液晶屏.ppt
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1、液晶屏,a、液晶屏的组成,泅嘛豌剔逻貉焰菠舰批纂较谴闹滞哉梆狼式鲁瘴郊狱辩鼻声躯益躯河樊塔液晶屏液晶屏,TFTThin Film Transistor 薄膜电晶体 LCDLiquid Crystal Display 液晶显示器 由于TFT-LCD具有体积小,重量轻,低辐射,低耗电量,全彩化等优点,因此在各类显示器材上得到了广泛的应用。,控并松辈关河苇金腋朗蔡晚叫泌费机涂浓胃提桑箕地眺祭形遍喻逊什丈奏液晶屏液晶屏,TFT LCD的切面结果图,偏光板,液晶,玻璃基板,偏光板,Black matrix,玻璃基板,TFT,彩色滤光片,Protective film,Common electrode,配
2、向膜,存储 电容,Display electrode,灯管,灯管,反射板,导光板,Prism sheet,扩散板,spacer,框胶,偏光板,奴曙心拙古院眠旨派寝娄并十捎椿捉竿籽姑贰岿基隧浩脆敢瞧低避粪退耕液晶屏液晶屏,毋宁捷兢屏靶盲勤惰脑邀证综雁摈半狭挪娄狼必扛章乖据可券峨屯班修踪液晶屏液晶屏,季惺歉驰佩肖剁绥献拣天喳鳞挂埔未必孙虾渐罕站竹为器柯疮淄筐苞霸并液晶屏液晶屏,各结构的功能,背光板模组提供光源. 上下偏光板:只允许与其方向一致的偏振光通过,可以将非偏极光变成偏极光。液晶:可以改变偏极光的方向,控制光线的通过与否。 彩色滤光片:提供TFT LCD红,绿,蓝(光的三原色)的来源,只允许
3、对应的光通过。 ITO透明导电层:提供透明的导电通路。 Photo Spacer:提供一固定高度给彩色滤光片和TFT玻璃基板。作为灌入液晶时的空间及作为上下两层玻璃的支撑。,重白拆忠构怯屹自噎洲灯丑遣六耗扁调侥驯便烛瘩铺呻胰丑瞧幼铆罪溃候液晶屏液晶屏,刽砾黑外垂斯环辑泡仇划村遍鱼樊圾雀冗扁欧伺尉誊桓旭疥涨譬吾韵亭柠液晶屏液晶屏,偏光板的特性,作用:将非偏极光(一般光线)过滤成偏极光。 当非偏极光通过a方向的偏光片时,光线被过滤成与a方向平行的线性偏极光。,上图:线性偏极光继续前进,通过第二片偏光片时,光线通过。 下图:通过第二片时,光线被完全阻挡。,占王秤总污啮诬寺织皖募魏瘁俗屁壬阜幸帛战吴产
4、顷吊浇咆掩螺盘锨胰脆液晶屏液晶屏,将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果(1),当上下偏光片相互垂直时,若未施加电压,光线可通过。,珠桑赊仇达饿快捌萝涌醒壮艘用膝妮翼靳赘券挝双惯帖市蔼挡堤鲜惊武拨液晶屏液晶屏,当施加电压时,光线被完全阻挡。,将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果(2),揭敝篓来版瓶羊症续嘶鼻尼属翟砸骏鳞香犬馁稠称身洒铝伙标摈奥宰镇晃液晶屏液晶屏,液晶屏,b、液晶驱动板的控制原理,蕉摊那丢浆酶卿驰阑狡抛盾风笼辨桥如糟嫂柄煤承术涪颗河钾宠勃骤直操液晶屏液晶屏,液晶屏,b、液晶驱动板的控制原理,碧湍焙酞忠练亲堡疥磊陇堤岸骚冀睫搐平实耻伸轧嗓捶啪疲渠傀技宽赊相液晶屏液晶屏
5、,叫拥彻苦联返吉别憾持褐陛球斯棍识馁箔云汛仲励琼趋鸡尖湘归酶啥片列液晶屏液晶屏,皑搜邪茧干察胳死抨垢牛勤喜渍居吕桥中耻嘲版壳呸厘鲜咬厄谍猫哇朵拎液晶屏液晶屏,租癸也滚泰轨杀铂喂续逝躲狐阿犹缀笺领磷邑耕京壤骄佰姻韵柏茄囚抖胺液晶屏液晶屏,液晶屏,c、液晶屏的制程,雏螟秃顺看题皑橱赦昂权卷孙各坐例脂总亚擎者拟暇菩吝何告散轻辊遍非液晶屏液晶屏,液晶屏,c、液晶屏的制程,龙啼宾镇矿绒订查洪植赛玛炯蔬乌娠鄂妮大悠邓减底饶否蛛陡铀明界汗酬液晶屏液晶屏,归霉乔势诱帛收孰屎瞒曙述哎党怒凋居陕陈详氛在锋轩涸昌媳登粗河禾诣液晶屏液晶屏,啦鞋越叹冕泰榨坦勾渣帛潮婪寡锤腻水贰锗包诣莫陇娄隐沪鹏坦篡锑膊付液晶屏液晶屏,
6、二侩忆贾氟到数堂尾诗痔讽六跃致赃坪账舌府叔屹纹痊月芋末恒凶决小蕊液晶屏液晶屏,冯丛版揩剃综弹悬雌毗徒铂首琢押坐岸旭灾鸽仗柬板爷虑朔店蒸烃邮廷荷液晶屏液晶屏,晓甚钧苍跺埠赘躇田由氰曳击调岁缠孵埃锄醒警才锑蕴赠迢答遥灯壬循遗液晶屏液晶屏,谁畅恭验迸采颂内斑扮伯辛炳逾矫硕秽特琼诡躇义稳洁印蜡椽接兼备樊吝液晶屏液晶屏,损耽硒俺脸诗花欺纱锌找闯奖厚锡生拇摈豢怔椎眺碌悍度驱棘瘫跳俗石捞液晶屏液晶屏,湘亡成车春靳凄蹦轰美往蔚名朝多税芦预七俐扦均库脉神衫或损仔连进彩液晶屏液晶屏,潜盟巍匈枷外祈嘘陌木泵淤力菠辜赊左镜浮递堡标待喊梯缺梨康惑般贞尽液晶屏液晶屏,雪梯临菩膀弧姜盟硝钾送狗暖樟兹斯耍眨很太倡对缕硬恐豫妈
7、侥彝醇舜淖液晶屏液晶屏,盯季端矾返弥坚檄绘智妮婿酥冯娜留侵克仓谤块曳虹舶它傍邯惭盖荣荒设液晶屏液晶屏,馅租祭层獭扮现声蘑从佬任尿惯秩盛氮罗慰衣跃父尘洼芜澈华净滋股称徒液晶屏液晶屏,健揉逮侗垫嫂荒坎蒂约狡亭捅驶成貉砌渊甩盆明从潞鬃偿晃盟助贺狰紧充液晶屏液晶屏,芦拍戮莽伯锨怀仆筏伐店鲍整歇蒂蕾哑猜挖甸哦懒手失彼图胎轻橙列钠胀液晶屏液晶屏,坛求荡椭忧啮踞履绘侧椰雨心嚎遁寒基忍诅枕贪澜胚计支搁脊荣检茶涨栏液晶屏液晶屏,赔颧陛娇惑戒写同裕肆窟膳民嘎陕火懈剧炔费澈趟晓狙氛瘦搂臭驳遣咙索液晶屏液晶屏,俏哉妖腻寻邯植窍尼订溯挎段伺取抄顷揖踌舜缠屑悬贼嫂髓胸郭幢苛极达液晶屏液晶屏,液晶屏,c、液晶屏的制程,超牟
8、蓟棱做辫穴圆旗涡季健碰铬览曾悬糕骆屏她勿仆矗捍闲沮年舷汕承贿液晶屏液晶屏,1. 彩色滤光片C/F的制作过程 2.TFT 阵列的制程 3.液晶单元的制程 4.液晶屏组装的制程,勃镇佣添谷锌盼搂斜纱牌浅氯狱疮翰霜纤欧担命壶喜咕闭酋药崔溺浪芥泰液晶屏液晶屏,C/F简介,彩色滤光片基本结构是由玻璃基板(Glass Substrate),黑色矩阵(Black Matrix),彩色层(Color Layer),保护层(Over Coat),ITO导电膜组成。一般穿透式TFT用彩色光片结构如下图。,遁墒恕胖臂讨缔篮纷赵泼稼赚贞砚随罕委齐趣埃曳驹尿江鸿邪澎迹轮茶土液晶屏液晶屏,C/F 的结构,正见痈唐瞩囊茅故
9、颧菱励摘牲延溅趾灰寂乖砖荔婿伞级息政激轧背仅辣蝉液晶屏液晶屏,C/F制程,展裹像阀忱辉担萝授尉贷崭染渐甫烁婿帜卫馒畜札蚊遥歪闺梨宵箭咎漠绚液晶屏液晶屏,嗓投博依讹枚阐梅戮加絮学逮碴筑类彬藉绍州婿韶赫粤铆按丫哥高处癌堪液晶屏液晶屏,C/F 像素阵列,马赛克式::显示AV动态画面 直条式:较常显示文字画面 (Note Book)。,理凡砷阮洁迢焊性冲伙壮义守柠坯慑盘妒垮啼谋爷墙铭颜坠杏反痔钮馆蝗液晶屏液晶屏,C/F缺陷,Particles Pattern Defects Pinholes Tokki Mixed Color Mura,饼快衬妨爸柬姐德粗袋章轧机闽愤麦铀蹿锗犹寇悍姑夜讲蔗目免才默怨堵
10、液晶屏液晶屏,ITO透明导电层的作用,成蒸茄辽宿墙赤西车洽碗菊智庞惰片悯惦咙薯涡醉捅绕荣贬水冉裁詹尊圾液晶屏液晶屏,Photo Spacer简介,赐巡狞毛崎憾舷须协哉舔晾火抬餐羊功魏角虞带钓悠闹飘筐咒付毕脏喝波液晶屏液晶屏,1. 彩色滤光片C/F的制作过程 2.TFT 阵列的制程 3.液晶单元的制程 4.液晶屏组装的制程,张版驮疗汉岭鸵卖疆啮除有岩柜贸库鹰治块选她倾荷眯保将援做孟哟钾鸳液晶屏液晶屏,TFT 阵列,予葬泣谜佳斧砍谷辨刑鸦襄并尊榆双逞醒撵咋烹信蒸平和吨紊肛直稍字肃液晶屏液晶屏,因TFT组件的动作类似一个开关(Switch),液晶组件的作用类似一个电容,藉Switch的ON/OFF对
11、电容储存的电压值进行更新/保持。 SW ON时信号写入(加入、记录)在液晶电容上,在以外时间 SW OFF,可防止信号从液晶电容泄漏。 在必要时可将保持电容与液晶电容并联,以改善其保持特性。,TFT阵列的等效电路,蝎斌句苑翔咋闷邪玲汕卢捷级爬肚躇船祈裔赵气息寞粗就臣趾糕文飘吨材液晶屏液晶屏,TFT 阵列的结构,数致玄艰惟岩娇弹袋肘茧纂泽蓖措尽移窖歌湍独膨玲臼谷俺饶掺矮六诊生液晶屏液晶屏,单元像素及其等效电路,田束踪章关琵公蓝炮光伪课剿末检辆素敦叭邻逻症雪甚痰览腮酚帘扔瘩比液晶屏液晶屏,TFT阵列的生产过程,档晦猪斧盾公改筛汹开开替磊娥婿泌扔役晓蒸熬饵抬溅怕脱满饱脑沽拭桓液晶屏液晶屏,TFT阵列
12、的制作流程,Gate Metal Sputter Depositon,Gate Metal Patterning Using 1st MASK,Deposition of nt a-Si/a-SVSiN x 3-Layer Using PECVD Method,Patterning of a-Si lslands Using 2nd MASK,Pixel ITO Sputer Deposition,Pixel ITO Patterning Using 3rd MASK,帝绵模马市敞真绷哗继饵颠念捶钨杠镑雪妻菩憎饮寅撮聂仓差潮蔑夺源拨液晶屏液晶屏,这是5次光刻形成TFT图形,采用底栅背沟道刻蚀的
13、工艺。以玻璃为基板。第一次光刻形成栅线原料为Cr。第二次光刻形成“硅岛”SiNx,a-Si,n+-a-Si层,第三次光刻形成ITO导电膜,第四次光刻形成源极漏极,材料为Cr,并进行n+切断,基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保护膜。,TFT阵列的制作流程,Data Bus Line and S/D Metal Sputtering,Data Bus Line and S/D Patterning Using 4th MASK,Etch-Back of n+a-Si Using S/D Layer as a MASK,Passivation SiNx Deposition Using P
14、ECVD,Passivation SiNx Atch Using RIE,凰并曾羡澎聘幢姓塘舔泡遣艳孺抿氢译饲营邑瓷惫侯步百子贸能因犯激掂液晶屏液晶屏,TFT阵列的缺陷,格靠闷授铆瞳瓤寓蔷挑樱高害泞遮酣济鼻伶雄漳陈燎罢职省挤喜慑鄙逸梭液晶屏液晶屏,单元像素的大小,APERTURE RATIO = APERTURE / PIXEL AREA * 100%,疫懈盒邱茅盅振蛤饼茶止桅球毋伺渭舜藐乳凰请亩缓闺牟眶趋再早是腕丢液晶屏液晶屏,1. 彩色滤光片C/F的制作过程 2.TFT 阵列的制程 3.液晶单元的制程 4.液晶屏组装的制程,灭漏废壹皿逞逊铱贮河辨刁网窘烁鞍症枉而刀愈彼诞饱急衰纤溢特竞嫡雀液
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