洁净厂房二次配管实施要领胡云云.doc

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1、1洁净厂房次配管实施要领胡云云2011年01月版权所有，违者必究Page 1、八刖言做好二次配管要协调掌握好多方面的要领，来自于技术、生产、品控、 洁净、安全、文控等各个方面，本文就前三个要领与大家一起探讨。针对大规模洁净厂房二次配管的实施，从我在合肥京东方六代线二次配 项目中得到的体会来看，就技术、生产、品控这三者的关系而言，一定要 坚定不移的贯彻这样一个思路：技术指导生产，品控强化生产版权所有，违者必究Page 3内容提要CE一、技术要领（一）对工艺及工艺设备的理解（二）对重要工序的指导（三）对作业空间的规划二、生产要领（一）行之有效的生产制度（二）符合要求的生产计划（三）快速反应的生产体

2、系三、品控要领（一）树立品控思想（二）严格品控过程（三）保证品控结果技术要领4、技术要领CE5Edr（一）对工艺及工艺设备的理解理由：1、二次配接触的都是工艺设备；2、二次配的顺序往往跟着工艺走。作为管理者，应对二次配项目有全盘的理解，以便在技术指导、生产安 排、品控重点三个方面上做出部署。以合肥京东方六代线为例进行说明。版权所有，违者必究Page 54、技术要领CE51、对工艺的理解合肥京东方六代线项目背景：工作量大、工期紧，业主需要在二十天内做出CF的两条产线以供试产，分别是BML RED这两条产线。首先对Color Fil厂房内的工艺及设备情况进行分析.其中BM为直线型布置，RE助回转型

3、布置1对工艺的理解六代线的Color Filt洁净室面积约为23000m2根据其功能可大致分为五个部分,见下表：主要区域占地面积（m2设殳备台数（台）主要作用PhotArea15000235光刻（涂尺胶、曝光、显影等）SputtArea250030溅射RepaArea230048维修StockArea10004运输通道OtheAsrea220035其他辅助功能Sub-total23000352从表中可以看出，Photo Ar和a Sputter A占去了洁净室大部分面积，这就是六代线Color Filte房的两大核心工艺 ?Pho（光刻）和 Sputter溅射）1对工艺的理解要清楚两个工艺流程

4、从大方向上来看，CF工艺流程为：玻璃基板 BM2 RGA ITS PS CR玻璃 CEL工艺而BM RGB PS的工艺流程如下：Loade Cleane Distribution ConvyCoate PrebakChromaticity MeasurementEC/Vbsure ConveydExposurOverhead ConveyDevelope Buffe All Sheet InspectionInspection Distribution C/V/ie Visual InspectiorPost BaUnloader同时把握住关键设备。这些设备往往调试时间最长、调试难度最大，因

5、此要尽量 做到提前提供条件。像上面这个工艺过程比较清晰，主要是围绕着涂胶Coater曝光Exposure显影Develop三大核心步骤进行。版权所有，违者必究Page 94、技术要领版权所有，违者必究Page 111对工艺的理解Coater(TO)Developer(Shibau)aExposure (NS)TFT-LCD艺流程(BOE G6玻璃基板(15OOmm*18O0mm玻璃基板(15OOmm*18O0mmFT玻璃CF玻璃F玻璃CF玻璃TF玻璃一清洗-PI取向膜涂布一取向一涂封框胶 真空贴盒f切割f检查Cell!艺流程=偏光片、PC板、驱动IC B/L Unit金属边框、光学膜、灯管、导

6、光板Cel玻璃(32? Pann)(710mm*400mm)I模组成品版权所有，违者必究Page #4、技术要领版权所有，违者必究Page 152、对工艺设备的理解在TFTT房里，很多设备不是独立存在，还涉及到很多关联设备，比如需要进行抽真 空的工艺设备，像 PECVD Sputter Dry Etch Coater它们可能的关联设备会有 Vacuum PumScrubb等。其中PECV1D Dry Et（两种设备抽出的气体含有部分危险气体，通常需要经过Scrubb燃烧处理后再接入排风管道，其真空排气连接管路的流程可简单表示为：Main EquipmenVaccum PumpLocal Scr

7、ubberExhaust Air Duct而Sputte和 Coatefc真空泵出口后可直接接入相应的排风系统，其真空排气连接管路的流程可表示为：Main EquipmenVaccum PumpExhaust Air Duct流程可形象的描述为：2、对工艺设备的理解主要的真空排气管路分为两部分：一部分是真空管路，即机台 Hook u至 Pump In；一部分是排气管路，即PumpOutle至 Local Scrubberocal Scrub至eExhaust Air Duct撐“fit ma11111111111m1 I1I1111Scrubber 1111)111111 _ w112、对工艺

8、设备的理解在进行真空排气管道施工时，需提前针对每台设备进行管路设计。管路设计及管路 施工需注意以下几个重点：1）保证抽真空的速率：a真空管路管径一般需大于 PUM抽气口径的1.25-倍，即进行扩管。举例如下（见 下页列表）：b管路尽量直，减少弯头，即施工时 90及45弯头数量不得超过预估数量，若需现 场实际施工状况因素，则需与设备工程师进行讨论，经工程師同意下才能超过预估弯 头数量。技术要领2、对工艺设备的理解Work ScopeEQ Ven dorAKT/JELProcess ChamberLoad LockX-fer(TC)ProjectVaccum PumpVendorPunping S

9、peed. Tad Time) 6版权所有，违者必究Page 174、技术要领2、对工艺设备的理解2） 避震设计：需避免 PUM抽气时震动造成管路漏气，一般需在机台及PUM端加 装波纹软管或PU护套等。3） 测漏设计：机台端及PUM端须预留NW2测漏口，以方便将来加装 Leak CheckValve4） 拆装设计：为使管路拆卸方便，须于适当长度管路设计加装Flange 一般来说， 真空管每段不得超过 2.5m排气管路每段不得超过 1.5m（如图）5）管路接口密封要好，尤其是针对一些有腐蚀性的气体管路，应着重注意垫片的材 料质量及施工质量。版权所有，违者必究Page 19技术要领2、对工艺设备的

10、理解6） 了解需求表（以某 CV助例）ProcessL/LCVDP/C机台型号OUL SCHJSBEPJ1 .TTJ（二）对重点工序的指导实施一个大规模厂房的二次配管项目，在施工开始之初，应编制施工 要领书，部分工序指导到工人。以焊接管道为例，应至少涵盖以下内容：材料采购准备阶段一人员考核作业环境控制I一气源瞬施工各阶段控制要点I材来4S制施工阶段切割控制I焊接控制笞路确认测试阶段-气密雌/氨检漏测试I微粒子加氧测试（二）对重点工序的指导对于重点工序的指导，核心在于：流程标准化举例：不锈钢管的切割1）切割流程：根据需要 选择管段-切割划线固定管道1充气保护实施切割切割检查端面处理I,.,管口封

11、堵2）切割机具：小口径管道（6.35mm12.7mm不锈钢割刀大口径管道（大于 12.7m）: GF锯。切割好的管子应放置于搁架上；切管时若刀片不利应立即更换以免损坏管子。4、技术要领（二）对重点工序的指导举例：不锈钢管的焊接1）焊接流程：点固焊口3M胶带密 封 1*进行充气外表面两端封堵，处理保持正压版权所有，违者必究Page 272）焊接机具：自动焊：ARC MACHINES IN（等207A手工焊：手工氩弧焊机。*（三）对作业空间的规划在了解整个区域的二次配管主线后，应 分区域进行局部空间规划，从而 做到整厂的空间规划。同时应以工艺设备为单位，针对每台工艺设备，画出单台设备的二次配 管轴

12、测图。（有的设备需画多张轴测图，有的小设备可以多个合在一起画）1、生产要领生产要领版权所有，违者必究Page 31（一）行之有效的生产制度1作业确认表格化管理制订成套的生产使用表格。材料整理单、阀门状态改变确认单、送电确认单、停电确认单、二次配验收报告等。每一个重要步骤都必须书面签字确认。作业面的接收确认；原有管道阀门、电气开关等物件的状态改变确认;工艺设备试运行前的各环节确认； 单台设备的验收确认；每天检查执行情况。1、生产要领（一）行之有效的生产制度2、生产进度动态化管理以产线、设备为单位，进行动态管理，便于实时了解进度情况。一般来说工艺设备的动力需求有若干种，遇到紧急设备往往需要先提供配

13、电及压 缩空气。生产过程中，多台设备多个点同时进行，容易产生混乱。管道二次配实时状态表 -B3100520.xls（二）左右兼顾的生产计划1计划的制订多个计划的配合：进度计划、人员计划、材料计划。既要满足来自业主的进度需求，又要符合项目部及公司的资源情况。比如：根据要求，400个点需要在40天内完成，则每天需要完成 10（个点，从人 员需求上至少要 50组（每组2人）。二次配的时间往往很紧，前期分析要准确。2、计划的调整前松后紧。平均每天完成 10（个点，但最好前期每天完成 12（个点，后期进行调整 设备需求变化带来的调整。3计划的完成机台完成后，应组织业主进行单台设备验收后签字确认确认后体现

14、在动态管理表里。、生产要领CESE（三）快速反应的生产体系二次配的几个特点：不确定性因素多：设备位置变化、设备接口变化、施工时间改变等；工作开展紧急：随时可能抢工；接口型式繁杂：设备来自于多个国家，标准不一；建立快速反应体系。满足调试需求，必要时 24小时施工。适遥屉鼻勺传谒代务Ait版权所有，违者必究Page 33品控要领版权所有，违者必究Page #三、品控要领版权所有，违者必究Page 35（一）树立品控思想二次配管的品控思想：品质第一二次配工作是连接工艺设备的最后一道工程工序，施工品质将直接影响到产品的成品率三、品控要领版权所有，违者必究Page 39（二）严格品控过程过程控制 是二次

15、配管品控的重中之重。二次配管中，过程控制包括：材料控制、机具控制、人员控制、作业环境控制、 气源控制、切割控制、焊接控制等等。以人员控制、焊接控制、气源控制为例（二）严格品控过程1人员控制必须建立严格的培训和考核制度！严禁无证操作所有参与二次配管施工的人员必须经过培训。对焊工及管工进行考核，考核合格后发上岗证，专人专号，焊工编号 焊接类型 项目简称 公司简称代号SZ焊接类型手工焊自动焊女口： CESE -BOEB3-Z01(二)严格品控过程2、焊接控制所有焊工必须是经过项目考核通过并发证的人员 焊接完成后应及时进行外表面处理。焊接控制的两个重点:(1)试焊A.自动焊：每天正式焊接前，必须进行试

16、焊！经检验合格后方可正式施焊。试片需写上日期、系统、焊工证号，同时将焊接数据填写在焊接纪录表上。发生下列情况之一时需重新做试片：改变管材的炉号、改变管材的尺寸、焊接机台断电的时候、焊把更换、焊接途中焊接机数据的更改、钨棒的更换、焊接的吹 扫气中断等。B.手工焊：重点是考核及焊口责任制三、品控要领(二)严格品控过程(2)焊口责任制焊口责任制要做到焊接记录表、管段图、现场焊口三者统一。要能体现出任何一个管段或管件的管径、长度、编号，任何一个焊口的焊口编号、焊接人员、焊接 方式、焊接日期、焊接状况等。XXX PROJECT WELD RECORDING版权所有，违者必究Page #DATE IL(W

17、ELDER .D. #CES田-WELD#ciT/TTUBETUBEWE SIZECLASSYLMWZWEL铀WEtadseject090309a mBOEB3-Z04ARC20COARC207 A 1/27 A-EP1 / 1 T/T028FAB G4-H4, E6-F6编洌原则1 M24 i -QI TrriE5e 11-OWSiSfFn三、品控要领（二）严格品控过程3气源控制焊接气：采用氩气，纯度不低于99.999%保护气：采用液氩或氩气（纯度不低于99.999）如果气站提供的气体一般不合格，应在气源处加 装纯化器和过滤器。保护气供给系统图版权所有，违者必究Page 43高压气瓶（三）保

18、证品控结果为更好的保证品控结果，实行 定期检查和抽查制度定期检查应在前期确定好检查时间，坚定不移的执行下去，由品控负责 人牵头，技术经理、各专业负责人等参加。如合肥京东方六代线项目定于每周二、六16:00p进行一周两次的定期检查压力测试氦测漏（如需要）（三）保证品控结果抽查之五项测试：第三方测试专业的测试仪器完整的测试记录微粒子测试水含量测试U氧含量测试结语版权所有，违者必究Page #二次配实施的时间段仍属厂房建设期，但已处于向运行期过渡的阶段，期间打交道的人会很多，比如BOE G项目，动力技术部、制造部、生产技术部、设备供应商都是我们每天必须频繁接触的人。如果项目部没有一个 好的思路、一种清晰的做事方式，很容易陷入被动，而二次配施工往往没 有挽回的时间。如果掌握了技术、生产、品控这三部分要领，相信二次配的实施已成功 了一半。洁净厂房二次配管实施要领CE5ETHANK YOU!Page 37版权所有，违者必究