JJ.国家计量标准-JJG 661-2004 平面等倾干涉仪.pdf
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1、中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 平 面 等 倾 干 涉 仪 F l a t n e s s I n t e r f e r o me t e r w i t h I s o c l i n i c C i r c l e F r i n g e 2 0 0 4一 0 9 一 2 1 发布2 0 0 5 一0 3 一2 1 实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发布 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 J JG 6 61 - 2 0 04 飞.。户,. 平面等倾干涉仪检定规程 ; J J G 6 6 1 - 2 0 0 4 V e r
2、 i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f F l a t n e s s I n t e r f e r o me t e r w i t h I s o c l i n i c C i r c l e F r i n g e 代 替J J G 6 6 1 - 1 9 9 0 、. , 二, _ ,_ _ _ . o. , . o. , . o. , . o. o. 。护 本规程经 国家质量监督检验检疫总局于 2 0 0 4 年 0 9 月 2 1日批准 ,并 自 2 0 0 5 年 0 3 月 2 1日 施行。 归 口 单 位 :全国几何量工程参量
3、计量技术委员会 起 草 单 位 :中国测试技术研究院 本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 J dG 6 61 - 2 0 0 4 本规程起草人 : 冉庆( 中国测试技术研究院) 陈永康( 中国测试技术研究院) 张成梯( 中国测试技术研究院) 曹箭 中国测试技术研究院) 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 J JG 6 61 - 2 00 4 目录 1 范围 ( 1 ) 2 引用文献 ( 1 ) 3 概述 ( 1 ) 4 计量性能要求 。 ( 1 ) 4 . 1 测微目镜的示值误差极差及回程误差 ( 1 ) 4 . 2 工作台移动的直线
4、度 。 。 ( 2) 4 . 3 工作台移动的示值误差及回程误差 ( 2) 4 . 4 钢球支架的工作性能 ( 2) 4 . 5 标准干涉环直径测量的标准偏差 ( 2) 4 . 6 干涉环小数干涉级测量的重复性 ( 2) 5 通用技术要求 ( 3) 5 . 1 外观 ( 3) 5 . 2 各部分相互作用 。 。 ( 3 ) 6 计量器具控制 。 ( 3) 6 . 1 检定条件 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
5、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 3) 6 . 2 检定项目 ( 4) 6 . 3 检定方法 ( 4 ) 6 . 4检定结果的处理 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 6 ) 附录 A 等倾干涉仪测量平面度测量结果的不确定度评定
6、( 7 ) 附录 B 检定证书和检定结果通知书内页格式 ( 1 0 ) 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等倾干涉仪检定规程 范围 本规程适用于平面等倾干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。 2引用文献 J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用计量术语及定义 J J F 1 0 5 9 -1 9 9 9 测量不确定度评定与表示 J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 测量仪器特性评定 使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3 概述 平面等倾干涉仪是一种用于平面量值传递的标准计量器具,主要用于检定尺寸较大 的
7、平晶、各种尺寸的长平晶和标准平尺等的平面度。 仪器工作原理如图 1 所示。 图 1 工作原理图 1 一平晶;z -球支承;3 一平晶;4 - ( 半)反射镜;5 -侧微鼓轮;6 一观察者;7 一目镜组; 8 一分划板;9 一成像物镜;1 11- ( 半)反光镜;1 1 一聚光物镜;1 2 一光阑:1 3 一钠灯 4计f性 能要求 4 . 1 测微 目镜的示值误差极差及回程误差 不大于表 1 的规定。 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 J JG 66 1 - 20 0 4 表 1 测微 目镜 示值 误差极差及 回程误差 检定类别 首次检定 后续检定 任意 l m m内的示值误差全程 8 m
8、m内的示值误差回程误差 0. 0 0 5 mm 0. 01 0.m 0. 0 0 5mm 4 . 2 工作台移动的 直线度 4 . 2 . 1 在水平面内直线度在任意 3 0 0 m m内应不超过 0 . 0 2 m m ;使用中和修理后的允许达 到 0 . 0 4 m m o 4 . 2 . 2 工作台移动时的扭摆及旋转时的摆动在目镜 内观察 ,干涉环中心不得有目力可 见的偏 移。 4 . 3 工作台移动的示值误差及回程误差 不超过表 2 的规定。 表 2工作 台移动的示值误差及 回程误差 4 . 4 钢球支架的工作性能 每个形成平行空气层的支架在放上相应的平晶或长平晶时,在目 镜视场内 应
9、有清晰 的千涉环图像。当移动工作台时,从一端至另一端,其干涉环直径变化应不超过 1 个干 涉级数 。 对于平晶支承架,至少应有一个直径方向满足上述要求,在另外两个直径方向允许 达到 5 个干涉级数。 对于长平晶支架,用转台回转时,其干涉直径变化应不超过 0 . 5 个干涉级数。 4 . 5 标准干涉环直径测量的标准偏差 仪器应对每种支承间隙的支承架给出标准干涉环直径的值,其三倍标准偏差应不超 过O . O l m m o 4 . 6 干涉环小数干涉级测量的重复性 根据干涉直径测量的结果按式 ( 1 )求出其干涉级数。 I D, 1 z O K ; = l D) 干 N ; ( 1 ) 式中:
10、A K ; -i 点的 干涉级数; D , i 点所测干涉环直径飞 2 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 JJ G 66 1 - 20 0 4 D o 标准干涉环直径,当干涉环级数为整数时最里环的直径; N : -i 点被测千涉环的级序,在0级环内为正,在 0 级环外为负。 干涉环测量的重复性应小于0 . 0 2 5个干涉级数。 5 通用技术要求 5 . 1 外观 5 . 1 . 1 仪器工作面不应有划痕、碰伤、斑点、锈蚀。非工作面不应有毛刺、脱漆或镀 层脱落等外观缺陷。 5 . 1 . 2 仪器上应有制造厂名或厂标、出 厂编号及应】 标志。 5 . 1 . 3 后续检定的仪器允许有不影
11、响测量准确度的外观缺陷。 5 . 2 各部分相互作用 5 . 2 . 1 测微 目 镜的鼓轮转动应平稳,无卡住和擦碰现象,其移动范围应不小于 8 m m o 5 . 2 . 2 目镜调焦时应平稳可靠 ,其视场内的干涉环数应不少于 3 个整环 ( 包括透射照 明在内) ,且应无其他杂乱干涉花样,不得有影响测量的灰尘、污物及霉点等。 5 . 2 . 3 通过目 镜应容易地看清楚分划板上的十字刻线,当移动分划板时, 其十字刻线 的清晰程度不得有目力可见的变化,十字刻线不得有明显的弯曲。 5. 2. 4 5 0 0 mmo 5. 2. 5 工作台的纵向运动和回转运动应平稳,无卡住和爬行现象。纵向行程应
12、大于 手轮的刻度盘应能平稳地调节 , 且无卡住和松动现象。 6计且器具控 制 包括首次检定 、后续检定和使用中检验。 6 . 1 检定条件 6 . 1 . 1 放置平面等倾干涉仪的仪器室温应为 ( 2 0 t 5 ) 9 C o 6 . 1 . 2 在检定 4 . 5 , 4 . 6 两项时,室温在 2 4 h 内的变化量应小于 1 c ;在 1 h内的变化量 应小于0 . 1 9 C . 6 . 1 . 3 检定 “ 1 5 0 m m平晶及 2 1 0 m m长平晶时,在室内放置时间应不少于 2 4 h 及 1 0 h ,并 在检定前将平晶及长平晶放在仪器箱内安装调整后等温 l h o 6
13、 . 1 . 4 检定用标准器及其他检定设备见表 3 0 表 3检定用标 准器及 其他检定设备 检定 用设备测量范 围 技术要求 百分表 ( 0一 5 ) m m 0级 MPE: 0. 01 2mm 研磨 平尺3 0 0mm 平面度:0 M 0 4 m m 平 晶0 1 5 0 或 2 1 0 m m长平晶一级 标准玻璃刻尺( 0 一 3 0 0 ) m m或 ( 0 一5 0 0 ) m m示值误差:0 . 0 3 m m 万能工具显微镜( 0 一 2 0 0 ) m mM P E : ( 1 +L 1 1 田)p m 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 . 1 . 1 G 6 61 -
14、 2 00 4 6 . 2 检定项 目 平面等倾干涉仪首次检定 、后续检定和使用中的检定项 目 列于表4 0 表 4检定项 目 序号检定项 目主要检定设备 首次检定后续检定使用中检验 1 外观 十十+ 2 各部分相互作用 + + 3测微目镜的示值误差及回程误差工具显微镜 十 + 4 工作台移动的直线度 研磨 平尺 十 5 工作台移动的示值误差及回程误差标准玻璃刻尺 + 6 钢球支承架的工作性能平晶或长平晶 + + 7 标准干涉环直径测量的标准偏差平晶或长平晶 + 8 干涉环小数级测量的重复性平晶或长平晶 十+十 注:表中 “ +”表示应检项 目,“ 一”表示可不检项 目。 6 . 3 检定方法
15、 6 . 3 . 1 外观 目力观察 。 6 . 3 . 2 各部分相互作用 观察和试验。 6 . 3 . 3 测微目镜的示值误差及回程误差 6 . 3 . 3 . 1 测微目镜的示值误差在万能工具显微镜上进行检定。先将测微 目镜从仪器上 取下,旋下目镜头,然后安装在万能工具显微镜的玻璃台上。调整工作台使分划板上十 字刻线的运动方向与万能工具显微镜工作台移动方向平行,然后将测微鼓轮对零,再移 动万能工具显微镜的工作台, 使十字刻线的中心与显微镜的 米字刻线中心重合, 并在万 能工具显微镜相应的读数机构读出零位读数。然后将测微鼓轮依次在 1 , 2 , 3 , 3 . 5 , 3 . 7 5 ,
16、 4 , 4 . 2 5 , 4 . 5 , 5 , 6 , 7 , 8 二 等点上, 用米字刻线对准并读数。 每个读数减去零 位读数即为该点的实际值,测微鼓轮上的测得值与实际值之差即为该点的示值误差。所 有各点应在同一行程方向进行检定。全程 ( 8 m m )内或任意 I m m内的示值误差应以该 范围内的最大误差与最小误差之差确定。其大小应不超过表 1 的规定。 6 . 3 . 3 . 2 测微目镜的回程误差在示值误差检定后仍在万能工具显微镜上检定,只在测 微鼓轮的两端和中间 3 个位置检定。在同一点上正、反两面个方向各转动测微鼓轮 5 次,取 5 次读数平均值之差即为该点的回程误差。最大
17、回程误差应不超过表 1 的规定。 6 . 3 . 4 工 作台移动的 直线度 在工作台上放一尺寸 3 0 0 m m的研磨平尺,且与工作台运动方向平行,用磁性表架 上的百分表与工作面接触,对好零位 ,工作台从一端移至另一端,在百分表读出最大示 值与最小示值,最大示值与最小示值之差为直线度。在全行程范围内检定。上述检定结 标准搜搜网 各类标准行业资料免费下载 J . 1 G 6 61 - 2 00 4 果应不大于4 . 2 中的要求。 工作台移动的扭摆和回转运动的摆动是通过目镜观察干涉环中心的位置变化来确定 的,干涉环中心的位置不允许有 目力可见的变化。 6 . 3 . 5 工作台移动的示值误
18、差及回程误差 6 . 3 . 5 . 1 将尺寸等于 5 0 0 m m的钢直尺或 3 0 0 m m的玻璃标尺放在工作台上,取下测微 目 镜,接上接长管,调整测微 目 镜的位置,在视场内能清晰看到刻度尺上的刻线;调整刻 度尺使其刻线末端连线与工作台运动方向平行 ; 调整工作台位置和测微 目镜分划板,使 刻度尺零刻线与目镜分划板上的十字线重合,再将手轮的 l O m m指示盘及 0 . 1 m m指示盘 的零线都与指标线对准,然后每隔 5 0 m m用测微 目镜对准,从手轮上读数,读数值与实 际值之差即为该点的示值误差。对于 3 0 0 m m的玻璃标尺在检完 3 0 0 m m后,可在 3
19、0 0 m m 位置上把刻度尺移 3 0 0 m m,并使零刻线与分划板上的十字对准,依次再检2 0 0 m m o 6 . 3 . 5 . 2 回程误差是在工作台的中间及距两边各 1 5 0 m m处的三个位置上进行检定。正 反两个方向转动手轮,对准同一刻线时手轮上的读数差即为回程误差。 6 . 3 . 6 钢球支承架的工作性能 6 . 3 . 6 . 1 按检定平晶和长平晶的要求放置平晶或长平晶及其支架,分别移动和转动工 作台,并观察干级数的变化。干涉环的清晰度不得有 目力可见的变化。 6 . 3 . 7 标准干涉环直径测量的标准偏差 每一种钢球尺寸的支承架按6 . 3 . 6 条安装,
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