[电子标准]-SJT10479-1994.pdf

SJ 中 华 人 民共 和 国 电 子 行 业 标 准 S J / T 1 0 4 7 9 一9 4 自动砂轮划片机通用技术条件 Ge n e r a l s p e c i f i c a t i o n f o r a u t o m a t i c w h e e l s c r i b i n g m a c h i n e 1 9 9 4 - 0 4 - 1 1 发布 1 9 9 4 - 1 0 - 0 1 实施 中华人民共和国电子工业部发布 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 自动砂轮划片机通用技术条件 S i / T 1 0 4 7 9一9 4 Ge t te r a t s p e c i f i e 时i o n f o r a u t o ma t i c wh e e l s c r i b i n g ma c h i n e 主题 内容与适 用范 围 本标准规定了自动砂轮划片机( 以下简称“ 划片机” ) 的技术要求、 试验方法、 检验规则及标 志、 包装、 运输、 贮存。 本标准适用于切割分离半导体硅片、 石英、 陶瓷等材料的划片机。 2弓1 用标准 G B 1 9 1包装储运图示标志 G B 5 0 8 0 . 7设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试 验方 案 3技术要求 3 . 1 使用条件 划片机在下列使用条件下应能正常工作: a . 温度: 2 2 士 4 1 r ;/ b . 相对湿度: 4 0 %一7 0 %; c . 洁净度: 1 0 0 0 0 0级; d . 供电条件: 2 2 0 V士1 0 %, 5 0 H z 士2 %; e . 供 气条 件: 压缩空气压力0 . 6 MP a ; 真空压力6 6 . 6 k P a ; f . 供水条件: 去离子水压力0 . 2 MP a a 3 . 2 主机精度 3 . 2 . 1 X导轨与 Y导轨的垂直度误差不大于0 . 0 2 5 mma 3 . 2 . 2 空气静压电主轴端面与X导轨的平行度误差不大于0 . 0 0 2 5 mm a 3 . 2 . 3 X, Y导轨与承片台的平行度误差在1 5 0 m m测量范围内不大于0 . 0 1 mm . 3 . 2 . 4 承片台或主轴升降定位误差不大于0 . 0 0 8 m m a 3 . 2 . 5 承片台旋转定位误差不大于9 “ ( 0 . 0 0 2 5 0 ) 0 3 . 2 . 6 Y步进误差不大于 0 . 0 0 5 mm , 累积误差在 1 0 0 mm测量范围内不大于0 . 0 0 8 mm 中 华人民共和国电 子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 1 批准1 9 9 4 - 1 0 - 0 1实施 ST / T 1 0 4 7 9 一9 4 3 . 2 . 7 空气静压电主轴安装砂轮刀处的精度: A . 径向圆跳动0 . 0 0 4 m m; b . 端面圆 跳动0 . 0 0 2 m m ; c . 轴向窜动0 . 0 0 1 m ma 3 . 3 显示屏 一 显示屏左右图像应分中， 并应同 样清晰( 单目 或双目 显微 镜) o 3 . 4 保护开关 各保护开关应工作可靠。 a . 当压缩空气压力小于或等于 0 . 4 6 MP a 时， 其保护开关应能立即自动关断， 主轴停转; b . 当承片台吸片压力小于或等于 1 6 . 6 6 k P a时， 其保护开关应能立即关断， 机器停止动 作; c . 当去离子水冷却液压力小于或等于0 . 0 7 MP a 时， 其保护开关应能立即关断， 机器停 止运行。 3 . 5 空载试验 划片机应进行空载试验。试验后检验主机精度、 显示屏及各保护开关功能。 3 . 6 负载试验 划片机经空载试验后， 方进行负载试验， 检查划片质量。 3 . 7 安全要求 3 . 7 . 1 划片机应有接地措施并有接地标志。 3 . 7 . 2 在测试电压为5 0 0 V时， 电源输入端与机壳之间的绝缘电阻不小于 2 MS l o 3 . 7 . 3 电 源输人端与机壳之间应能承受交流1 5 0 0 V耐压 试验l m i n ， 无击穿或飞弧现象。 3 . 8 结构 3 . 8 . 1 传动应灵活、 平稳， 动作应准确、 协调。 3 . 8 . 2 各固定部位不得有松动现象。 3 . 8 . 3 水、 气管道不允许泄漏。 3 . 9 外观 划片机外观应平整、 光滑， 无划伤痕迹、 无锈蚀现象， 镀涂层不得脱落。 3 . 1 0 噪声 划片 机噪 声声 压级不大于8 0 d B ( A ) o 3 . ”运输试验 划片机包装后， 应进行3 h的运输试验。试验后其结构及精度等不得改变， 通电后应能正 常运转 。 3 . 1 2 可靠性 划片机平均无故障工作时间( MT B F ) 的下限值 ， 应大于5 0 0 h . 4试验方法 4 1 主机精度 4 . 1 . 1 X导轨与 Y导轨的垂直度检查 将1 5 0 m m x 1 5 0 m m方形角尺或专用标准测量板放置在承片台上， 干分表固定于主轴保 护罩上， 角尺的一边与X导轨调平行， 主轴沿Y导轨移动测角尺的另一边。 一2 一 S J / T 1 0 4 7 9 一9 4 4 . 1 . 2 空气静压电 主轴端面与X导 轨的平行度检查 按图 1 ， 将千分表固定在承片台上， 沿X方向移动承片台， 在给空气静压轴承供气时， 测电 主轴安装刀片的最大定位端面。 4 . 1 . 3 X , Y导轨与承片台的平行度检查 按图2 ， 将千分表固定在主轴护罩上， 沿X, Y导轨移动， 在承片台上表而均布9 点处( 周边 均布 8 点及中心点) 进行测量; 将承片台旋转 9 0 0 再测一次。 4 . 1 . 4 承片台 或主轴升降 定位检查 将千分表固定于主轴护罩上， 表头接触承片台于表面圆心附近， 升降承片台或主轴三次， 读出干分表前后两个示值均不大于0 . 0 0 8 m mo 4 . 1 . 5 承片台 旋转定位 检查 将刻有图形的硅片( 或标准图形板) 放置在承片台上， 先对准第一个方向， 将承片台旋转 9 0 0 ， 再对准第二个方向， 并使承片台自动旋转返回第一个方向， 观察其定位误差( 手动旋转定 位不做此项检查) 。 4 . 1 . 6 Y步进误差、 累 积误差检查 用石英玻璃标尺或其它测量仪器测量Y步进误差和累积误差。 4 . 1 . 7 主轴安装砂轮刀处误差检查 用千分表测量空气静压电主轴安装砂轮刀处的误差。 4 . 2 显示屏检查 用目测法检查显示屏图像分中及清晰度( 单 目或双目显微镜) 。 4 . 3 保护开关检查 S J / T 1 0 4 7 9 一9 4 检查各保护开关功能。 当压缩空气压力小于或等于0 . 4 6 MP 。 时， 看其保护开关是否能 自动关断， 主轴是否 停转 ; b . 当承片台吸片压力小于或等于 1 6 . 6 6 k P a 时， 看其保护开关是否能 自动关断， 机器是 否停止动作; c . 当去离子水冷却液压力小于或等于0 . 0 7 M P a 时， 看其保护开关是否能自 动关断， 机 器是否停止运行。 4 . 4 空载试验 4 . 4 . 1 将主轴速度调至3 0 0 0 0 r / m i n ， 连续运转2 h ， 然后在 主轴不 转的 情况下运行2 4 h ( 连续运 行不得少于1 2 h ) . 4 . 4 . 2 试验后， 复查3 . 2 一3 - 4条飞 4 . 5 负载试验 4 . 5 . 卜试 验 茶 祷 应 符 合 3 . 1 条 的 规 定 。 4 . 5 . 2 一 用 0 . 0 2 m m 或0 . 0 2 5 m m 厚的 刀 片 ， 实 划0 7 5 m m 的 硅 片5 片 。 4 . 5 . 3 在标尺显微镜下检查划片质量。划槽宽一般为刀片厚的 1 . 5 倍( 具体要求在产品标准 中规定) 。 46 安全要求检查 4 . 6 . 1 用目测法， 按 3 . 7 . 1条要求进行检查。 4 . 6 . 2 断开计算机系统， 用5 0 0 V兆欧表测量电源 输人端与机壳之间的绝缘电 阻。 4 . 6 . 3 用额定容量不小于5 0 0 VA的高压试验台， 在电源输入端与机壳之间施加 1 5 0 0 V电压， 持续时间1 m i n ， 检查应无击穿或飞弧现象( 检查过程中应断开 s o v以下的低压电路) 。 4 . 7 结构检查 4 . 7 . 1 按3 . 8 . 1 和 3 . 8 . 2 条要求， 手动检查。 4 . 7 . 2 水管道用目测观查法进行检查。在气体管道各接头处涂肥皂水， 检查气体管道; 在 0 . 6 MP a 供气条件下， 通气 3 min内不得有汽泡出现。 4 . 8 外观检查 用目测法进行外观质量检查。 4 . 9 噪声试验 划片机在试验过程中， 用精度为 2 d B的声级计， 在划片机正前方 l m、 高出地面 1 . 5 m处， 测量噪声声压级( A计权) 。 4 . 1 0 运输试验 划片机包装后， 在汽车模拟运输试验台上进行运输试验 3 h 。试验后， 检查包装箱及设备 的外观及各连接部分， 再通电检查应能正常运转。 4 . 1 1 可靠性试验 划片机应进行可靠性验证试验。 划片机平均无故障工作时间按 G B 5 0 8 0 . 7第5章规定的定时( 定数) 截尾试验方案 5 : 7 进 行: a 为2 0 %; p 为2 0 %; D m 为3 ; 截尾时间 为1 . 4 6 m o ; 截尾失效数 为3 . 5 检验规则 4 S J / T 1 0 4 7 9 -9 4 检验分类 划片 机的检验， 由 制造厂质量检验部门进 行。检验分为定型 检验、 交收检验和例行检验。 1 定型检验 凡属下列情况之一者， 应进行定型检验: a . 新产品设计定型和生产定型时; b . 老产品改进设计后定型时; c . 产品停产三年以上又恢复生产时。 2 交收检验 交收检验适用于正常生产过程中。 3 例行检验 有下列情况之一时， 应进行例行检验: 二连续正常生产两年或累计生产一定数量( 如 2 0台) 时; b . 产品停产超过两年， 不足三年又恢复生产时。 检验项目 各类检验的检验项目见下表。 序号项目名称 技术要求 条号 试 脸方法 条号 定型 检验 交收 检脸 例行 检验 1 主机精度 3. 24. 1了 丫侧 2 显示屏 3. 34. 2侧侧 甲 3 保护开关 3. 44. 3丫侧喇 4空载试验3. 54. 4丫侧喇 5负载试验3. 64. 5了了侧 6 安全要求 3. 7. 14. 6. 1侧侧侧 3. 7 . 24. 6. 2甲喇甲 3 . 7 . 34. 6 . 3丫丫了 7 结构3 . 84. 7侧训侧 8外观3. 94. 8了侧侧 9噪声3. 1 04. 9丫侧 1 0 运输试验3. 1 14. 1 0丫 1 1 可靠性3. 1 24. 1 1丫 注: “ 侧” 表示进行检验项目。 5 . 3 抽样规则 5 . 3 . 1 定型检验样机不少于2 台。 5 . 3 . 2 交收检验应逐台进行。 5 . 3 . 3 从交收检验合格的产品中， 按一批产量的 1 0 %( 不少于 2台) 随机抽样， 进行例行检 验。 5 . 4 判定规则 S J / T 1 0 4 7 9 -9 4 5 . 4 . 1 定型检验所有受检项目必须全部合格， 才能判定定型检验产品合格。 5 . 4 . 2 交收检验出现不合格项目时， 允许返修后重新检验; 返修次数不得超过两次。若出现 不可修复项目， 则判为不合格品。 54 . 3 当例行检验出现不合格项目时， 应加倍抽样， 重新检验。若仍不合格， 应停止检验， 并 将已 验收 而未出厂的产品 退回 车间， 待查明原因， 采取改进措施后重新检验。 6 标志、 包 装、 运输、 贮存 6 . 1 标志 6 . 1 . 1 产品标志 产品标牌应具有下列内容: a . 制造厂名; b . 产品型号; c . 产品名称; d. 商标 ; e . 出厂编号; r . 制造日期。 6 . 1 . 2 包装标志 包装箱外壁应有符合 G B 1 9 1 规定的“ 小心轻放” 、 “ 向上” 、 “ 怕湿” 、 “ 重心点” 和“ 由此吊 起” 等标志， 并注明毛重和外 形尺寸( 长x 宽x 高) 。 6. 2包装 6 . 2 . 1 划片 机装箱前应清洗千净。 6 . 2 . 2 采用木箱包装， 机件应可靠地固定， 并采取防潮措施。 6 . 2 . 3 装箱单、 产品合格证、 产品使用说明书等随机文件， 用塑料袋封装后装入包装箱内。 6 . 3 运输 划片机在起吊、 搬运和运输过程中， 严禁撞击、 跌落和翻滚。 6 . 4 贮存 划片机装箱后应贮存在环境温度一5 -4 0 t， 相对湿度不大于 7 5 %的通风、 清洁、 无腐蚀 气体的仓库内。贮存期间每半年抽查一次， 一年全面检查一次。 附加说明: 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准由西北机器厂负责起草。 本标准主要起草人: 赵伟凡、 王锁宏、 许月兰。