光电导探测器.ppt
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1、第四章 光电导探测器光电子技术1.1.定义定义光照变化引起半导体材料电导变化的现象称光光照变化引起半导体材料电导变化的现象称光电导效应。电导效应。(内光电效应,(内光电效应,photoconductive PCphotoconductive PC)当光照射到半导体材料时,材料吸收光子的能当光照射到半导体材料时,材料吸收光子的能量,引起载流子浓度增大,因而导致材料电导量,引起载流子浓度增大,因而导致材料电导率增大。率增大。电导率的改变通过电量测量来获得。电导率的改变通过电量测量来获得。4-1 4-1 光电导探测器的工作原理光电导探测器的工作原理一、光一、光电导效应电导效应-光电导器件工作的物理基
2、础光电导器件工作的物理基础存在于大多数半导体中,金属中不存在(大量自由电子)存在于大多数半导体中,金属中不存在(大量自由电子)2 2半导体的暗电导率半导体的暗电导率 半导体的电导率定义半导体的电导率定义 暗电导暗电导无光照的电导无光照的电导3 3光辐射改变半导体的电导率光辐射改变半导体的电导率光子光子激发(电激发(电-空对)空对)产生载流子增量产生载流子增量nnPP光生载流子光生载流子光激发光激发 nP gnP g1 1)本征光电导)本征光电导价带价带导带导带电子电子空穴空穴Eg只有光子能量只有光子能量h h 大于材料禁带宽度大于材料禁带宽度E Eg g 的入射光才能的入射光才能激发出电子空穴
3、对,使材料产生光电导效应的现象激发出电子空穴对,使材料产生光电导效应的现象故探测器能吸收光波长为故探测器能吸收光波长为为截止波长为截止波长 2 2)非本征光电导)非本征光电导价带价带导带导带电子电子空穴空穴i施主施主价带价带导带导带电子电子空穴空穴i受主受主杂质型光电导效应:对于型半导体,当入射光子的杂质型光电导效应:对于型半导体,当入射光子的能量等于或大于杂质电离能能量等于或大于杂质电离能i i时,将施主能级上时,将施主能级上的电子激发到导带而成为导电电子,在外电场的作用的电子激发到导带而成为导电电子,在外电场的作用下,形成光电流。下,形成光电流。本征型用于可见光长波段本征型用于可见光长波段
4、杂质型用于红外波段。杂质型用于红外波段。4 4光电导计算光电导计算AlAl体积体积n n寿命寿命NN每秒产生的电子空穴对数每秒产生的电子空穴对数光电导光电导5 5光电导电流增益(光电导电流增益(G G)定义定义 其中其中长度为长度为L L的光电导体在两端加上电压的光电导体在两端加上电压V V后,由光照产后,由光照产生的载流子在电场作用下在输出回路形成的光电流生的载流子在电场作用下在输出回路形成的光电流与光生载流子在内部形成的初生光电流之比与光生载流子在内部形成的初生光电流之比6.6.光电导弛豫过程光电导弛豫过程光电导材料从光照开始到获得稳定的光电流是要光电导材料从光照开始到获得稳定的光电流是
5、要经过一定时间的。同样光照停止后光电流也是逐经过一定时间的。同样光照停止后光电流也是逐渐消失的。这些现象称为渐消失的。这些现象称为弛豫过程弛豫过程或或惰性惰性。对光电导体受矩形脉冲光照时,常有上升时间常对光电导体受矩形脉冲光照时,常有上升时间常数数r r和下降时间常数和下降时间常数f f来描述弛豫过程的长短。来描述弛豫过程的长短。r r表示光生载流子浓度从零增长到稳态值表示光生载流子浓度从零增长到稳态值63%63%时时所需的时间,所需的时间,f f表示从停光前稳态值衰减到表示从停光前稳态值衰减到37%37%时所需的时间。时所需的时间。6.6.光电导弛豫过程光电导弛豫过程弛豫特性限制了器件对调制
6、频率高的光功率的响应弛豫特性限制了器件对调制频率高的光功率的响应 7.7.光电导的光谱分布光电导的光谱分布 利利用用具具有有光光电电导导效效应应的的材材料料(如如硅硅、锗锗等等本本征征半半导导体体与与杂杂质质半半导导体体,硫硫化化镉镉、硒硒化化镉镉、氧氧化化铅铅等等)可可以以制制成成电电导导随随入入射射光光度度量量变变化化器器件件,称称为为光光电电导导器器件件或或光光敏敏电电阻阻。根根据据半半导导体体材材料料的的分分类类,将将光光敏敏电电阻阻分分为为两两种种类类型型本征型半导体光敏电阻和掺杂型半导体光敏电阻。本征型半导体光敏电阻和掺杂型半导体光敏电阻。二、光二、光电导探测器电导探测器1 1、本
7、征型半导体光敏电阻、本征型半导体光敏电阻只有当入射光子的能量只有当入射光子的能量h h 等于或大于半导体材料的禁带宽度等于或大于半导体材料的禁带宽度E Eg g时才能激发时才能激发电子空穴对,在外加的电场作用下形成光电流。这种本征光电导效应可用电子空穴对,在外加的电场作用下形成光电流。这种本征光电导效应可用来检测可见光和近红外辐射。来检测可见光和近红外辐射。2 2、掺杂型半导体光敏电阻、掺杂型半导体光敏电阻如如n n型半导体,光子的能量只要大于杂质的电离能就能把施主杂质能级上型半导体,光子的能量只要大于杂质的电离能就能把施主杂质能级上的的电子激发到导带而形成导电电子,在外加电场的作用下形成光电
8、流。的的电子激发到导带而形成导电电子,在外加电场的作用下形成光电流。这种效应可以检测波长较长的辐射。主要用于超过这种效应可以检测波长较长的辐射。主要用于超过5 5微米的波段。微米的波段。光敏电阻具有体积小,坚固耐用,价格低廉,光谱响应光敏电阻具有体积小,坚固耐用,价格低廉,光谱响应范围宽等优点。范围宽等优点。三、光三、光电导探测器的工作原理电导探测器的工作原理 下图所示为光敏电阻的原理图与光敏电阻的符号,在下图所示为光敏电阻的原理图与光敏电阻的符号,在均匀的具有光电导效应的半导体材料的两端加上电极便构均匀的具有光电导效应的半导体材料的两端加上电极便构成光敏电阻。成光敏电阻。光照光照电极电极入射
9、光入射光1.1.光电导探测器的光电流光电导探测器的光电流n n n n型半导体光敏电阻型半导体光敏电阻型半导体光敏电阻型半导体光敏电阻V V V VA A A A为外加偏压为外加偏压为外加偏压为外加偏压,R,R,R,RL L L L为负载电阻为负载电阻为负载电阻为负载电阻设入射的光功率为设入射的光功率为设入射的光功率为设入射的光功率为漂移面电流密度漂移面电流密度漂移面电流密度漂移面电流密度漂移速度漂移速度漂移速度漂移速度 v=v=v=v=n n n nE=E=E=E=n n n nV V V VA A A A/L/L/L/L光电导探测器输出的总光电流光电导探测器输出的总光电流光电导探测器输出的
10、总光电流光电导探测器输出的总光电流光电导探测器在高为光电导探测器在高为光电导探测器在高为光电导探测器在高为dxdxdxdx的长方体微元每秒钟单位体积产生的光的长方体微元每秒钟单位体积产生的光的长方体微元每秒钟单位体积产生的光的长方体微元每秒钟单位体积产生的光生自由电子数生自由电子数生自由电子数生自由电子数产生率产生率产生率产生率n n n n型半导体光敏电阻自由电子的寿命型半导体光敏电阻自由电子的寿命型半导体光敏电阻自由电子的寿命型半导体光敏电阻自由电子的寿命0 0 0 0复合率复合率复合率复合率稳态后稳态后稳态后稳态后,产生率产生率产生率产生率=复合率复合率复合率复合率令有效量子效率令有效量
11、子效率令有效量子效率令有效量子效率光电导探测器内增益光电导探测器内增益等于载流子平均寿命等于载流子平均寿命0与载与载流子在探测器两极间的渡越时间流子在探测器两极间的渡越时间d之比。之比。G=1,G=1,G=1,G=1,0 0 0 0=d d d d,每产生一个光电子对外回路电流正好提每产生一个光电子对外回路电流正好提每产生一个光电子对外回路电流正好提每产生一个光电子对外回路电流正好提供一个电子的电荷量供一个电子的电荷量供一个电子的电荷量供一个电子的电荷量e e e e。G1,G1,G1,G1,0 0 0 01,G1,G1,G1,0 0 0 0d d d d,每产生一个光电子对外回路电流的贡献每
12、产生一个光电子对外回路电流的贡献每产生一个光电子对外回路电流的贡献每产生一个光电子对外回路电流的贡献大于一个电子的电荷量大于一个电子的电荷量大于一个电子的电荷量大于一个电子的电荷量e e e e。光敏电阻两端加电压(直流或交流)。无光照光敏电阻两端加电压(直流或交流)。无光照时,阻值(时,阻值(暗电阻暗电阻)很大,电流()很大,电流(暗电流暗电流)很)很小;光照时,光生载流子迅速增加,阻值(小;光照时,光生载流子迅速增加,阻值(亮亮电阻电阻)急剧减少。在外场作用下,光生载流子)急剧减少。在外场作用下,光生载流子沿一定方向运动,形成光电流(沿一定方向运动,形成光电流(亮电流亮电流)。)。2.2.
13、光电导探测器的工作模式及等效电路光电导探测器的工作模式及等效电路光电导:亮电导和暗电导之差;光电导:亮电导和暗电导之差;g g光光=g gL L-g gd d光电流:亮电流和暗电流之差;光电流:亮电流和暗电流之差;I I光光=I=IL L-I-Id d2.1 2.1 基本偏置电路基本偏置电路 设在某照度设在某照度E Ev v下,光敏电阻的阻值为下,光敏电阻的阻值为R Rd d,电导为,电导为g g,流,流过负载电阻过负载电阻R RL L的电流为的电流为I IL L 用微变量表示用微变量表示 而,dRdRd d=d(1/g)=(-1/g=d(1/g)=(-1/g2 2)dg)dg dg=Idg=
14、Ip p/u u0 0 因此 RLRdVA 加在光敏电阻上的电压为加在光敏电阻上的电压为Rd与与RL对电压对电压VA的分压,的分压,即即U0=Rd/(Rd+RL)UA,因此,流过负载电阻的电流微因此,流过负载电阻的电流微变量与光电流的关系为变量与光电流的关系为 Ip pR Rd dR RL L直流微变等效电路直流微变等效电路 du0 0探测器上的偏置电压与探测器上的偏置电压与Rd无关无关U U0 0=V=VA A,基本恒定基本恒定,流过流过R RL L输出的电流信号为输出的电流信号为2.2 2.2 短路电流短路电流I ISCSC 恒压偏置电路恒压偏置电路(R(RL LRRRd d)工作过程中流
15、过探测器的电流基本恒定工作过程中流过探测器的电流基本恒定,I IL L=V=VA A/R/RL L+R+Rd d,输出的电压信号输出的电压信号输出电压输出电压 R Rd d=R=RL L即为负载匹配工作状态的工作条件即为负载匹配工作状态的工作条件 2.4 2.4 负载匹配时探测器输出电压负载匹配时探测器输出电压 4-2 4-2 光电导探测器的性能参数光电导探测器的性能参数G Gn n称为光电导探测器中电子增益系数称为光电导探测器中电子增益系数G Gp p称为光电导探测器中空穴增益系数称为光电导探测器中空穴增益系数长度为长度为L L的光电导体在两端加上电压的光电导体在两端加上电压V V后,由光照
16、产后,由光照产生的载流子在电场作用下在输出回路形成的光电流生的载流子在电场作用下在输出回路形成的光电流与光生载流子在内部形成的初生光电流之比与光生载流子在内部形成的初生光电流之比一、光电导电流增益(一、光电导电流增益(G G)定义定义 在半导体中在半导体中,电子和空穴的寿命是相同的电子和空穴的寿命是相同的总的光电导增益总的光电导增益G G为为令令t tdrdr为载流子渡越极间距离为载流子渡越极间距离L L所需要的有效渡越时间所需要的有效渡越时间增益、带宽矛盾增益、带宽矛盾光敏电阻结构光敏电阻结构一块半导体材料两端加上电极,两端面接上电极引一块半导体材料两端加上电极,两端面接上电极引线,封装在带
17、有窗口的金属或塑料外壳内线,封装在带有窗口的金属或塑料外壳内 光敏电阻的光敏电阻的基本结构基本结构 梳状电极梳状电极 -光敏光敏面做成蛇形(较大面做成蛇形(较大的受光表面,减小的受光表面,减小电极之间的距离电极之间的距离-减小载流子的有减小载流子的有效极间渡越时间,效极间渡越时间,提高灵敏度)提高灵敏度)二、光二、光电导探测器的噪声电导探测器的噪声光敏电阻的主要噪声光敏电阻的主要噪声有热噪声、产生复合有热噪声、产生复合和低频噪声和低频噪声(或称或称1/f1/f噪声噪声)。电流灵敏度电流灵敏度三、响应率三、响应率电压灵敏度电压灵敏度光敏电阻的光电导灵敏度光敏电阻的光电导灵敏度g gp p-光敏电
18、阻的光电导(西门子光敏电阻的光电导(西门子S S,-1-1)E E-照度(勒克斯照度(勒克斯lxlx)SgSg-S/lx S/lx(S.mS.m2 2/W/W)光电特性光电特性图为硫化镉光敏电阻的光电图为硫化镉光敏电阻的光电特性。特性。强光照射时,光电特性为非强光照射时,光电特性为非线性。线性。在实用范围内,有如下关系:在实用范围内,有如下关系:式中式中 I p光电流;光电流;U 加于光敏电阻的电压;加于光敏电阻的电压;E光敏电阻上的照度;光敏电阻上的照度;K 材料决定的比例系数;材料决定的比例系数;a 电压指数,一般近于电压指数,一般近于1;b 照度指数。照度指数。IpKU a E b弱光时
19、弱光时,b=1,b=1-光电流与光光电流与光照度的线性关系照度的线性关系四、光谱四、光谱特性特性-相对电流灵敏度与波长的关系曲线相对电流灵敏度与波长的关系曲线-灵敏度范围、峰值波长位置、各波长下灵敏度的相对关系灵敏度范围、峰值波长位置、各波长下灵敏度的相对关系整个可见光区域整个可见光区域峰值波长:峰值波长:515515600nm600nm-与人眼有关的仪器与人眼有关的仪器(照相机、照度计、光度计)(照相机、照度计、光度计)五、温度特性五、温度特性光敏电阻的性质受温度的影响较光敏电阻的性质受温度的影响较大,随着温度的升高灵敏度要下大,随着温度的升高灵敏度要下降。图示硫化镉的光电流与温度降。图示硫
20、化镉的光电流与温度的关系。不同的材料其温度特性的关系。不同的材料其温度特性也不一样也不一样温度升高,光敏电阻在黑暗时的温度升高,光敏电阻在黑暗时的电流增大,导致在光照时电流增电流增大,导致在光照时电流增加不多,则加不多,则I I 减小,灵敏度降低减小,灵敏度降低温度还影响光谱特性、峰值响应温度还影响光谱特性、峰值响应波长等等一些因素。波长等等一些因素。六、频率响应及响应时间六、频率响应及响应时间-非平衡载流子的产生与复合有一个时间过程(影响非平衡载流子的产生与复合有一个时间过程(影响光敏电阻对变化光照的响应)光敏电阻对变化光照的响应)-频率响应频率响应R R0 0-器件在零频时的响应度;器件在
21、零频时的响应度;=2=2 f f为信号的调制圆频率;为信号的调制圆频率;f为调制频率;为调制频率;为响应时间为响应时间相对输出随光调制频率的增加而减小相对输出随光调制频率的增加而减小七、前历效应七、前历效应 中态前历效应数值越小越好。中态前历效应数值越小越好。中态前历效应数值越小越好。中态前历效应数值越小越好。前历效应分为短态前历效应和中态前历效应前历效应分为短态前历效应和中态前历效应前历效应分为短态前历效应和中态前历效应前历效应分为短态前历效应和中态前历效应 短态前历效应数值越大短态前历效应数值越大短态前历效应数值越大短态前历效应数值越大,灵敏度越高灵敏度越高灵敏度越高灵敏度越高;通常在黑暗
22、中放置的时通常在黑暗中放置的时通常在黑暗中放置的时通常在黑暗中放置的时间越短间越短间越短间越短,短态前历效应越显著。短态前历效应越显著。短态前历效应越显著。短态前历效应越显著。光敏电阻的使用要点光敏电阻的使用要点 用于模拟量时,只有在弱光照射下光电流与入用于模拟量时,只有在弱光照射下光电流与入射辐射通量成线性关系射辐射通量成线性关系 用于光度量测试仪器时,必须对光谱特性曲线进用于光度量测试仪器时,必须对光谱特性曲线进行修正,保证其与人眼的光谱光视效率曲线相符合行修正,保证其与人眼的光谱光视效率曲线相符合 冷却灵敏面冷却灵敏面-提高长波区灵敏度(光谱特性与温提高长波区灵敏度(光谱特性与温度有关,
23、温度低时,灵敏范围和峰值波长都向长波方度有关,温度低时,灵敏范围和峰值波长都向长波方向移动)向移动)不适于在高温下使用(温度特性复杂)不适于在高温下使用(温度特性复杂)要求带宽要求带宽-牺牲灵敏度(频带宽度比较窄)牺牲灵敏度(频带宽度比较窄)动态设计动态设计 -前历效应前历效应1 1 1 1、HgHgHgHg1-1-1-1-x x x xCdCdCdCdx x x xTeTeTeTe光电导探测器件光电导探测器件光电导探测器件光电导探测器件 HgHgHgHg1-1-1-1-x x x xCdCdCdCdx x x xTeTeTeTe系系系系列列列列光光光光电电电电导导导导探探探探测测测测器器器器
24、件件件件是是是是目目目目前前前前所所所所有有有有红红红红外外外外探探探探测测测测器器器器中中中中性性性性能能能能最最最最优优优优良良良良最最最最有有有有前前前前途途途途的的的的探探探探测测测测器器器器件件件件,尤尤尤尤其其其其是是是是对对对对于于于于4 4 4 4 8m8m8m8m大大大大气气气气窗窗窗窗口口口口波波波波段段段段辐辐辐辐射射射射的的的的探测更为重要。探测更为重要。探测更为重要。探测更为重要。HgHgHgHg1-1-1-1-x x x xCdCdCdCdx x x xTeTeTeTe系列光电导体是由系列光电导体是由系列光电导体是由系列光电导体是由HgTeHgTeHgTeHgTe和
25、和和和CdTeCdTeCdTeCdTe两种材料的晶体混合制两种材料的晶体混合制两种材料的晶体混合制两种材料的晶体混合制造的,其中造的,其中造的,其中造的,其中x x x x标明标明标明标明CdTeCdTeCdTeCdTe元素含量的组分。在制造混合晶体时选用不元素含量的组分。在制造混合晶体时选用不元素含量的组分。在制造混合晶体时选用不元素含量的组分。在制造混合晶体时选用不同同同同CdTeCdTeCdTeCdTe的组分的组分的组分的组分x x x x,可以得到不同的禁带宽度,可以得到不同的禁带宽度,可以得到不同的禁带宽度,可以得到不同的禁带宽度E E E Eg g g g,便可以制造出不同波,便可
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