[国家计量标准]-JJG 729-1991 二等标准动态相对法真空装置检定规程.pdf

中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 7 2 9 -9 1 二等标准动态相对法真空装置 1 9 9 1 年 3 月 1 2日批准1 9 9 1 年 1 0 月 1日实施 国 家 技 术 监 督 局 二等标准动态相对法真空 装置检定规程 Ve r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f Dy n a mi c Re l a t i v e Va c u u m Ap p a r a t u s ( Gr a d e II) 今 峥峥， 今 .命.令 . 令 . 令 、 兮芬 ;J J G 7 2 ， 一 ， 11 气 二 ， ， ， ， ， ， 一 户 本检定规程经国家技术监督局于1 9 9 1 年3 月1 2 日 批准 ，并自 1 9 9 1 年1 0 月1 日 起施行。 归口单位:中国计量科学研究院 起草单位。中国计量科学研究院 本规程技术条文由起草单位负责解释。 本规程主要起草人: 费渭南 周起春 参加起草人: 张家英 赵士燕 ( 中国计量科学 研究院 ， ( 中国计 量科学研究院 ) ( 中国计量科学研究院) ( 中国计a科学研究院) 目录 一概述. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 1 ) 二 技术要求 · · · ， · · · · · · · · · ·· · · ， · · · · ， · · · · · “ · “ · · · · · · · · “ · · ， ， ， · · · · 一( 1 ) 三 检定条件· · · · · · · · ， · · · · · · 。 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·· · · · · · ” · ” · · “ ” ·( 1 ) 四 检 定项目 和 检 定方 法 · · · ” · “ · · · · ， 一， · ， ” · “ ， 一 ， ， 二 。 1 . ( 2 ) 五 检定结果处 理和 检定周期· · · · · · · · · · · · · · · · · · . · . · “ · ” · · “ 一 “ . ( 3 ) 附 录 检 定 结 果 记 录 格 式 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 一 ， . · “ 一 4 ) 打C 7 2 9 -9 1 共4 页 第1 贡 二等标准动态相对法真空装置检定规程 本规程适用于新制 造、 使用中和 修理后的压 力范围为1 0 - s - 1 0 - ' P a 的二等标准动态相对法真空装置 ( 以下简称为装置)的检定。 一概述 该装置纂于气休连续V I 原理，给装置注入一 恒定量的气体，当与 泵速平衡、在校准室内形成均匀而稳定的动平衡压力时，用标准真空 计对被检真空计进行检定. 二技 术 要 求 1 校准室结构应符合下述要求: 1 . 1校准室总容积应大于其上处于工作状态规管总容积的2 0 倍. 1 . 2校准室的形状为球体或高度与内径 之 比为 1 -3的圆柱体. 1 . 3标准 规管和被 检规管的安装，对球状校准室，应在球赤道位 置，对圆 住体校准室，应在约1 / 2 高度的同 一水平面位置. 1 . 4校准室上连接被检规管过渡管道的流导 值，不应小于 被检规 管本身支 管流导值的1 0 倍。 1 . 5校准室内的有效抽速，不应小于所有规管总抽速的 5 0 倍 。 1 . 6为获得动平衡压力所注入的气体，最少与校准室内 壁碰撞一 次后方能进入规管所在位置。 2 装置的本底压力，不应大于装置校准压力下限 值的 2 0 0 . 3 1 m i n 内压力稳定度不大于1 0 0 . 4 装置标准 真空计的示值误差，不大于土 1 0 0 0 . 三检 定 条 件 ( 一)环 境 条 件 到 、 境温度为2 3 士 5 0C ,检定时室温变化不大于土 1 0 C . 相对湿度不人于8 0 0 0 . 共4 责 第2 贡习G 7 2 9 -9 1 7 窒内 不应有明显的 气流 。 8 装置附 近不应有强电、磁 场。 ( 二)检 定 用 设 备 9 工作用超高真空计 工 台。 1 0 数字电压表 ( 0 - 2 0 0 V , 4位半)1 台。 ( 三)校 准 用 气 体 使用纯度不低于9 9 . 9 %的氮气。 四 检定项目 和检定方法 1 1 校 准 室 结 构 的 检 定 ， 采 用 几 何 尺 寸 计 算 和审 核 结 构 设 计 合 理 性的方法，检查是否符含1 条的 要求 。 1 2 本It - 压力的检定，是在校准室上接 1 支超高真空规管，对装 贸的佼准宝 包括上而所有的规管)经过必要的烘烤去气后，在所有 规 管7 7 1, 时 处于正 常工作状态下 ，用 超高真空计测得装里的本底压力， 应满足 2条的要京 1 3 压力稳定度的 检定， 是用带有数显读数的稼准真空计进行测 试 r 装置达到 本底压 力和标准真空计处于正常工作状态后，将装置 分别调节于校准+ ; 力的下限值、 上限值和中间值附近，在三个压力点 上分别 测出它 们的 稳定度。每调到一个压力点，当 装置内屎力 笼本稳 户r ( 时间 不少于5 m i n ) ，由1 m i n内标准真空计的示值变化，反 映装置压力的稳定度。 稳定度 d值由下式进行计算: = 监 S .:a m a i - P - P xna X 1 0 04 0 每个月 . 7 J 点的d 值，均应满足3 条的 要求。 d 的数值中 ，应扣除标准 真空计自 身的变化量。 对于指针式的标准真空计，在测试压力稳定度时，应将真空计 的读数输 出量 转化成电压 值 ，用外接数字电压表进行 稳定性检 定。 x a c i t s - 9 1 共4页第3贡 1 4 装置的标准真空计应具有检定合格证书。 五检定结果处理和检定周期 1 5 经 检定合格的装置发给检定证书;检定不合格的 装置发 给检 定结果通知书。 1 6 装置的检定周期为 5 年。 共4页第4页 J J C 7 2 9 -9 1 附 录 检 定 结 果 记 录 格 式 检定结果 加%Pa% 环境流度. 检定气样: 1 校准室结构: 2 本底压力: 3 压力稳定度. 4 压力校准范围: 5 示值误差: 6 标准真空计 a 名称: b 检定证书号。 c 控制单元型号: d 规管型号: 编号: 编号: