半导体第三讲-上(1).ppt
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1、半导体材料与集成电路基础,第三讲:单晶硅生长及硅片制备技术,内容,多晶硅原料制备技术 石英坩埚的制备技术 硅单晶生长方法 单晶硅生长过程的技术要点,硅晶片的生长技术,单晶硅基片(Silicon Wafer),之所以在诸多半导体元素如锗(Germanium)或化合物半导体如砷化稼(GaAs)等材料中脱颖而出,成为超大规模集成电路(VLSI)元器件的基片材料,其原因在于,首先,硅是地球表面存量丰富的元素之一,而其本身的无毒性以及具有较宽的带宽(Bandgap)是它在微电子基片中能够获得应用的主要原因。当然,对于高频需求的元器件,硅材料则没有如砷化稼般的具有高电子迁移率(Electron Mobil
2、ity)而受到青睬,尤其是它无法提供光电元件(Optoelectronic Device)的基体材料。在此方面的应用由砷化稼等半导体材料所取代。其次,从生产技术上考虑,硅材料能以提拉法(柴氏法)大量生长大尺寸的硅单晶棒,它是目前最经济的、成熟的规模生产工艺技术。,多晶硅原料制备技术,制造硅晶片的原料仍然是硅,只是从一高纯度(99999999999)的多晶硅(Polysilicon)转换成具有一定杂质(Dopant)的结晶硅材料。硅材料是地球丰度较高的元素,它以硅砂的二氧化硅状态存在于地球表面。从硅砂中融熔还原成低纯度的硅,是制造高纯度硅的第一步。将二氧化硅与焦碳(Coke)、煤(Coal)及木
3、屑等混合,置于石墨电弧炉中于15002000加热将氧化物分解还原成硅,可以获得纯度为98的多晶硅。接下来将这种98多晶硅纯化为高纯度多晶硅则需经一系列化学过程将其逐步纯化,盐酸化(Hydrochlorination)处理 将冶金级硅置于流床(Fluidized-bed)反应器中通入盐酸形成三氯化硅,其过程用下式来表示: Si(s)+3HCl(g) SiHCl3(l)+H2(g) (2.10) 蒸馏(Distillation)提纯 将上式获得的低沸点反应物,SiHCl3置于蒸馏塔中,将它与其他的反应杂质(以金属卤化物状态存在),通过蒸馏的过程去除。 分解(Decomposition)析出多晶硅
4、将上面已纯化的SiHCl3置于化学气相沉积(Chemical Vapor deposition,CVD)反应炉(Reactor)中,与氢气还原反应使得金属硅在炉中电极析出,再将此析出物击碎即成块状(Chunk)的多晶硅 另外著名的还有以四氯化硅(SiCl4)于流床反应炉中分解析出颗粒状(Granular)高纯度硅,其粒度分布约在100um至1500um之间,该方法的优点是较低制造成本(能源耗损率极低),以及可以均匀或连续填充入晶体生长炉,实现硅单晶的不间断生长。因此它有可能取代部份块状多晶硅的原料市场。,石英坩埚的制备技术,生产中使用的石英坩埚是用天然纯度高的硅砂制成。浮选筛检后的石英砂,被堆
5、放在水冷式的坩埚型金属模内壁上,模具慢速旋转以刮出适当的硅砂层厚度及高度。然后送入电弧炉中,电弧在模具中心放出,将硅砂融化,烧结,冷却便可获得可用的石英坩埚。这种坩埚内壁因高温融化快速冷却而形成透明的非结晶质二氧化硅,外壁因接触水冷金属模壁部份硅砂末完全融化,而形成非透明性且含气泡的白色层。坩埚再经由高温等离子处理,让碱金属扩散离开坩埚内壁以降低碱金属含量。然后再浸涂一层可与二氧化硅在高温下形成玻璃陶瓷(Glass Ceramic)的材料,以便日后在坩埚使用中同时产生极细小的玻璃陶瓷层,增强抗热潜变特性,及降低二氧化硅结晶成方石英(Cristobalite,石英的同素异形体,在14701710
6、之间的稳定态)从坩埚内壁表面脱落的危险。一般而言,坩埚气孔大小分布与白色层厚度、热传性质、内壁表面方石英结晶化速率,将影响坩埚的寿命,硅单晶生长方法,单晶硅的生长是将硅金属在1420以上的温度下融化,再小心控制液态一固态凝固过程,而长出直径四寸、五寸、六寸或八寸的单一结晶体。目前常用的晶体生长技术有:(1)提拉法,也称柴氏长晶法(Czochralski Method),系将硅金属在石英坩埚中加热融化,再以晶种(Seed)插入液面、旋转、上引长出单晶棒(Ingot);(2)浮融带长晶法(Floating Zone Technique),系将一多晶硅棒(Polysilicon Rod)通过环带状加
7、热器,以产生局部融化现象,再控制凝固过程而生成单晶棒。据估计,柴式长晶法约占硅单晶市场的82,单晶生长炉,采用电阻式石墨加热器进行加热,加热器与水冷双层炉壁间有石墨制的低密度热保温材料。为了预防石英坩埚热潜变导致的坩埚破裂,使用石墨坩埚包覆石英坩埚。此石墨坩埚以焦炭(Petroleum Coke)及沥青(Coal-Tar Pitch)为原料研磨成混合物,使用冷等压制模(isostatically Molded)或挤出法(Extruding-Method),经烘烤、石墨化、机械加工成形、高温氯气纯化以去除金属杂质而制成。这些石墨的材质、热传系数及形状,造就了单晶生长炉的温度场(Thermal F
8、ield)分布状况,对晶体生长的过程和获得晶体的质量有重要的影响。,为了避免硅金属在高温下氧化,炉子必须在惰性氩气气氛下操作,氩气可以从炉顶及长晶腔顶流入,使用机械式真空抽气机及气体流量阀将气压控制在520torr及80150升分钟的流量,氩气流经长晶腔再由抽气机带走。,在晶体生长过程中,石英坩埚在高温惰性气氛下逐渐脱氧: SiO2SiO+O (2.12) Si+SiO22SiO (2.13) 氧原子溶入硅融液中成为硅晶棒氧杂质的来源。同时,氧原子可以以一氧化硅化学组成的气体,进入氩气气流中排出长晶炉外。 石墨在高温下与微量的氧气有下列反应而导致材质衰变: C+OCO (2.14) 另外,石墨
9、还可以与一氧化硅反应生成碳化硅颗粒: C+SiOSiC+CO (2.15) 石墨基材与碳化硅颗粒的热膨差异将引起坩埚内部产生微裂纹,因此CO、SiO及氩气的分压,以及氩气的流量将影响硅晶棒含氧量及石英坩埚和石墨寿命,若炉子漏气,除了氧气迫使硅金属及石墨氧化外,空气中的氮气与硅金属生成氮化硅颗粒,进入融熔液中或悬浮液面,将降低成长硅单晶的成功率。,融熔硅金属的温度控制,尤其是液态表面温度,极为重要。一般使用热电偶或红外线测温仪来控制温度的变化。从对晶体生长的温度环境精确控制的考虑,必须进行温度的微调。这种微调一般靠人为控制加热器输出功率大小,来获得适当的晶体生长温度。一般加热器输出功率是随著晶体
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