 s/cm, 即 TDS 500ppm 时,要求产水电阻率18 18.2M cm的纯水系统 图 8 常用的产水水质稳定的二级RO+ 一级 EDI 电子级超纯水系统组成图 适合于源水硬度低,有机物含量高,电导率 1000 s/cm, 即 TDS 500ppm 时,要求产水电阻率1518.0Mcm的的纯水系统
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