原子力显微镜PPT课件.ppt
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1、 原子力显微镜原子力显微镜第一代:光学显微镜第一代:光学显微镜 16世纪末,荷兰人Janssen发明了第一台复式显微镜 1665年,英国科学家罗伯特胡克用他的显微镜发现了细胞 1680年,列文虎克磨制的单片显微镜的放大倍数将近300倍第一代:光学显微镜第一代:光学显微镜列文虎克观察到的“小动物”罗伯特虎克观察到的细胞第一代:光学显微镜第一代:光学显微镜相较于过去两个世纪,现在我们使用的普通光学显微镜基本上没有什么改进。原因:光学显微镜已经达到了分辨原因:光学显微镜已经达到了分辨率的极限。率的极限。对于使用可见光作为光源的显微镜,它的分辨率极限是0.2m。任何小于0.2m的结构都没法识别出来。提
2、高显微镜分辨率的途径是设法减小光的波长,或者,用电子束来代替光。第二代:电子显微镜第二代:电子显微镜1938年,德国工程师Max Knoll和Ernst Ruska制造出了世界上第一台透射电子显微镜(TEM)1952年,英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)扫描式电子显微镜SEM透射式电子显微镜TEM第二代:电子显微镜第二代:电子显微镜电子显微镜的分辨率可以达到纳米级电子显微镜的分辨率可以达到纳米级1.样品处理过程复杂样品处理过程复杂2.要在高真空的环境下操作要在高真空的环境下操作第三代:扫描探针显微镜第三代:扫描探针显微镜 1983年,IBM公司两位科学
3、家Gerd Binnig和Heinrich Rohrer发明了扫描隧道显微镜(STM),但只能测导体和部分半导体 1985年,IBM公司Binning和Stanford大学的 Quate研发出了原子力显微镜(AFM),弥补了STM的不足STMSTM基本原理基本原理 隧道效应隧道效应:量子力学认为,即使粒子能量小于阈值能量,很多粒子冲向势垒,一部分粒子反弹,还会有一些粒子能过去,好像有一个隧道,故名隧道效应。隧道电流随探针样品间距离减小而呈隧道电流随探针样品间距离减小而呈指数增加指数增加要求样品导电性要好,所以要求样品导电性要好,所以只能测导只能测导体和部分半导体体和部分半导体。AFMAFM基本
4、原理基本原理AFMAFM是在是在STMSTM的基础上发展起来的。所不同的是,它不是利的基础上发展起来的。所不同的是,它不是利用电子隧道效应,而是用电子隧道效应,而是利用原子之间的范德华力作用来呈利用原子之间的范德华力作用来呈现样品的表面特性现样品的表面特性。吸引部分排斥部分F pair d原子原子排斥力原子原子吸引力AFMAFM基本原理基本原理 (1)将一个对微弱力极敏感的微悬臂一端固定,另一端有一微小的针尖,针尖与样品表面轻轻接触。(2)由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的力,会使悬臂产生微小的偏转。(3)通过检测出偏转量检测出偏转量并作用反馈控制其排斥力的恒定,就可以 获得微悬臂对
5、应于扫描各点的位置变化,从而可以获得样品表面形貌的图像。仪器构成仪器构成力检测部分力检测部分位置检测部分位置检测部分反馈电子系统反馈电子系统压电扫描系统压电扫描系统 压电装置在压电装置在X,Y,Z三个方向上精确控制样品或探针三个方向上精确控制样品或探针位置。位置。目前构成扫描器的基质材料主要是钛锆酸铅制成的压电陶瓷目前构成扫描器的基质材料主要是钛锆酸铅制成的压电陶瓷材料压电陶瓷有压电效应,即在加电压时有收缩特性,并且材料压电陶瓷有压电效应,即在加电压时有收缩特性,并且收缩的程度与所加电压成比例关系压电陶瓷能将收缩的程度与所加电压成比例关系压电陶瓷能将1mV1000V的电压信号转换成十几分之一纳
6、米到几微米的位移。的电压信号转换成十几分之一纳米到几微米的位移。压电扫描系统压电扫描系统压电转换器压电转换器将机械作用和电信号相互转换的物理器件将机械作用和电信号相互转换的物理器件力检测部分力检测部分 检测的力是原子与原子之间的范德华力检测的力是原子与原子之间的范德华力 该部分是该部分是由悬臂和悬臂末端的针尖组成由悬臂和悬臂末端的针尖组成微悬臂是探测样品的直接工具,它的属性直接关系到仪器的精微悬臂是探测样品的直接工具,它的属性直接关系到仪器的精密度和使用范围。密度和使用范围。(1)极低的Z向弹性系数,其值为10-2102N/m。这样的微悬臂将极其灵敏,能够检测出小于1nN 的微小力。(2)足够
7、高的固有频率(10kHz),使AFM扫描时可以跟随表面轮廓的起伏。(3)足够小的微悬臂:其长度必须在微米尺度才能符合要求。用光束偏转来测量悬臂的偏转时,其灵敏度反比于悬臂的长度。(4)足够高的侧向刚性、以便尽可能地克服由于水平方向摩擦力造成的信号干扰。力检测部分力检测部分对微悬臂性能的要求对微悬臂性能的要求 (1)理想针尖的顶端应该是单个原子,这样的针尖能够灵敏地感应出它与样品表面之间的相互作用力。(2)较高的纵横比,尽可能小的曲率半径。(3)高的机械柔软性,针尖扫描时,即使撞击到样品的表面也不会使针尖损坏。(4)高的弹性形变,可有效地限制针尖在样品表面上的作用力,从而减小对样品的损害,对柔软
8、的生物样品特别有利。(5)稳定的结构。力检测部分力检测部分对针尖性能的要求对针尖性能的要求位置检测部分位置检测部分当针尖与样品之间有了交互作用之后,会使得当针尖与样品之间有了交互作用之后,会使得微悬臂微悬臂摆动,摆动,产产生微小的偏转,位置检测系统就是检测该偏转量的大小。生微小的偏转,位置检测系统就是检测该偏转量的大小。悬臂偏转的检测悬臂偏转的检测有四种有四种方法方法:(1)电容测量法;(2)隧道电流检测法;(3)光学干涉测量法;(4)光束偏转测量法光束偏转测量法;为了得到高分辨的为了得到高分辨的AFMAFM,对检测方式一方面要求具有纳,对检测方式一方面要求具有纳米级的灵敏度,另一方面还要求检
9、测时不应该对微悬臂产生米级的灵敏度,另一方面还要求检测时不应该对微悬臂产生任何附加的作用力,避免造成信号误差任何附加的作用力,避免造成信号误差。电容测量电容测量法法 微微悬悬臂臂作作为为构构成成平平行行平平板板电电容容器器的的一一块块平平板板之之一一,而而另另一一块块平平板板则则平平行行地地位位于于微微悬悬臂臂上上方方。微微悬悬臂臂的的偏偏转转值值将将通通过过测测量量该该电电容容器器的的电电容容值值的的变变化化得得到到。它它的的垂垂直直位位移移检检测测精精度度达达到到0.03nm。位置检测部分位置检测部分 隧道电流检测法隧道电流检测法这种检测法在微悬臂的上方设有一个隧道电极这种检测法在微悬臂的
10、上方设有一个隧道电极,通过通过测量微悬臂与测量微悬臂与隧道电极隧道电极之间之间隧道电流的变化隧道电流的变化就可以检就可以检测微悬测微悬臂臂的偏转。的偏转。位置检测部分位置检测部分光学干涉测量法光学干涉测量法利用光学干涉的方法来探测微悬臂共振频率的位移利用光学干涉的方法来探测微悬臂共振频率的位移(或或偏振光的相移偏振光的相移)及微悬臂偏转的幅度。及微悬臂偏转的幅度。位置检测部分位置检测部分 光学光学偏转偏转测量法测量法它在微悬臂上的顶部设置了一它在微悬臂上的顶部设置了一面面微小的镜子,通过检测小镜微小的镜子,通过检测小镜子上子上反射光束的偏转反射光束的偏转就可以得到微悬臂偏转的信息。就可以得到微
11、悬臂偏转的信息。位置检测部分位置检测部分 光学光学偏转偏转测量法测量法二二极极管管激激光光器器发发出出的的激激光光束束经经过过光光学学系系统统聚聚焦焦在在微微悬悬臂臂背背面面,并并从从微微悬悬臂臂背背面面反反射射到到由由光光电电二二极极管管构构成成的的光光斑斑位位置置检检测测器器。通通过过光光电电二二极极管管检检测测光光斑斑位位置置的的变变化化,就就能能获获得得被被测测样样品品表表面形貌的信息。目前的面形貌的信息。目前的AFMAFM都是采用这种检测模式。都是采用这种检测模式。位置检测部分位置检测部分反馈电子系统反馈电子系统控制系统主要有两个功能:控制系统主要有两个功能:(1)提供控制压电转换器
12、提供控制压电转换器X-Y方向扫描的驱动电压;方向扫描的驱动电压;(2)在恒力模式下维持来自显微镜检测环路输入模拟信号在一恒定在恒力模式下维持来自显微镜检测环路输入模拟信号在一恒定数值计算机通过数值计算机通过A/D转换读取比较环路电压转换读取比较环路电压(即设定值与实际测即设定值与实际测量值之差量值之差)根据电压值不同,控制系统不断地输出相应电压来调根据电压值不同,控制系统不断地输出相应电压来调节节Z方向压电传感器的伸缩,以纠正读入方向压电传感器的伸缩,以纠正读入A/D转换器的偏差,从而转换器的偏差,从而维持比较环路的输出电压恒定。维持比较环路的输出电压恒定。电子线路电子线路计算机系统计算机系统
13、为压电陶瓷管提供电压、接收位置敏感器件传来的信号,并构为压电陶瓷管提供电压、接收位置敏感器件传来的信号,并构成控制针尖和样品之间距离的反馈系统。成控制针尖和样品之间距离的反馈系统。连接连接计算机与扫描系统计算机与扫描系统AFMAFM的的三种三种工作模式工作模式 1.接触模式(接触模式(Contact Mode)2.非接触模式(非接触模式(Non-Contact Mode)3.轻敲模式(轻敲模式(Tapping Mode)接触式工作模式接触式工作模式在接触模式中,探针的针尖部分保持与样品表面接触在接触模式中,探针的针尖部分保持与样品表面接触,其,其主要作用力是主要作用力是库仑排斥力库仑排斥力。微
14、悬臂探针紧压样品表面,探针尖端和样品做柔软性的微悬臂探针紧压样品表面,探针尖端和样品做柔软性的“实际接触实际接触”,当针尖轻轻扫过样品表面时,接触的力量引,当针尖轻轻扫过样品表面时,接触的力量引起悬臂弯曲,进而得到样品的表面图形。起悬臂弯曲,进而得到样品的表面图形。van der Waals force curve接触式工作模式的特点接触式工作模式的特点(1)该方式可以稳定地获得高分辨率试该方式可以稳定地获得高分辨率试样样表面微观形貌图表面微观形貌图像,有可能达到原子级的测量分辨率。像,有可能达到原子级的测量分辨率。(2)检测弹性模量低的软质试检测弹性模量低的软质试样样时,试时,试样样表层在针
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