单晶炉机械结构(1).ppt
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1、TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修,背景 半导体生产流程,拉制单晶棒 (本产品研究环节),石英砂金属硅,多晶,单晶硅棒,单晶硅片,集成电路,太阳能电池,太阳能电池应用,集成电路应用,设 备 简 介,直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。 将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温熔化(大于1450),在低真空度和氩气保护下,通过籽晶插入多晶硅熔体后,在籽晶周围形成过冷态并进行有规律结晶生长,形成一根单晶棒体。,工艺过程,加热器,籽晶,CCD,坩埚提升旋转机构,坩埚,抽真空 检漏 调压 熔料 稳定 熔接 引晶 放肩 转肩 等径 收尾 停炉 氧化,籽晶提升旋转机构,单晶棒,液面
2、测温仪,热场测温仪,氩气流量,熔 料,引 晶,放 肩,等 晶,收 尾,TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉,整体结构尺寸,炉体,电控柜,电源柜,总重,整体结构尺寸,接口尺寸,籽晶提升机构经过静平衡和动平衡测试 带称重传感器 快慢速双电机 外置限位调节 观测玻璃窗 光电编码计行程,晶体提升机构,晶体提升机构结构(主视),晶体提升机构结构(俯视),晶体提升腔拆装及调整,1、拔下称重传感器腔上的航空插头。 2、从钢丝绳上取下籽晶夹头。 3、将缆索管下降到如左图所示位置之后,取下钢丝绳。 4、松开第二级蜗轮蜗杆减速箱输出轴上卡环的内六角螺钉,松开刚性连轴器右侧的紧定螺钉,将其向外滑出。小心不要把联轴器
3、上的十字块跌落。 5、松开行程块的2颗固定螺钉,卸下同步带。 6、拆下把提升腔固定到晶升底板上的两个螺钉。螺钉是从底板下面向上旋进的。 7、把提升腔垂直平稳向上提起,小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转磁流体密封的O型圈和轴。 8、松开2颗铰链螺钉,使称重腔与提升腔脱离。,拆装钢丝绳时缆索管位置,晶体提升腔拆装及调整,取出压力辊子组件,右端盖,左端盖,取出右端盖,花键轴、缆索管,取出晶转磁流体,晶体提升腔拆装及调整,15、拆下提升腔左端盖的4颗螺钉,将左端盖连同铜螺母一起从提升腔内抽出。 16、拆下把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉,取下铜螺母。 17、重装时,首先铜螺母装回端盖,装回把铜螺母固定到盖
4、端上的4颗螺钉。 18、将右端盖装回提升腔,上紧固定螺钉。 19、将缆索管装入花键滑套,上紧固定螺钉。 20、装回花键轴左端的滚动轴承。 21、将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔右侧送入,逆时针旋转花键轴使得缆索管拧入铜螺母,将右端盖完全压入提升腔,上紧4颗固定螺钉。 22、装回提升腔左端盖的盖板,拧紧固定螺钉。 23、装回压力滚子组件,拧紧压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉。 24、将对中针从提升腔下面晶转磁流体孔放入,检查钢缆螺纹与磁流体孔中心的位置,保证磁流体孔中心与所对应螺纹的中心的偏差不大于0.05mm。,左端盖及铜螺母,对中针,缆索管的对中,晶体提升腔
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