新洁净厂房施工质量验收规范.ppt

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1、国家标准国家标准洁净厂房施工及质量验收规范洁净厂房施工及质量验收规范内容简介内容简介中国电子工程设计院中国电子工程设计院 陈霖新陈霖新 2010年年3月月Code of acceptance for Code of acceptance for ConstructiorConstructior and quality of Industrial and quality of Industrial cleanroomcleanroom1、编制过程2、章节安排3、典型条文内容简介内容1、编制依据：国家建设部2005年4月建标函2005124号文，关于印发2005年工程建设标准规范制订、修订计划（第

2、二批）通知 2、编制原则1、编制过程l编写应密切结合近年来国内外国内外洁净厂房建造的特点和工程实践，参照国内外国内外洁净厂房相关标准、规范，制定符合目前中国国情的具有法规性、指导性、实用性的规定。l编写内容应适应高速发展洁净技术的要求，做到有利于新技术、新工艺、新设备、新材料的应用，并与国际标准或通行的作法接轨国际标准或通行的作法接轨。l编写过程应从科学的态度，实事求是地总结近年洁净厂房建造中的经验、教训，较好地反应建造成果和运行经验。l编写方法，严格按国家建设部有关工程建设标准、规范的制定，编写工作要求、规定和程序进行编写。编写工作阶段为准备阶段，征求意见稿，送审稿、报批稿4个阶段。l本标准

3、包括强制性条文和推荐行条文。l本标准编写过程中，应认真与相关标准、规范协调3、编写准备工作：主编单位收集国内外资料，起草编写工作大纲；4、第一次编制工作会议，于2005年11月22日在江苏省苏州市召开，学习了建设部颁布的有关工程建设标准规范编写的规定等，讨论确定了“编写工作大纲”，包括：编写工作要求、章节安排及内容、编写工作进度安排、调研内容以及各单位的分工等。5、第二次编制工作会议，于2007年9月在四川省成都市召开，会议畅所欲言，认真负责地讨论、修改、补充征求意见稿（草案），一致认为：（草案）符合编写工作大纲要求，基本通过条文及附录的内容，希望尽快进一步完善后上报国家建设部，按规定进行公示

4、6、征求意见稿在2007年12月完成后发至有关单位征求意见并登网进行公示。7、征求意见会，于2008年4月，天津地区11个单位，15人；于2008年5月，深圳地区19个单位，25人；8、汇总各方面意见，并结合征求意见会记要等修改完成“送审稿”。9、2008年10月在无锡召开审查会，通过了“送审稿”；10、2009年4月完成报批稿，建设部通过正修改中。1、编制过程1、总则2、术语3、基本要求4、建筑装饰装修 4.1 一般规定 4.2 墙、柱、顶涂装工程 4.3 地面涂装工程 4.4 高架地板 4.5 吊顶工程 4.6 墙体工程 4.7 门窗安装工程2、章节安排5、净化空调系统 5.1 一般规定

5、 5.2 风管和部件 5.3 风管系统安装 5.4 净化空调设备安装 5.5 系统调试6、排风及废气处理 6.1 一般规定 6.2 风管和附件 6.3 排风系统安装 6.4 排风及废气处理设备安装 6.5 系统调试2、章节安排7、配管工程 7.1 一般规定 7.2 碳素钢管道安装 7.3 普通不锈钢管道安装 7.4 EP/BA不锈钢管道安装 7.5 PP/PE管道安装 7.6 PVDF管道安装 7.7 PVC管道安装 7.8 配管检验和试验8、消防、安全设施 8.1 一般规定 8.2 管线安装 8.3 消防、安全设备安装2、章节安排9、电气设施安装 9.1 一般规定 9.2 电气线路的安装 9

6、3 电气设备的安装 9.4 防雷及接地设施的安装10、微振控制设施的施工 10.1 一般规定 10.2 微振控制设施的施工11、噪声控制设施的安装 11.1一般规定 11.2噪声控制设施安装2、章节安排12、特种设施的安装 12.1 一般规定 12.2 高纯气、特种气体供应设施的安装 12.3 纯水供应设施的安装 12.4 化学品供应设施的安装13、洁净室内的生产设备的安装 13.1 一般规定 13.2 设备安装 13.3 二次配管配线14、工程验收 14.1 一般规定 14.2 洁净厂房的测试 14.3 竣工验收 14.4 功能验收 14.5 使用验收2、章节安排附录A 洁净厂房总体施工程

7、序附录B 测试项目的选择和实施顺序附录C 测试方法附录D 工程质量验收记录用表 本规范用词说明 附：条文说明2、章节安排1.0.1 为了加强洁净厂房工程的施工及质量管理，确保工程质量，统一洁净厂房的工程质量及验收要求，制定本规范。1.0.2 本规范适用于新建、改建和扩建的各类工业洁净厂房的施工及质量验收。1.0.3 本规范中的施工质量验收应与现行国家标准建筑工程施工质量验收统一标准GB 50300配套使用。1.0.4 洁净厂房工程施工中采用的文件、合约文件中对施工质量的要求不得低于本规范的规定。3、典型条文内容3、典型条文内容2.0.8洁净度洁净度 cleanliness 产品、表面、装置、气

8、体、流体等按规定表示的受污染程度。注：选自ISO14644-6，2.322 0.9空态空态 as-built 设施已经建成，其服务动力公用设施区接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。注：选自ISO14644-6，2.172.10静态静态 at-rest 设施已经建成，生产设备已经安装好并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。注：选自ISO14644-6，2.182.0.11 动态动态 operational 设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。注：选自ISO14644-6，2.972.0.18 已装过滤器检漏已装过滤器检漏 installed fil

9、ter system leakage test 为确认过滤器安装良好、没有向洁净室（区）的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。注：选自ISO14644-6，2.842.0.19 高效空气过滤器高效空气过滤器 HEPA（high efficiency particulate air filter）在额定风量下，最易穿透粒径法（MPPS）的效率低于99.9995%，但不低于99.95%的空气过滤器。注：参照CRAA430-20082.0.20超高效空气过滤器（超高效空气过滤器（ULPA）ultra low penetration air filter 在额定风量下,最易穿透粒径法（M

10、PPS）的效率不低于99.9995%的空气过滤器。注：参照CRAA430-20083.0.1承担洁净厂房工程的施工企业，应具有相应工程施工资质及其等级，并应具有完善的质量管理体系。3.0.2洁净厂房的施工应按设计文件、合约的内容实施。当修改设计时，应经原设计单位的确认、签证，并得到建设单位的同意。3.0.3洁净厂房施工前应根据具体工程项目的特点，制订施工方案和程序，做到各工种协调施工、阶段明确、交接清楚，确保整体施工质量和安全操作。洁净厂房的总体施工程序见附录A。3.0.7分项工程检验批质量验收合格应符合下列规定：1 具有完整的施工作业依据、质量检查记录；2 主控项目的质量检验，按标准规定全部

11、合格；3 一般项目的质量检验，按标准规定的合格率不得低于80%。3、典型条文内容4.1.3 洁净厂房装饰装修工程的材料选择，应符合下列规定：1 应满足项目施工图设计要求；2 应满足防火、保温、隔热、防静电、隔振、降噪等要求；3 应确保洁净室气密性要求，材料表面应不产尘、不吸附微粒、不积尘；4 应采用不霉变、防水、可清洗易清洁和不挥发分子污染物的材料；5 应满足产品质量、生产工艺的特殊要求，并不得释放对人员健康及产品质量有害的物质。4.1.4洁净厂房装饰装修工程的施工应在厂房主体结构和屋面工程完成并验收合格后进行。对现有建筑进行洁净室装饰装修时，应对现场环境、现有设施等进行清理与清洁，达到洁净施

12、工要求后才能进行施工。4.1.5 洁净厂房装饰装修工程施工过程，应对施工现场进行封闭管理，包括进出人员、设备材料等进行洁净管制。3、典型条文内容主控项目主控项目4.2.7 涂装层与门窗、高效过滤器风口、灯具、管线等之间的衔接处，应符合下列要求：1 所有衔接处的接缝间隙不得大于0.5mm；2 应按设计要求进行密封处理；3 接缝的密封表面应平整、光滑。检验方法：观察检查、尺量。检查数量：全数检查。一般项目一般项目4.2.8 涂装层质量，应符合下列要求：1 颜色应均匀一致；2 无砂眼，无刷纹，不得有咬色、流坠、泛碱、疙瘩；3 装饰线、分色线的直线度允许偏差不得大于1mm。检验方法：观察检查、尺量。检

13、查数量：全数检查。3、典型条文内容主控项目主控项目4.3.6 面层涂装应符合下列要求1 涂装的厚度、性能应符合设计要求。厚度偏差不得大于0.2mm；2 面层涂装必须待结合层晾干后进行；3 面层施工环境温度应控制在535；4 每次配料必须在规定时间内用完，并作好记录；5 面层施工宜一次完成。分次施工时，应做到接缝少，并设置于隐蔽处。接缝应平整、光滑，不得分色、露底；6 表面应无裂纹、鼓泡、分层、麻点等现象；7 防静电地面的体积电和表面电阻应符合设计要求。检查方法：观察检查、尺量，核查施工记录。检查数量：每检验批的面积30%。一般项目一般项目4.3.8 涂装颜色应符合设计要求，并应色泽均匀、无色差

14、无花纹。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。3、典型条文内容主控项目主控项目4.4.6高架地板支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固可靠。支撑立杆下部的连接金属构件应符合设计要求，固定螺栓的外露丝扣不得少于3扣。检查方法：观察和小锤敲击检查。检查数量：按连接点数抽查20%，且不少于10点。一般项目一般项目 4.4.7高架地板面层铺设允许偏差，应符合表4.4.7的规定。表4.4.7 高架地板面层铺设允许偏差（mm）检查数量：按铺设面积的20%检查，且不得少于5。表4.4.7 高架地板面层铺设允许偏差（mm）项目允许偏差检验方法铸铝合金地板钢、复合地板面层表面平整2.02.02M靠尺和楔形塞尺

15、检查面层接缝高低差0.41.0钢尺和楔形塞尺检查面层板块间隙宽度0.31.0钢尺检查面层水平方向累计误差L100m10经纬仪或测距仪检查100mL200m20L200m35注：L表示活动地板面层水平面某方向的长度3、典型条文内容主控项目主控项目4.5.6吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相联。不得与设备支架和管线支架联接；吊顶的吊挂件亦不得用作管线支吊架或设备的支吊架。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。4.5.8 吊顶的标高、尺寸、起拱、板间缝隙应符合设计要求。板间缝隙应一致，每条板间缝隙误差不得大于0.5mm；并以密封胶均匀密封，做到平整、光滑、略低于板面，不得有间断和杂质。检查方法：观

16、察、尺量，水平仪测试。检查数量：每检验批检查30%。一般项目一般项目4.5.13 吊顶饰面表面应清洁、光滑、色泽一致，不得有翘曲、裂纹和缺损；并不得发生霉变，不产尘。检查方法：观察检查。检查数量：每检验批检查20%。4.5.14 金属吊杆、龙骨的接缝应均匀一致，角缝应吻合，表面应平整，无翘曲、锤印。检查方法：观察检查。检查数量：每检验批检查20%。3、典型条文内容主控项目主控项目4.6.6 金属壁板安装前应认真按施工图进行放线。墙角应垂直交接，防止壁板倾斜扭曲，壁板垂直度偏差不得大于0.15%。检查方法：观察检查，激光水平仪检查。检查数量：全数检查。4.6.7 墙体面板接缝间隙应一致，每条面板

17、缝间隙误差不得大于0.5mm，并应在正压面以密封胶均匀密封，密封胶应平整、光滑，略低于板面，不得有间断、杂质。检查方法：观察检查，尺量，水平仪测试。检查数量：按每一检验批的30%。一般项目一般项目4.6.11 墙体板材安装应垂直，平整、位置正确，与吊顶板和相关墙体板的交接处，应采取防开裂措施；其接缝应进行密封处理。拐角处宜采用圆角。检查方法：观察检查，尺量。检查数量：全数检查。4.6.12 墙体表面应平整、光滑、色泽一致，金属壁板的面膜应完好无损（撕膜前）。检查方法：观察检查。检查数量：按每检验批的30%检查。3、典型条文内容3、典型条文内容主控项目主控项目4.7.4洁净室门窗的品种、类型、规

18、格、构造、型材厚度、尺寸、安装位置、连接方式和附件、防腐处理以及气密性均应符合设计要求。检查方法：观察检查、尺量，检查产品（材料）合格证书、性能检验报告、进场验收记录和施工验收记录。检查数量：按每一检验批的30%检查。4.7.7 门窗边框与墙体应连接牢固。门窗边框、副框与墙体之间的缝隙应均匀，并不得超过1mm。缝隙应以密封材料填嵌和密封胶密封。检查方法：观察检查、尺量。检查数量：按每一检验批的30%检查。一般项目一般项目4.7.11 门窗安装的允许偏差和检验方法，应符合表4.7.12的规定。项次项目允许偏差（）检验方法1门窗槽口宽度、高度1,5001.5用钢尺检查1,5002.02门窗槽口对角

19、线长度差2,0003.0用钢尺检查2,0004.03门窗框的正、侧面垂直度2.5用垂直检测尺检查4门窗横框的水平度2.0用1m水平尺和塞尺检查5门窗横框标高5.0用钢尺检查6门窗竖向偏离中心5.0用钢尺检查检查数量：按每一检验批的30%检查。5.1.2 净化空调系统施工中使用的材料、附件和设备应符合工程设计图纸的要求，并不得产生或散发对产品生产的正常进行、产品质量和人员健康有害的物质。5.1.3 施工中所使用的材料、附件和设备，应具有产品出厂合格证等，进施工现场前应经验收，并作好产品验收记录。5.1.4 净化空调系统施工中的隐蔽工程，经验收和做好记录后，才能进行隐蔽。5.1.5 净化空调系统的

20、调试和试运转，应在洁净室（区）建筑装饰装修验收合格和各种管线吹扫及试压等工序完成后进行。5.2.3 净化空调系统风管的材质应按工程设计文件的要求选择，工程设计无要求时，宜采用镀锌钢板。当产品生产工艺要求或环境条件必须采用非金属风管时，应采用不燃材料或B1类难燃材料，并应表面光滑、平整、不产尘、不霉变。3、典型条文内容主控项目主控项目5.2.6 风管清洗后，应以漏光法进行风管制作质量检查。漏光法检查除按现行国家标准通风与空调工程施工质量验收规范GB 50243中附录的要求进行外，还应符合下列要求：1 宜在夜间进行；2 检查所用的机具、工具应绝缘良好，并设漏电保护；外表面应清洁干净、无油污、无尘、

21、无破损现象；检查方法：观察检查，无漏光为合格。检查数量：按规格批抽查20%，不得少于15m。5.2.7 风管应通过强度和严密性试验，应符合设计或下列要求：1 风管的强度应能满足1.5倍工作压力下，接缝处无开裂；2 风管的允许漏风量和漏风量测试方法，应按现行国家标准通风与空调工程施工质量验收规范GB 50243的要求进行。检查方法：仪器检验、观察检查或检查产品的合格证明文件和测试报告。检查数量：按规格批抽查20%，但不得少于15m。3、典型条文内容一般项目一般项目5.2.12 净化空调系统应设测试孔和必要的清洁检查门。检查门内表面应平整、光滑，启闭灵活、关闭严密，与风管的连接处应采取密封措施，其

22、密封垫料宜采用成型密封胶带或软橡胶条制作。检查方法：观察检查。检查数量：抽查30%。5.2.13 柔性短管应符合下列规定：1 应选用不产尘、不易霉变、内表面光滑、不透气、防潮、防腐的柔性材料制作；2 柔性短管长度宜不超过250mm，其连接处应牢固、气密性好；3 柔性短管不得作为风管的找正、找平的异型连接管段。检查方法：尺量、观察检查。检查数量：抽查30%。3、典型条文内容主控项目主控项目5.3.4 净化空调系统风管及其附件的安装，应符合下列规定：1 安装就位前必须擦拭干净，做到无油污、浮尘；2 在施工过程中发生停顿或施工完成时，应将风管端口封堵；3 法兰垫片应选用不产尘、不易老化、不透气和具有

23、一定弹性的 材料；垫片厚度宜为58mm；4 法兰垫片不得采用直缝对接方式。不得在垫片上涂胶，在接缝 处可采用密封胶；5 风管穿过洁净室（区）吊顶、隔墙等围护结构时，应采取可靠 的密封措施；6 风管内严禁其他管线穿越。风管内严禁其他管线穿越。检查方法：观察检查、尺量。检查数量：全数检查。5.3.8 净化空调系统的风管均需绝热、保温，应符合下列规定：1 风管及其部件的绝热、保温，应采用不燃或难燃材料，其材质、密度、规格和厚度应符 合工程设计文件要求；2 洁净室（区）内不得采用易产尘、霉变的材料；3 绝热、保温层的施工、验收应符合现行国家标准通风与空调工程施工质量验收规范GB 50243的相关规定。

24、检查方法：观察检查、尺量，样品送检或查验产品合格证和进场记录。检查数量：全数检查。3、典型条文内容一般项目一般项目5.3.10 净化空调系统经清洗密封的风管、附件安装时，打开端口封膜后应即时连接；当必须暂时停顿安装时，应将端口重新密封。检查方法：查验安装记录。检查数量：全数检查。5.3.11 风管绝热保温层外表面应平整、密封、无松驰现象。若洁净室（区）内的风管有保温要求时，保温层外表面光滑、不积尘、不吸尘，易于擦拭，接缝处应以密封胶密封。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。3、典型条文内容主控项目主控项目5.4.5 高效空气过滤器的安装，应符合下列规定：1 经外观检查合格后，应立即进行安装

25、2 安装高效过滤器的框架应平整、清洁，每台过滤器的安装框架的平整度偏差不得超过1mm；3 过滤器安装方向必须正确，安装后过滤器四周和接口，应严密不漏；4 采用机械密封时，应采用气密垫密封，其厚度为68mm，并紧贴在过滤器边框上；安装后垫料的压缩应均匀，压缩率为25%50%；5 采用液槽密封时，槽架安装水平，并不得有渗漏现象；槽内无污物和水分。槽内密封液高度宜为槽深的2/3，密封液的熔点宜应高于50。检查方法：尺量、观察检查，安装后检漏（方法见附录C）。检查数量：全数检测、检漏。一般项目一般项目5.4.12 干表冷器的安装，应符合下列要求：1 按工程设计要求，正确进行干表冷器的测量、定位；2

26、与冷冻水供、回水管的连接应正确，且严密不漏；3 换热面表面应清洁、光滑、完好。在下部宜设排水装置，冷凝水排出水封的排水畅通。检查方法：尺量、观察检查，核查验收记录。检查数量：抽查30%。3、典型条文内容主控项目主控项目5.5.7 单向流洁净室的风量、风速的调试结果，参照NEBB洁净室认证测试程序标准的相关要求，应符合下列规定：1送风量测试结果应为设计风量的5%之内，相对标准偏差应不大于15%；2 截面平均风速应为设计值的5%之内，各检测点截面风速相对标准偏差（不均匀度）应不大于15%。检查方法：按附录C。检查数量：全数检查。5.5.8非单向流洁净室的送风量测试结果，参照NEBB洁净室认证测试程

27、序标准的相关要求，应为设计风量的5%之内，各风口的风量相对标准偏差（不均匀度）不大于15%。检查方法：按附录C。检查数量：全数检查。一般项目一般项目5.5.12 洁净室内的气流流型的测试，确认单向流、非单向流、混合流流型，符合设计和性能技术要求。检查方法：示踪线法或示综剂注入法。检查数量：全数检查。5.5.13 洁净室内的气流方向测试，确认气流方向及其均匀性符合设计和气流流型要求。检查方法：示踪线法或示综剂注入法。检查数量：按数量的30%检查。3、典型条文内容主控项目主控项目6.2.5洁净厂房中排风管道的制作，应符合下列规定：洁净厂房中排风管道的制作，应符合下列规定：1 可燃、有毒的排风风管的

28、密封垫料、固定材料应采用不燃材料；2 风管所用螺栓、螺母、垫圈和铆钉均应采用与管材性能相适应，并不产生电化学腐蚀的材料；3 镀锌钢板不得有镀锌层严重损坏的现象，如表层大面积白花、镀层粉化等；4 风管法兰的螺栓及铆钉孔的间距，不应大于100mm；矩形风管法兰的四角部位应设有螺孔。检查方法：尺量、观察检查。检查数量：全数检查。6.2.7 排风风管的强度试验压力应比工作压力低500Pa，但不得低于-1500Pa。接缝处无开裂。检查方法：仪器检查、观察检查。检查数量：易燃、易爆及有毒排风系统全数检查，其余按风管规格批抽查20%。3、典型条文内容主控项目主控项目6.2.9 防爆、可燃、有毒排风系统的风阀

29、制作材料必须符合设计要求，不得自行代用。检查方法：核验材料品种、规格，观察检查。检查数量：全数检查。6.2.10 防排烟阀、柔性短管应符合下列要求：1 防排烟阀（排烟口）应符合有关消防产品标准的规定，并具有相应的产品合格证明文件；2 防排烟系统柔性短管的制作材料必须为不燃材料制作。检查方法：核验产品、材料品种和合格证明，观察检查。检查数量：全数检查。一般项目一般项目6.2.12 排风系统宜设检查孔或观察窗，必要时设测试取样口。检查孔或观察窗等与风管的连接应做到严密不会发生泄漏现象。检查方法：观察检查。检查数量：分系统抽查20%，但每个系统不少于2件。3、典型条文内容主控项目主控项目6.3.4

30、排风风管穿过防火、防爆的墙体、顶棚或楼板时，应设防护套管，其套管钢板厚度不应小于1.6。防护套管应事先预埋，并可靠固定；风管与防护套管之间的间隙，应以不燃隔热材料封堵。检查方法：尺量、观察检查。检查数量：全数检查。6.3.5 排风风管安装，应符合下列规定：1输送含有可燃、易爆介质的排风风管或安装在有爆炸危险环境的风管应设有可靠接地；2 排风风管穿越洁净室（区）的墙体、顶棚和地面时，应设套管，并应作气密构造；3 排风风管内严禁其他管线穿越；4 室外排风立管固定拉索，严禁与避雷针或避雷网连接。检查方法：尺量、观察检查。检查数量：全数检查6.3.6 排风风管内气体温度高于80时，应按工程设计要求采取

31、防护措施。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。3、典型条文内容一般项目一般项目6.3.11 输送含有凝结水或其他液体的排风风管宜按大于5%的坡度敷设，并在最低处设排液装置。检查方法：尺量、观察检查。检查数量：按数量抽查30%。6.3.12 接至生产工艺设备的排风管（罩）应按设计要求进行安装，并应做到位置正确、固定牢固。检查方法：尺量、观察检查。检查数量：按数量抽查30%。6.3.13排风风管穿越屋面或外墙处应做好防水处理，不得有渗水现象。排风系统的风帽，应安装牢固。检查方法：尺量、观察检查。检查数量：按数量抽查30%。3、典型条文内容主控项目主控项目6.4.5 吸附式废气处理设备的安装，应

32、符合下列要求：1 直接安放整体废气处理设备的基础，其表面水平度不应大于2；2 吸附装置本体的垂直度不应大于2；3 应将选定的主管口中心与安装基准线、基础面对准，其允许偏差不应大于3mm；4 装填吸附剂前，应对设备内部以清净空气进行吹扫，去除杂物等；5 装填吸附剂前应按设备技术文件的规定，核查吸附剂的有效活性；6 装填、安装完成后应按设计要求进行气密性试验，试验压力宜为+500Pa，保压时间30min，经检查应无泄漏和异常现象。检查方法：尺量、仪表检查、观察检查。检查数量：全数检查。一般项目一般项目6.4.9 吸附式废气处理设备的安装，还应符合下列要求：1 吸附剂装填方式包括吸附剂层高、密实度等

33、应符合设计要求；2 吸附剂层的支承可靠，并方便装卸；3 吸附剂层表面的水平度不应大于3，各吸附剂层的高度差不应大于1；检查方法：尺量、观察检查。检查数量：全数检查。3、典型条文内容主控项目主控项目6.5.5 设备单机试运转和调试应符合下列要求：1 通风机、水泵的试运转要求，应按现行国家标准通风与空调工程施工质量验收规范GB 50243的规定进行；2 废气处理设备的试运转和调试，应按工程设计或设备技术文件要求进行，其稳定连续试运转时间不应少于2.0h；3 各种手动、电动风阀操作应灵活、可靠，动作准确。检查方法：观察检查，仪器仪表检测。检查数量：全数检查。6.5.6 排风系统的联动试运转和调试，

34、应符合下列要求：1 系统总风量调试结果与设计风量的偏差不应大于10%；2 系统风压调试结果与设计值的偏差不应大于10%；检查方法：观察检查，仪器仪表检测，核查调试记录。检查数量：分系统抽查40%，不得少于2个系统。一般项目一般项目6.5.9 排风系统联动试运转和调试，还应符合下列规定：1 试运转中设备和阀门、主要附件的动作应符合设计要求，并做到正确和无异常现象；2 各排风系统的风量应进行平衡调整，各风口或风罩的风量与设计风量的允许偏差不应大于10%；3 与排风系统相关的供气、供排水系统运行正常。检查方法：观察检查，核查调试记录。检查数量：分系统抽查30%。3、典型条文内容7.1.3阀门安装前，

35、下列管道的阀门应逐个进行压力试验和阀门安装前，下列管道的阀门应逐个进行压力试验和严密性试验，不合格者，不得使用。严密性试验，不合格者，不得使用。1 输送可燃流体、有毒流体管道的阀门输送可燃流体、有毒流体管道的阀门；2 输送高纯气体、高纯水管道的阀门输送高纯气体、高纯水管道的阀门；3 输送特种气体管道、化学品管道的阀门输送特种气体管道、化学品管道的阀门。7.1.5管道穿越洁净室（区）墙体、吊顶、楼板和特殊构造管道穿越洁净室（区）墙体、吊顶、楼板和特殊构造时，应符合下列：时，应符合下列：1 管道穿越伸缩缝、抗震缝、沉降缝时应采用柔性连接；管道穿越伸缩缝、抗震缝、沉降缝时应采用柔性连接；2 管道穿越

36、墙体、吊顶、楼板时应设置套管，套管与管道之间管道穿越墙体、吊顶、楼板时应设置套管，套管与管道之间的间隙应采用不易产尘的不燃材料密封填实；的间隙应采用不易产尘的不燃材料密封填实；3 管道接口、焊缝不得设在套管内。管道接口、焊缝不得设在套管内。3、典型条文内容主控项目主控项目7.4.4 管道连接宜采用卡扣连接、法兰连接或焊接。采用焊接时，应符合下列规定：1 BA/EP管焊接应采用自动焊，焊接时管内应充纯氩气（99.999%）。焊接结束仍需继续充纯氩吹扫、冷却；2 BA/EP管焊接应正确地选择电极棒（钨棒）规格和焊接工艺参数。3 焊接前应按施工要求做出样品，检验合格后方可施焊；4 当改变焊接参数时，

37、应按施工要求做样品，检验合格方可进行焊接作业。检查方法：观察检查、核查施工记录。检查数量：全数检查。一般项目一般项目7.4.7 BA/EP管及管件、阀门的内外表面应无尘、无油，表面平整，并不得有破损，氧化现象。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。3、典型条文内容7.8.2 洁净厂房内各类金属管道的焊缝检验，应符合下列规定洁净厂房内各类金属管道的焊缝检验，应符合下列规定；1 输送剧毒流体的管道焊缝，应进行输送剧毒流体的管道焊缝，应进行100%射线照相检验，其质量不得低于射线照相检验，其质量不得低于级；级；2 输送压力大于等于输送压力大于等于0.5MPa的可燃流体、有毒流体的管道焊缝，应进行抽

38、样的可燃流体、有毒流体的管道焊缝，应进行抽样射线照相检验，抽检比例不得低于射线照相检验，抽检比例不得低于10%，其质量不得低于，其质量不得低于级。工程设计级。工程设计文件有规定时，应符合设计文件要求；文件有规定时，应符合设计文件要求；3 射线照相检验方法和质量分级标准，应符合现行国家标准现场设备、工射线照相检验方法和质量分级标准，应符合现行国家标准现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范业管道焊接工程施工及验收规范GB 50236的规定。的规定。7.8.4洁净厂房中输送剧毒液体、有毒液体，可燃液体气和高纯气体的管洁净厂房中输送剧毒液体、有毒液体，可燃液体气和高纯气体的管道系统必须进行泄漏量试验

39、泄漏量试验应符合下列规定：道系统必须进行泄漏量试验；泄漏量试验应符合下列规定：1 泄漏量试验应在压力试验合格后进行，试验介质宜采用空气或氮气或氦气。泄漏量试验应在压力试验合格后进行，试验介质宜采用空气或氮气或氦气。对输送高纯气体的管道的泄漏量试验介质，宜采用纯度对输送高纯气体的管道的泄漏量试验介质，宜采用纯度99.999%的氮气的氮气或氦气；或氦气；2 泄漏量试验压力应为设计压力；泄漏量试验压力应为设计压力；3 泄漏量试验时间，应连续试验泄漏量试验时间，应连续试验24h（氮气）或（氮气）或1h（氦气）；（氦气）；4 泄漏量试验工作宜与系统调试结合进行。泄漏量试验工作宜与系统调试结合进行。5

40、泄漏量试验，以平均每小时泄漏率不超过泄漏量试验，以平均每小时泄漏率不超过1%为合格。为合格。3、典型条文内容主控项目主控项目8.2.3穿越洁净室（区）的墙体、顶棚的消防给水管、自动喷水系统的喷头短管等处，应以防火填料进行密封处理。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。8.2.5消防、安全设施的各类火灾报警装置、气体报警装置、广播通讯设施以及它们的控制系统的电气线路的施工安装，应符合下列规定：1接至洁净室（区）内的电气线路穿墙、顶棚时，应以防火填料进行密封处理；2电气线路应采用阻燃型或耐火型线缆。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。一般项目一般项目8.2.6消防安全设施的管线、喷头短管等敷

41、设时，均应可靠地固定，不得晃动。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。3、典型条文内容主控项目主控项目8.3.5洁净室（区）内的消火栓安装应符合下列规定：1消火栓宜暗装，但安装处的墙体不得穿透：2当消火栓安装确需穿透时，所有接缝均应采用气密构造；3消火栓外露表面应平整、光滑、安装后应擦拭洁净；4消火栓内表面宜平整、光滑、易清洁，其箱内的管件、水龙带等应擦拭，并应洁净无尘。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。8.3.6高灵敏度早期烟雾探测装置的安装，应符合下列规定：1烟雾探测装置的灵敏度应符合工程设计文件或合约的要求；2安装应牢固，不得倾斜。安装在轻质墙上时，应采取加固措施；3只能安装在环

42、境条件不会导致采样管道和探测器本身损坏的环境中。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。一般项目一般项目8.3.10洁挣室（区）内的火警手动按钮的安装，应符合下列规定：1安装方式宜明装，外表面应平整、光滑、易清洁；与墙体的接缝处应密封处理；2安装高度宜为1.0-1.2m，并有明显标识。检查方法：观察检查、尺量。检查数量：分区抽查30%，但不得少于每区3个。3、典型条文内容主控项目主控项目9.2.4安装在洁净室（区）内装饰板内的电线、电缆宜采用穿管敷设，穿越装饰板处应进行密封处理。检查方法：观察检查。检查数量：按室（区）分别抽查30%，但不得少于3处。9.2.5电线、电缆穿管敷设时，穿管内不得设

43、有接头，所有接头应设在配电箱或接线盒内。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。一般项目一般项目9.2.6电气配线采用三相五线制或单相三线制时，其绝缘导线的绝缘层颜色应采用不同颜色 进行区分，不得采用相同颜色的绝缘层。检查方法：观察检查。检查数量：按室（区）分别抽查30%。3、典型条文内容主控项目主控项目9.3.4洁净室（区）内配电盘（柜）的安装，应符合下列规定：1嵌入式安装的配电盘（柜）与墙体之间的接缝应进行密封处理；2嵌入式、挂墙式盘（柜）的安装高度应符合工程设计文件要求，其底标高不宜低于1.2m.检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。9.3.6 照明灯具、开关的安装，应符合下列要求：1

44、 洁净室（区）内嵌入式安装的灯具与顶棚之间应进行密封处理；2 照明灯具采用吸顶安装时，灯具与顶棚之间宜采用气密性垫片密封，并在接缝处涂以密封胶：3 泪珠灯安装时，应在进线处进行密封处理；4 嵌入式安装的开关盒，其面板应紧贴墙面，接缝处宜涂密封胶。检查方法：观察检查。检查数量：按室（区）分别抽查30%。一般项目一般项目9.3.8 洁净室（区）内的接线盒、插座箱的安装应端正，并符合设计要求，设计无要求时，安装高度宜为1.0-1.2m。检查方法：观察检查。检查数量：按装（区）分别抽查30%。3、典型条文内容主控项目主控项目9.4.4接地体的施工安装，应符合下列规定：1接地体及其引出线和焊接部位，应进

45、行表面除锈、去除污物和残留焊渣，井进行防锈处理：2接地体埋设深度应符合工程设计文件的要求，井不得小于1.6m;3以角钢、钢管等制作的接地体，应采用垂直设置；4垂直接地体之间的距离，不宜小于2倍接地体长度：水平接地体之间的距离不宜小于5m;检查方法：观察检查、尺量。检查数量：全数检查。一般项目一般项目9.4.7接地线的施工安装，还应符合下列规定：1在洁净室（区）内明敷的接地线与建筑墙体、顶棚之间的间隙宜为10-15mm，与地面之间距离宜为250-300mm；2接地线跨越建筑物的伸缩缝、沉降缝时，应设置补偿器；3明敷接地线应作标识。检查方法：观察检查、尺量。检查数量：抽查30%。3、典型条文内容主

46、控项目主控项目10.2.1洁净厂房的微振控制设施的施工，应按下列阶段进行测试分析：1现场环境振动测试及分析；2建筑结构振动特性测试及分析；3精密设各仪器安装场所环境振动测试分析；4竣工验收测试及分析。检查方法：核查测试分析报告。检查数量：全数检查。10.2.4安装隔振器的地面、台板等，应平整、清洁；各组（个）隔振器承受荷载的压缩量应均匀，高度误差应小于2.0mm。检查方法：观察检查，尺量。检查数量：全数检查。一般项目一般项目10.2.6隔振台的台板表面应平整、清洁，台板水平度误差应符合设计要求，但一般不大于3。检查方法：观察检查，尺量。检查数量：全数检查。10.2.7隔振所用的支、吊架，其结构

47、形式、尺寸应符合设计文件和合约的规定：焊接应牢固，焊缝应饱满、均匀。检查方法：核查施工记录，观察检查。检查数量：抽查50%。.3、典型条文内容主控项目主控项目11.2.2消声器的安装应符合下列规定：1安装位置、方向正确，与风管（或配管）的连接严密，不得有损坏与受潮。两组同类型的消声器不应直接串联；2现场安装的组合式消声器，其组件的排列、方向和位置应符合设计要求；单个消声器组件应可靠固定；消声器应设独立支吊架。检查方法：观察检查，核查安装记录。检查数量：整体安装的消声器，抽查20%，并不得少于5台。11.2.4洁净厂房内吸声设施的施工安装，应符合下列规定：1吸声设施（包括墙体、顶棚或地面）的构造

48、材质和规格尺寸均应符合设计要求；2洁净室（区）内的吸声设施，应表面光滑、易清洁、不起尘。检查方法：观察检查，敲击围护构造，尺量。检查数量：抽查30%。一般项目一般项目11.2.5消声器的安装，还应符合下列要求：1消声器安装前应保持干净，做到无油污和浮尘；2消声器、消声弯管的安装均应设独立的支（吊）架。检查方法：观察检查。检查数量：整体安装者，抽查20%，现场组装时，全数检查。3、典型条文内容主控项目主控项目12.2.7管路系统的试验应符合下列要求：3 气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5为合格。采用氦气为试验气

49、体时，系统以设计压力保持1h，检查泄漏率不超过0.5为合格。若不合格，检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止；4管路系统的试验，一般均不包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。检查方法：观察检查、仪表检查。检查数量：按系统全数检查。一般项目一般项目12.2.8管路吹扫应符合下列要求：1应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫；2管路系统应采用0.3.0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.31tm气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫；3在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体

50、中含氧量小于1为合格。检查方法：观察检查、仪表检查。检查数量：按系统全数检查。3、典型条文内容主控项目主控项目12.3.5药品和保健品等生产用纯水系统的安装，应符合下列要求：1设备搬运、就位应符合12.3.3要求；2根据使用特点和工程设计文件要求，准确选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤；3系统安装完成后，按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。检查方法：观察检查。检查数量：全数检查。一般项目一般项目12.3.7管道清洗应符合下列要求：1管道清洗先以清洁水冲洗，末端检查无杂物后，以同等水质的纯水清洗；2清洗时，应关断所有