JBT7462-2005.pdf

I CS 2 3 . 1 6 0 N 68 JL 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 J B / T 7 4 6 2 - 2 0 0 5 代替J B / T 7 4 6 2 -1 9 9 4 热阴极电离真空规管 H o t c a t h o d e v a c u u m g a u g e h e a d 2 0 0 5 - 0 5 - 1 8发布2 0 0 5 - 1 1 - 0 1 实施 中华 人 民 共 和 国 国 家 发 展 和 改革 委 员 会 发布 J B邝 7 4 6 2 -2 0 0 5 目次 前言 - “ . . -. . . - -一 ” 一” . 价 ，.一 ， ，一” :，” ” - . 一 ” 甲一” -. . . . 一 ， m 1 范围， . .“ . . . . . . . . . . . . . . . . . 一一. 一一一. . 一. 一一.一 一:. 1 2 规范性引用文件 . . . . . . . . . . . . ， . . . ， ， 卜 ” . . . 价. ” 一1 3 术语和定义 ， .价，. ， ， . . . . . . . . . . . 一 ， . ， ，. . ， ” . “ ” 一 ” ” ”. .一 1 4 技术要求一价 .， 二 . ， ， ， 价.一. 一 一一. M一 ，一一 1 4 . 1 工作环境， . . . . ， . ， . . . 卜. . . . 卜 ， . 卜. . ， 卜 ，. . . “ 一 ” - 二“. ，. 1 4 . 2 外观 .一 ， .价，. . . . . . . . . .， . 一 一.一 一 一.一:. . . . . . . 2 4 . 3 连接 .价 ， 价 . . . - 卜 . 价 二 . 一一 价 一. 一. 一一一一.一一一 2 4 . 4 漏率，卜 价 ， 一 ， ， . - - ”- 一， . ， 一 价 ， ， ， “ . ， ， ，“ ， 一 甲 ” . . . . . . . . 2 4 . 5 零散性. 价价 一一 价一. .一一一. 一一一. 一一. . 一一 一. 一一， . 价 一一一一 . . . . 2 4 . 6 测量范围. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 一 ， 一 . . 一. . .一. 一一一. . . . . . . . . . . . . 2 4 . 7 收集 极与其他电 极间的电阻 .价 ， 价 . .， . “. . 价 . 一一一. 一一.一 二 ，. . 2 4 . 8 抗运输环境性能价 ” ， 价 ， . ”. . 一 . . . 一一一一. 一一 ， . 一 一一一. 一 一2 5 试验方法 . - . . . . . . . . -. . . . . . . 卜 . . . . . . 价 ， . . . . . . . . 2 6 检验规则 ， ， ”. . .价 . . . . . . . ， ，. . . ， . .价. . 一 3 6 . 1 检验项目二 卜，.”二 价 ”一 ， . . . . .” .” “ ，价一 一一. . . 3 6 . 2 成品 检验， ， ， ， 二， ， ” . ， . ， . . . . 一 ，.甲 -:， 一 ， . “ . - . - . .” 3 6 . 3 交收检验 ， . . . . . . . - .- . .:.“ 价 ， . ”. ” 二 ， - . ” “ . ” ” ” . . . . . . . 3 6 .4 型式检验. ， ， . .， ， 品二 ， . 卜 卜. 卜 . ， . ”一 ，二 ， ， 一价 . 3 7 标志、 包装与贮存 二 ， 一， . . . . . . . . . . . . . . . 价 . . 一一一， ，一. 一 一一一一. . .一一. 一一 . 4 7 . 1 标志 . .一价 ，一 ， .- . . . . . 一 ， .价. . . . . . . ” 价一一一一一 4 7 .2 包装 . ，.， . ， . .， .， 卜，. 甲 “ . ，二 ， ， 二 . . . . . ， . . . . . . . . . 4 7 .3 贮存 二， ， . . . . 一 ， . “ .” . . . . . . . . . . . . . . . ， .， . . . . - . ， 二 ” . . . . . 4 J B/ T 7 4 6 2 -2 0 0 5 前言 本标准代替J B / T 7 4 6 2 -1 9 9 4 热阴 极电离真空规管技术条件) a 本标准与J B / T 7 4 6 2 -1 9 9 4 相比，主要变化如下: 一 一 - 增加了第3 章术语和定义: 增加了裸规的 相关内容; 一 增加并修改了引 用标准: 一一 修改了 规管的工作环境 ( 见4 . 1 ) ; 增加了 裸规的封装要求 ( 见4 .3 . 2 ) ; 修改了 检验规则的内 容 ( 见第6 章) 。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会 ( S A C / T C 1 8 )归口。 本标准负责起草单位:北京大学无线电 工厂。 本标准参加起草单位:成都正华电子仪器有限 公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人:张一江、 罗世敏、 王学智。 本标准所代替标准的 历次发布情况为: -ZBY 29 0- 1 98 4. J B/ T 7 462 - 1 9 940 J B/ T 7 46 2 -2 0 0 5 热阴极电离真空规管 范 围 本标准规定了热阴极电 离真空规管的 技术要求、 试 验方法、 检验规则以 及标志、 包装与贮存等内 容。 本标准适用于中、 高真空及超高真空 ( 限于极限压力不低于 1 0乍a ) 热阴极电离真空规管， 包括 玻璃规管和裸规。( 以下简称规管 ) 。 2 规范性引用文件 下列文件中的 条款通过本标准的引用而成为 本标准的条款。 凡是注日 期的引 用文件， 其随后所有的 修改单 ( 不包括勘误的内容) 或修订版均不适用于本标准， 然而， 鼓励根据本标准达成协议的各方a 究 是否可使用这些文件的 最新版本。凡是不注日 期的 引用文件， 其最新版本适用于本标准。 G B / T 1 9 1 包装储运图示标志 ( G B / T 1 9 1 -2 0 0 0 , e q v I S 0 7 8 0 : 1 9 9 7 ) G B / T 2 8 2 8 . 1 计数抽样检验程序 第 1 部分: 按接收 质量限( I Q L ) 检索的 逐批检验抽样计划( G B / T 2 8 2 8 . 1 - 2 0 0 3, I S O 2 8 5 9 - 1 : 1 9 9 9 , I DT) G B / T 2 8 2 9 周期检查汁数抽样程序及抽样表 ( 适用于生产过程稳定性的 检查) G B / T 3 1 6 3 真空技术 术语 G B / T 6 0 7 1 超高真空法兰 G B / T 1 5 4 6 4 仪器仪表包装 通用技术条件 J B / T 9 3 2 9 仪器仪表运输， 运输贮存基本环境条件及试验方法 3 术语和定义 G B / T 3 1 6 3 确立的以 及下列术语和定义适用于本标准。 3. 1 X射线极限值 X - r a y l i m i t 一种热阴极电离真空计的X射线极限值为与主 要由 离子收集极发射的光电 子产生的 残余电流 所引 起的 相同读数的纯氮压力值。 3. 2 零散性s c a t t e red 规管系 数的偏差。 3. 3 裸规 n u d e g a u g e 一种没 有外壳的 规头，其敏感元件直接插人真空系统。 3. 4 漏率l e a k r a t e s 在规定的条件下， 一种特定气体通过漏孔的 流量，单位为P a · 时 · s - 1 , 4 技术要求 4 . 1 工作环境 规管在下述环境条件下应能正常工作: a )环境温度: 0 _ . 4 0 0 C : J B/ T 7 4 6 2 -2 0 0 5 b ) 相对湿度:成9 0 % ( 2 5 时) e 4 . 2 外观 a ) 玻璃规管外壳应无裂缝或明 显的 气线、气泡等缺陷; b ) 规管内壁与电 极应无污染与明 显的氧化现象; c ) 规管外壳与管基之间的固定应牢固。 4 .3 连接 4 .3 . 1玻 璃 规 管 与 真 空系 统连 接 部 分的 玻 壳 外径 应为 : 户 ( 1 5 .5 士 0 .5 ) m m ; 户 ( 2 5 士 1 ) m m . 4 . 3 . 2 裸规封装结构应符合 G B / T 6 0 7 1 的规定。 4 . 4 漏率 玻 璃 规管 的 漏 率 应 小于1 0 “ P a · m 3 · : 一 ， 。 裸规的 漏率应符合G B / T 6 0 7 1 的规定。 4 . 5 零散性 在 压 力 为 1 0 - ' P a 时 ， 中 、 高 真 空 规 管系 数的 零 散 不超 过1 2 0 % . 超高 真 空 规 管 系 数的 零 散 不 超 过 士3 0 %. 4 .6 测f范围 规管测量范围的上限由 规管非线 性S ' 不超过2 0 % 所对应的 压力 确定: 规管测量范围下限由 规管X 射线极限值 ( P o )的1 0 倍确定。 4 . 7 收集 极与其他电极间的电阻 收 集极与其他电极间的电 阻R 应符合下式: R - 1 0 0 U ,/( S · I . “ 'P l ) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 1 ) 式中: R 收集极与其他电极间的电阻， 单位为0: U V 加 速 极与 收 集 极之 间 的 电 位 差， 单 位为V ; 管系数， 单位为P a - ' ; J e 发射电流，单位为A ; A 下限压力，单位为P a , 4 . 8 抗运输环境性能 规管在包装条件下， 应符合J B / 1 ' 9 3 2 9 的 要求。 其中: 高温试验选用+5 5 C ; 低温试验选用一 4 0 'C ; 跌落高度为2 5 0 m ma 5 试验方法 5 . 1 规管是否符合4 . 2 的 要求， 用目 测来检验。 5 .2 规管同真空系统连接部分是否符合4 . 3 . 1 的 要求，用测量误差 1 9 6 的 外径测量工具检验。 5 .3 对于 玻 璃规 管 在 其 封离 加 工系 统、 存放4 8 h 后， 对 其 检 验 若内 部 压 力 低于1 0 - ' P a ， 则 认 为 符 合4 . 4 的要求。 5 .4 检验规管系数的零散性是否符合4 .5 的要求， 先按下式计算规管系数S : S = I f ( 1 e “ P ) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ( 2 ) 式中: 石 离子流， 单位为A ( 用测量误差 5 % o 的仪表测量) : b 发射电流， 单位为A( 用测量误差 5 % 0 的仪表测量) ; p- 一 压力，单位为P a( 用总不确定度1 0 %的 装置 测量) 。 再按下式计算规管系数的 零散疾 8 = ( S -S o ) I S ,; . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 3 ) J B / T 7 4 6 2 -20 0 5 式中: S ,i- - - 规管系数的标称值。 以 上试验使用气体为纯度不低于9 9 .9 % 的氮气。 5 . 5 检验规管的测量范围 是否符合4 .6 的要求， 在测量压力上限 端， 规管的非线性岁 由下式给出: S ' = IS 一S I/ S . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 4 ) 式中: S 线性范围内 规管系数的平均值。 规管X射线极限值P O 由下式计算: P o = l d ( 7 e . S ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 5 ) 式中: 1 0 刊见 管收 集极电流的最低值，即 规管在比下限 压力低两个数量级的真空系统中， 规管 工作时收 集极电流的最小值。 5 . 6 规管是否符合4 . 7 的要求， 在环境温度: 0 00 4 0 0C 、 相对湿度小于9 0 % 时， 用高阻计测 量收 集极 与其他电 极之间的电 阻值，应符合公式 ( 1 )的 要求。 5 . 7 规管在包装条件下是否符合4 . 8 的要求， 按J B / T 9 3 2 9 所规定的方法进行试验， 试验后规管仍应满 足4 . 2 和4 .4 的要求。 6 检验规则 6 . 1 检验项目 6 . 1 .1 检验项目 分成品检验、 交收检验和型式检验。 6 .1 . 2 产品分全检和抽检两种: a ) 全检指每只规管都需检验的项目， 属于全检的 项目 为4 . 2 , 4 .4 ; b )抽检指从通过全检合格的 规管中任意抽取一定数量所进行检验的 项目， 属于抽检的 项目 为4 .2 , 4 . 4 , 4 . 6 , 4 .7和 4 .8 . 6 .2 成品检验 6 .2 . 1 成品检验由制造厂质量检验部门进行。 6 .2 .2 批量生产的规管， 完成规定数量后， 按全检项目 进行全检时， 如果不符合其中任何一条规定， 则作为废品予以剔除。 6 .2 .3 对全检合格的产品进行抽检时，按 G B /T 2 8 2 8 . 1 规定执行。采用正常检验二次抽样方案，其中， 检查水平为I L - S 一3 ，每百单位产品不合格品数的 合格质量水平为A Q L = 4 .0 0 6 .2 .4 成品检验不合格时， 则该批规管退回 生产车间复验后，再重新提交检验。 6 .2 .5 规管经成品检 验合格，并附产品合格证后方可人库和出厂。 规管自 人库时算起， 超过半年未出 厂者，出厂前应再次交检验部门复验，以确保产品质量。 6 .3 交 收检验 6 .3 .1 当 订货批量多于5 0 0 只时，交收检验在订货方提出 要求时进行。 6 .3 .2 交收检验项目 与6 . 1 . 2 相同。 6 .3 .3 按全检项目 试验时， 每批提交的 规管不符 合全检要求中任何一条规定不超过5 % 者为合格。 验出 的废品予以剔除。 6 .3 . 4 按抽检项目 试验时， 依照G B / T 2 8 2 8 . 1 规定进行。 采用正常检查二次抽样方案， 其中， 检查水平 为 II-=S 一 2 ， 每 百单 位 产品 不合 格 品 数的 合 格 应 满 足 下 述 要 求:质量 水 平 为A Q I r 4 . 0 o 6 .4 型式检验 6 .4 .1 型式检验由 制造厂质量检验部门负责进行。 J B/ T 7 4 6 2 -2 0 0 5 6 . 4 . 2 型式检验按本标准规定的全部技术要求进行检验。 6 . 4 . 3 当出现下列情况之一时， 规管应进行型式检验: a ) 新产品或老产品转厂生产的试制定型鉴定: b ) 正式生产后， 如结构、材料、 工艺有较大改变， 可能影响到产品 性能时; c ) 停产超过一年， 恢复生产时; d ) 成批生产的成品，两年至少进行一次。 6 . 4 . 4 型式检验的样本抽样方法按J B / f 2 8 2 9 规定执行， 不合格质量水平按单位产品 规定， 具体抽样方 法如下: 规管的二次抽样方案为: D L - I I I , R Q I r 4 0 , n l= n z = 6 A , = O , A 2 = 1 , R 1 = R 2 = 2 o 6 . 4 . 5 经过型式检验的产品不作正品出厂。 7 标志、包装与贮存 7 . 1 标志 规管应有下列标志: a ) 制造厂名或商标; b )产品名称和型号; c ) 制造日 期、出厂编号。 7 . 2 包装 7 . 2 . 1 每只规管在包装时应附有产品 说明书和产品合格证。产品说明书应包括如下内容: a ) 制造厂名及厂址; b ) 产品名称和型 号; c ) 产品标准编号; d ) 制造计量器具许可证标志和编号; e )产品外型图及主要尺寸; 0 主要参数; 9 ) 产品电 极接线图; h ) 产品特点和使用要求: i )其他。 7 . 2 . 2 规管包装应符合G B / t 1 5 4 6 4 . G B / 1 ' 1 9 1 有关规定。 7 . 3 贮存 规管应保存在 0 0C - 4 0 的环境中，周围不应有腐蚀性气体。