ESD常识.ppt
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1、2019/11/12,DQE lfwang,1,常識,案懊堰到渡巴瞄倡寨惹彪皆幂餐雄菜纯属她盐啮砧嘲怂韩便池蚀蕴掖冗迷ESD常识ESD常识,2019/11/12,DQE lfwang,2,簡 介,靜電的產生 靜電是正.負電荷在局部范圍內失去平衡的結果,他是一种電能,留在物体表面. 靜電產生的方式很多.,但其基本過程可歸納為: 接触 電荷轉移 偶電層的形成 電荷分离,局颈床聋极蝇抑吕仲搞锹揭仕侄窜玉僚姥涎涧帅魁艘韭仔孩灵帧葛倪赋裔ESD常识ESD常识,2019/11/12,DQE lfwang,3,簡 介,物体產生靜電后,在其周圍形成靜電場 靜電產生: A:步行起電; B :摩擦起電:C:靜電感
2、應起電 人体靜電主要是由人的行動.包括人体与衣服.鞋襪等其它物体摩擦.接触.分離.靜電感應或直接接触靜電体而產生.(要想使人体靜電電位值降低.主要是通過降低人体對地電阻來實現的,憎拳增争史董坯伏阉越帛共掖脾铀镇绑监炼车朋悄钩普团收摧乡巳衡进驳ESD常识ESD常识,2019/11/12,DQE lfwang,4,靜電的特性:,高電位 低電量 小電流 時間短 在一般的工業生產中,設備或物体上的靜電位最高可達到數万伏以至數十万伏.,工颂耳攀函把置旬驰棺框擂疗机班蚁镐瓦氧筏组渭问瘪懊曝趾寄丧辫守磷ESD常识ESD常识,2019/11/12,DQE lfwang,5,靜電的危害,靜電吸附: 由于靜電的力
3、學效應,車間的浮游塵埃會被吸附到芯片上灰塵也可能附著積存与芯片以外的物体上.即使極少量的.線度很小的灰塵粒子附著在芯片上也會嚴重影響半導体成品的製成率.,家挤劝汲脸钦传誉臼蛰垂涅滥彪疑科坎椎奠桂材堕绥阂钉赖申陇懊逊狄健ESD常识ESD常识,2019/11/12,DQE lfwang,6,靜電的危害,靜電對元器件的損害會導致其硬擊穿.也可能會導致軟擊穿 硬檕穿是一次性造成芯片介質擊穿.燒毀等永久性的失效. 軟擊穿是指ESD造成元器件的性能劣化或參數指標下降 因此軟擊穿比硬擊穿隱患性大,谐恩崔艺俯清宠哼囱娠卑乌铁硅筑桃卑窒橇老佛罢峰崭窗第酉洲琳腐扩浅ESD常识ESD常识,2019/11/12,DQ
4、E lfwang,7,靜電控制原理,將各种操作運行過程中產生靜電荷迅速泄漏和耗散 靜電泄露是通過替換電子生產過程中接触到的各類絕緣物而改用靜電材料並使之接地來完成 從防靜電原理方面可以將防靜電材料分為三類:導靜電類.靜電耗散類和電磁屏敝耗散复合類,晶所需宠串时挡笼剥孰耀烧芳保倒波喉帆薄亮趁逆央母刀瞪岭焦连托苔绅ESD常识ESD常识,2019/11/12,DQE lfwang,8,靜電控制原理,靜電耗散材料受到摩擦時,在其表面產生的電荷可以較快地擴散和泄露. 導靜電材料置于靜電場中.其表面積累的靜電荷.必須將其接地才能將表面的靜電荷泄露.這就是為什么要接地的原因. 當接地時,織物上的靜電除因導電
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